本实用新型专利技术提供了一种晶圆夹持机械手臂及晶圆清洗装置，属于硅片制造技术领域。晶圆夹持机械手臂包括：机械手臂本体，所述机械手臂本体包括相对设置的一对夹取单元，每个所述夹取单元的下部设置有至少一个夹取杆，所述夹取杆上设置有相互平行的多个凹槽，所述凹槽的延伸方向与所述夹取杆的延伸方向垂直；所述夹取杆内部设置有干燥气体喷管，所述夹取杆上设置有多个与所述干燥气体喷管连通的喷头。本实用新型专利技术能够改善机械手臂的干燥度和洁净度，进而提高晶圆的良率。而提高晶圆的良率。而提高晶圆的良率。
【技术实现步骤摘要】
晶圆夹持机械手臂及晶圆清洗装置
[0001]本技术涉及硅片制造
，特别是指一种晶圆夹持机械手臂及晶圆清洗装置。
技术介绍
[0002]在半导体硅晶圆领域，槽式清洗机的应用非常的广泛，槽式清洗机用于去除硅片表面的有机物，颗粒，金属污染等来获得表面高洁净的硅片，由于较高的生产能力和较稳定的工艺能力，槽式清洗机活跃在30nm及以上的集成电路生产制造领域。
[0003]传统的槽式清洗机中，由多个机械手臂共同协作搬送传递晶圆，使晶圆在各个槽体中依次进行清洗流转，最终经过干燥获得高洁净度的晶圆，在清洗槽体段，机械手臂会夹持晶圆直接浸入化学品槽或者纯水槽，即在此过程中，该机械手臂始终处于湿润状态，由于晶圆在清洗槽体间被传送的时候本身也是处于湿润状态，所以晶圆不会受到机械手臂的影响，但是到清洗设备后端槽体，如图1所示，当晶圆2到达#11慢提拉槽的时候，槽体内部的升降机构会将晶圆低速匀速顶起来，待晶圆大部分露出水面后，此时机械手臂1会将晶圆2夹持住然后继续做慢提拉动作，直到晶圆2完全脱离液面，晶圆2表面的液体因为张力而脱离晶圆2表面从而到达初步的干燥效果，该过程机械手臂1没有直接和液面接触，但是夹持的晶圆2只是进行了初步干燥，所以机械手臂1的卡梳在一定程度上有被沾湿的风险，随后晶圆2会被转移到#12红外干燥槽进行最后干燥处理，待完成后继续由该机械手臂1传出，第一次干燥和第二次干燥过程需都要该机械手臂1来完成转运，在此过程中，该机械手臂1的卡梳的干燥度和洁净度显得尤为重要，该过程中机械手臂1的卡梳会有被沾湿和污染颗粒沉积的风险，继而污染第二次干燥后的晶圆2，造成边缘污渍残留。
技术实现思路
[0004]本技术要解决的技术问题是提供一种晶圆夹持机械手臂及晶圆清洗装置，能够改善机械手臂的干燥度和洁净度，进而提高晶圆的良率。
[0005]为解决上述技术问题，本技术的实施例提供技术方案如下：
[0006]一方面，本技术实施例提供一种晶圆夹持机械手臂，包括：
[0007]机械手臂本体，所述机械手臂本体包括相对设置的一对夹取单元，每个所述夹取单元的下部设置有至少一个夹取杆，所述夹取杆上设置有相互平行的多个凹槽，所述凹槽的延伸方向与所述夹取杆的延伸方向垂直；
[0008]所述夹取杆内部设置有干燥气体喷管，所述夹取杆上设置有多个与所述干燥气体喷管连通的喷头。
[0009]一些实施例中，所述干燥气体喷管的一端与所述喷头连接，另一端通过进气管与干燥气体源连接，所述进气管上设置有电磁阀单元。
[0010]一些实施例中，所述电磁阀单元包括电磁阀线圈与受所述电磁阀线圈控制的电磁阀开关。
[0011]一些实施例中，所述喷头位于相邻凹槽之间。
[0012]一些实施例中，所述干燥气体喷管内的干燥气体采用氮气。
[0013]一些实施例中，所述晶圆夹持机械手臂包括多个夹取杆组，每一所述夹取杆组包括相对设置的两个夹取杆，所述两个夹取杆位于不同的夹取单元上，一组所述夹取杆中，其中一夹取杆上的喷头朝向同一组的另一夹取杆。
