【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及通过向负载供给温度调节后的循环液来将该负载的温度控制为期望的温度的温度调节装置。
技术介绍
1、例如，如专利文献1所公开的那样，通过向负载供给温度调节后的循环液来将该负载的温度控制为期望的温度的温度调节装置已经广为人知。并且，在该专利文献所公开的温度调节装置中设置有使循环液在与负载之间循环的循环回路和对该循环液进行冷却的冷却回路，这些循环回路与冷却回路通过罐、阀而相互连接。
2、然而，如专利文献1所记载的那样，温度调节装置在半导体制造装置等中，有时用于将负载控制为大幅超过大气压下的水的沸点(100℃)的温度。并且，在这样的循环液成为高温的温度调节装置中，特别是在热交换器中，高温的循环液与对循环液进行冷却的冷却液的温度差变得非常大，因此需要将由该温度差引起的热交换器的损伤防患于未然的对策。
3、因此，在专利文献1的温度调节装置中，采用具备能够承受这样的温度差的特殊构造的热交换器。另一方面，即使在设想循环液在高温下使用的情况下，也能够采用与低成本化、优异的热交换效率等用户的要求相应的各种设计的热交换器，即，期望开发出针对循环液的温度的通用性及安全性优异的温度调节装置。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1：日本特开2020-169760号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的课题
2、本专利技术的技术课题在于提供一种即使在设想循环液在高温下使用的情况下热交换器的设计的自由度也高且针对循环
3、用于解决课题的手段
4、为了解决上述技术课题，本专利技术的温度调节装置用于调节循环液的温度并向外部的负载供给该循环液而将该负载控制为预定的温度，其特征在于，所述温度调节装置具有：循环回路，所述循环回路具有主罐、排出流路、循环泵及返回流路，所述主罐蓄积有循环液并具备对该循环液进行加热的加热器，所述排出流路将该主罐与将循环液相对于所述负载送出的循环液排出口之间连接，所述循环泵将循环液从所述主罐向该排出流路送出，所述返回流路将接收从所述负载返回的循环液的循环液返回口与所述主罐之间连接；冷却回路，所述冷却回路具有副罐、热交换器、第一冷却流路、冷却泵及第二冷却流路，所述副罐蓄积有循环液，所述热交换器通过与散热水的热交换而对该副罐内的循环液进行冷却，所述第一冷却流路将所述副罐与所述热交换器之间连接并将该副罐内的循环液向所述热交换器引导，所述冷却泵将所述副罐内的循环液向所述第一冷却流路送出，所述第二冷却流路将所述热交换器与所述副罐之间连接并将由所述热交换器冷却后的循环液向该副罐引导；以及处理器，所述处理器对在所述冷却回路中流动的循环液的流量进行控制，所述副罐相对于该主罐连接，以便在所述主罐内的循环液量超过预定量时将超过量的循环液从该主罐向该副罐导出，在所述冷却回路的所述第二冷却流路设置有从所述第二冷却流路分支并与所述循环回路连接的连结流路，在所述循环回路中设置有对在该循环回路内流动的循环液的温度进行测定的温度传感器，所述处理器通过基于由所述温度传感器测定出的循环液的温度来控制所述冷却泵的输出，从而控制从所述冷却回路内通过所述连结流路向所述循环回路内供给的循环液的流量。
5、在该情况下，优选的是，所述主罐具有使所述超过量的循环液从该主罐向所述副罐导出的开口部，所述主罐在将所述开口部配置于比所述副罐的底面高的位置的状态下相对于所述副罐连接。
6、另外，优选的是，所述处理器构成为，基于由所述温度传感器测定出的循环液的温度，将所述冷却泵切换为第一输出范围或比所述第一输出范围大的第二输出范围进行驱动，由此，在所述冷却泵的第一输出范围内的驱动状态下，所述冷却回路内的循环液在不通过所述连结流路向所述循环回路供给的情况下在所述冷却回路内循环，另一方面，在所述冷却泵的第二输出范围内的驱动状态下，所述冷却回路内的循环液通过所述连结流路向所述循环回路供给，并且在所述冷却回路内循环。
7、另外，优选的是，所述连结流路从所述冷却回路的所述第二冷却流路分支并朝向上方延伸设置。
8、另外，优选的是，所述温度传感器是设置于所述排出流路的第一温度传感器，所述处理器将预先设定的目标温度与由所述第一温度传感器测定出的循环液的温度进行对比，在由所述第一温度传感器测定出的测定温度比所述目标温度低的情况下，使所述冷却泵在所述第一输出范围进行驱动，在由所述第一温度传感器测定出的测定温度比所述目标温度高的情况下，使所述冷却泵在所述第二输出范围进行驱动。
9、另外，优选的是，在由所述第一温度传感器测定出的测定温度比所述目标温度低的情况下，所述处理器进一步控制所述加热器而对所述主罐内的循环液进行加热。
10、另外，优选的是，在所述连结流路设置有对循环液的温度进行测定的第二温度传感器，所述处理器在所述冷却泵的所述第二输出范围内的驱动状态下，计算所述目标温度与由所述第二温度传感器测定出的测定温度的温度差，将该温度差与预先设定的基准值进行比较，所述温度差比所述基准值越大，越使所述冷却泵的输出在所述第二输出范围内降低。
11、另外，优选的是，所述热交换器具有：中空的壳体；三块以上的传热板，所述三块以上的传热板在该壳体内隔着空隙相互平行地配设；一系列的第一热交换流路及一系列的第二热交换流路，所述一系列的第一热交换流路及一系列的第二热交换流路由所述传热板间的空隙沿着该传热板的配设方向交替地形成；循环液流入口，所述循环液流入口设置于所述第一热交换流路的一端并与所述第一冷却流路连接；循环液流出口，所述循环液流出口设置于与所述循环液流入口相反的一侧的所述第一热交换流路的另一端并与所述第二冷却流路连接；散热水流入口，所述散热水流入口设置于所述第二热交换流路的一端，用于向所述第二热交换流路导入散热水；以及散热水流出口，所述散热水流出口设置于与所述散热水流入口相反的一侧的所述第二热交换流路的另一端，用于从所述第二热交换流路排出热交换后的散热水。
12、专利技术效果
13、在本专利技术的温度调节装置中，不是直接利用热交换器对在与主罐及热负载连接的循环回路中流动的循环液进行冷却，而是在所述主罐内的循环液量超过预定量时，利用热交换器对由副罐内的低温的循环液对该超过量的循环液降低了温度而得到的循环液进行冷却，因此即使在设想在高温下使用循环回路的循环液的情况下，也能够抑制热交换器中的循环液与该冷却液的温度差。因此，根据本专利技术，能够提供一种热交换器的设计的自由度高且针对循环液的温度的通用性及安全性优异的温度调节装置。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种温度调节装置，所述温度调节装置用于调节循环液的温度并向外部的负载供给该循环液而将该负载控制为预定的温度，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的温度调节装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的温度调节装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的温度调节装置，其特征在于，
5.根据权利要求3或4所述的温度调节装置，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的温度调节装置，其特征在于，
7.根据权利要求5所述的温度调节装置，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的温度调节装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种温度调节装置，所述温度调节装置用于调节循环液的温度并向外部的负载供给该循环液而将该负载控制为预定的温度，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的温度调节装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的温度调节装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述...
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