新型笼式悬臂桨装置制造方法及图纸

新型笼式悬臂桨装置。涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及新型笼式悬臂桨装置。包括：悬臂座，所述悬臂座通过旋转电机驱动旋转；晶圆座，所述晶圆座的一端与悬臂座的端部固定连接，并设有晶圆放置口；所述晶圆座内设有若干与晶圆适配的放置位；和限位杆，所述限位杆与晶圆座相适配，形成与晶圆适配的限位腔；所述限位杆与悬臂座可拆卸固定连接。具体的，还包括封板；所述封板固定设置在所述晶圆座的另一端。具体的，所述晶圆座至少包括两个定位杆；所述定位杆呈杆状，固定设置在所述悬臂座的端部；所述定位杆上设有若干均布设置的放置槽。本实用新型专利技术具有结构紧凑、提高晶圆沉积均匀性等特点。等特点。等特点。

【技术实现步骤摘要】
新型笼式悬臂桨装置


[0001]本技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及新型笼式悬臂桨装置。

技术介绍

[0002]半导体扩散工艺所用的卧式LP
‑
CVD（TEOS、POLY工艺）炉管使用的悬臂桨机构均只能满足单方向动作（进舟、出舟动作），由于气体通入时为单气管进气，气体氛围不均匀，即接近进气管位置气体氛围较为浓郁，远离气管位置气体氛围较为稀薄，导致在晶圆上沉积薄膜工艺出现膜厚不均匀现象。

