一种便于定位的炉体石英管制造技术

技术编号:31181659 阅读:51 留言:0更新日期:2021-12-04 16:27
本实用新型专利技术涉及一种便于定位的炉体石英管,包括石英管体,所述石英管体的一端为端部,所述端部开口设置并连接有多个空心环状法兰,另一端为尾部,所述尾部设置有多个空心管,所述空心管与所述石英管体的内腔相连通,所述石英管体靠近端部的外侧壁上还设置多个定位件,多个所述的定位件在所述石英管外侧壁上间隔均匀设置,所述尾部上还连接有空心环状结构,所述空心环状结构延伸方向与所述空心管的延伸方向相同;空心环状结构可以用于石英管体尾部的定位,定位件用于端部的定位。端部和尾部共同设置有定位结构。可以帮助石英管体的快速定位,减少石英管体位置调整的频率,提升高温扩散炉的组装速率,提高生产加工的效率。提高生产加工的效率。提高生产加工的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种便于定位的炉体石英管


[0001]本技术涉及石英管的
,特别是涉及一种便于定位的炉体石英管。

技术介绍

[0002]在光伏行业,高温扩散炉与其内的石英管配合使用主要用于对单晶硅片和多晶硅片进行掺杂,形成PN结,目前常规石英管设置在扩散炉的腔体内,通过加热扩散炉来加温,并在石英管上设有进气口和排气口。在扩散工艺过程中,待扩散的硅片置于石英管中央,扩散炉开始升温,杂质源气体从进气口进入管内,杂质源气体在高温下反应并扩散进入硅片内,在石英管进入高温扩散炉中时由于管体较大,管体光滑易碎,不太容易确定位置,于是在管体的两端增加定位结构,帮助管体在高温扩散炉内定位。

技术实现思路

[0003]本技术目的是要提供一种便于定位的炉体石英管,解决了较大型石英管在高温炉中定位困难的问题。
[0004]为达到上述目的,本技术采用的技术方案是:
[0005]本技术提供了一种便于定位的炉体石英管,包括石英管体,所述石英管体的一端为端部,所述端部开口设置并连接有多个空心环状法兰,另一端为尾部,所述尾部设置有多个空心管,所述空心管与所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于定位的炉体石英管,包括石英管体,其特征在于,所述石英管体的一端为端部,所述端部开口设置并连接有多个空心环状法兰,另一端为尾部,所述尾部设置有多个空心管,所述空心管与所述石英管体的内腔相连通,所述石英管体靠近端部的外侧壁上还设置多个定位件,多个所述的定位件在所述石英管外侧壁上间隔均匀设置,所述尾部上还连接有空心环状结构,所述空心环状结构延伸方向与所...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈文
申请(专利权)人:苏州安融石英有限公司
类型:新型
国别省市:

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