技术实现思路

[0003]本技术针对以上问题，提供了一种结构紧凑、提高晶圆沉积均匀性的新型笼式悬臂桨装置。
[0004]本技术的技术方案是：新型笼式悬臂桨装置，包括：
[0005]悬臂座，所述悬臂座通过旋转电机驱动旋转；
[0006]晶圆座，所述晶圆座的一端与悬臂座的端部固定连接，并设有晶圆放置口；所述晶圆座内设有若干与晶圆适配的放置位；和
[0007]限位杆，所述限位杆与晶圆座相适配，形成与晶圆适配的限位腔；所述限位杆与悬臂座可拆卸固定连接。
[0008]具体的，还包括封板；
[0009]所述封板固定设置在所述晶圆座的另一端。
[0010]具体的，所述晶圆座至少包括两个定位杆；
[0011]所述定位杆呈杆状，固定设置在所述悬臂座的端部；
[0012]所述定位杆上设有若干均布设置的放置槽。
[0013]具体的，所述定位杆为三个。
[0014]具体的，所述定位杆内设有与轴线平行设置的进气通道；
[0015]所述定位杆上设有若干背向放置槽的出气孔；
[0016]若干所述出气孔分别与进气通道连通。
[0017]具体的，所述悬臂座上设有与限位杆适配的插入通孔。
[0018]本技术包括悬臂座、晶圆座和限位杆；悬臂座通过旋转电机驱动旋转；晶圆座设有晶圆放置口；晶圆座内设有若干与晶圆适配的放置位； 限位杆与晶圆座相适配，形成与晶圆适配的限位腔；限位杆与悬臂座可拆卸固定连接。将若干个晶圆依次从放置口放入相应的放置位内，然后将限位杆插入悬臂座上，并使其固定。晶圆排片固定后，进入扩散炉内，通过旋转电机的旋转，使得晶圆在扩散炉内转动，提高扩散的均衡性。本技术具有结构紧凑、提高晶圆沉积均匀性等特点。
附图说明
[0019]图1是本技术的立体结构示意图一，
[0020]图2是本技术的立体结构示意图二，
[0021]图3是图2中A向立体结构示意图，
[0022]图4是图2中B向立体结构示意图，
[0023]图5是本技术使用状态立体结构示意图，
[0024]图中100是悬臂座，200是旋转电机，300是晶圆座，310是放置口，400是限位杆， 500是封板，600是丝杠。
具体实施方式
[0025]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0026]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、
ꢀ“
下”、
ꢀ“
左”、
ꢀ“
右”、
ꢀ“
竖直”、
ꢀ“
水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，除非另有说明，
ꢀ“
多个”的含义是两个或两个以上。
[0027]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、
ꢀ“
相连”、
ꢀ“
连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接 ；可以是机械连接，也可以是电连接 ；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]本技术如图1
‑
5所示；新型笼式悬臂桨装置，包括：
[0029]悬臂座100，所述悬臂座100通过旋转电机200驱动旋转；
[0030]晶圆座300，所述晶圆座300的一端与悬臂座100的端部固定连接，并设有晶圆放置口310；所述晶圆座300内设有若干与晶圆适配的放置位；和
[0031]限位杆400，所述限位杆400与晶圆座300相适配，形成与晶圆适配的限位腔；所述限位杆400与悬臂座100可拆卸固定连接。
[0032]本案使用流程为：
[0033]首先新型笼式悬臂桨装置与扩散炉分离，将若干个晶圆依次从放置口310放入相应的放置位内，然后将限位杆400插入悬臂座100上，并使其固定。
[0034]参照图5所示;旋转电机200固定设置在支撑台上，支撑台通过导轨滑动设置在扩散炉的入口处。支撑台通过与之连接的丝杠600，在扩散炉中往复进出；丝杠600通过丝杠电机驱动旋转，从而将放置完成的晶圆移入扩散炉内或者将扩散完成的晶圆从扩散炉内退出。
[0035]晶圆排片固定后，进入扩散炉内，通过旋转电机200的旋转，使得晶圆在扩散炉内转动，提高扩散的均衡性。
[0036]进一步限定，还包括封板500；
[0037]所述封板500固定设置在所述晶圆座300的另一端。
[0038]进一步限定，所述晶圆座300至少包括两个定位杆；
[0039]所述定位杆呈杆状，固定设置在所述悬臂座100的端部；
[0040]所述定位杆上设有若干均布设置的放置槽。
[0041]进一步限定，所述定位杆为三个。
[0042]三个定位杆分别为固定件，其中限位杆400为可拆卸件，放置晶圆片时拆除限位杆400，晶圆片放置结束后将限位杆400装上并固定，固定晶圆片，防止在扩散炉内旋转过程中晶圆滑落；放置槽的槽口设有5
°
的斜角，本案装置在旋转过程中晶圆片与悬臂桨产生相对轻微的滑动，提高边缘支撑处的扩散品质。
[0043]进一步优化，所述定位杆内设有与轴线平行设置的进气通道；
[0044]所述定位杆上设有若干背向放置槽的出气孔；
[0045]若干所述出气孔分别与进气通道连通。
[0046]悬臂座100上设有与相应进气通道连通的总进气通道，将气体通过总进气通道后分散进入相应的进气通道内，最后从出气孔喷出，喷出后喷向扩散炉的内侧壁，与内侧壁撞击分散后，向晶圆方向运动，参与扩散加工，提高了气体与晶圆反应的均衡性。
[0047]进一步限定，所述悬臂座100上设有与限位杆400适配的插入通孔。限位杆400通过插入通孔插入放置口310处，用于限设晶圆，提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.新型笼式悬臂桨装置，其特征在于，包括：悬臂座，所述悬臂座通过旋转电机驱动旋转；晶圆座，所述晶圆座的一端与悬臂座的端部固定连接，并设有晶圆放置口；所述晶圆座内设有若干与晶圆适配的放置位；和限位杆，所述限位杆与晶圆座相适配，形成与晶圆适配的限位腔；所述限位杆与悬臂座可拆卸固定连接。2.根据权利要求1所述的新型笼式悬臂桨装置，其特征在于，还包括封板；所述封板固定设置在所述晶圆座的另一端。3.根据权利要求1所述的新型笼式悬臂桨装置，其特征在于，所述晶圆座至...

【专利技术属性】
技术研发人员：王强，周勇，王毅，
申请(专利权)人：扬州扬杰电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：