[0014]一些实施例中，所述晶圆夹持机械手臂包括两个夹取杆组。
[0015]本技术实施例还提供了一种晶圆清洗装置，包括如上所述的晶圆夹持机械手臂。
[0016]本技术的实施例具有以下有益效果：
[0017]上述方案中，夹取杆内部设置有干燥气体喷管，夹取杆上设置有多个与干燥气体喷管连通的喷头，通过干燥气体喷管和喷头可以在机械手臂搬运干燥后的晶圆之前，先进行自身吹扫来保证夹取杆的干燥和洁净，以此来保证机械手臂在夹持干燥后的晶圆时，不会因为机械手臂夹取杆的潮湿或者洁净度不高而污染晶圆，进而能够提高成品晶圆的良率。
附图说明
[0018]图1为相关技术对晶圆进行清洗的示意图；
[0019]图2为相关技术机械手臂的结构示意图；
[0020]图3
‑
图5为本技术实施例晶圆夹持机械手臂的结构示意图；
[0021]图6为夹取单元夹持晶圆的示意图；
[0022]图7为本技术实施例夹取单元夹持晶圆的示意图。
[0023]附图标记
[0024]1 机械手臂
[0025]2 晶圆
[0026]31 第一夹取单元
[0027]32 第二夹取单元
[0028]41 第一夹取杆
[0029]42第二夹取杆
[0030]43 第三夹取杆
[0031]44 第四夹取杆
[0032]51 第一干燥气体喷管
[0033]52 第二干燥气体喷管
[0034]6 电磁阀单元
[0035]7 进气管
具体实施方式
[0036]为使本技术的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
[0037]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新
型实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0038]本技术要解决的技术问题是提供一种晶圆夹持机械手臂及晶圆清洗装置，能够改善机械手臂的干燥度和洁净度，进而提高晶圆的良率。
[0039]本技术实施例提供一种晶圆夹持机械手臂，包括：
[0040]机械手臂本体，所述机械手臂本体包括相对设置的一对夹取单元，每个所述夹取单元的下部设置有至少一个夹取杆，所述夹取杆上设置有相互平行的多个凹槽，所述凹槽的延伸方向与所述夹取杆的延伸方向垂直；
[0041]所述夹取杆内部设置有干燥气体喷管，所述夹取杆上设置有多个与所述干燥气体喷管连通的喷头。
[0042]本实施例中，夹取杆内部设置有干燥气体喷管，夹取杆上设置有多个与干燥气体喷管连通的喷头，通过干燥气体喷管和喷头可以在机械手臂搬运干燥后的晶圆之前，先进行自身吹扫来保证夹取杆的干燥和洁净，以此来保证机械手臂在夹持干燥后的晶圆时，不会因为机械手臂夹取杆的潮湿或者洁净度不高而污染晶圆，进而能够提高成品晶圆的良率。
[0043]其中，所述干燥气体喷管的一端与所述喷头连接，另一端通过进气管与干燥气体源连接，所述进气管上设置有电磁阀单元，通过电磁阀单元可以控制干燥气体喷管与干燥气体源之间的连通或者关断。在机械手臂搬运湿的晶圆或者不搬运晶圆时，可以通过电磁阀单元控制干燥气体喷管与干燥气体源之间关断，节省能耗；在机械手臂搬运干燥后的晶圆之前，可以通过电磁阀单元控制干燥气体喷管与干燥气体源之间连通，以干燥和清洁夹取杆。
[0044]其中，所述电磁阀单元包括电磁阀线圈与受所述电磁阀线圈控制的电磁阀开关。可以通过控制电磁阀线圈中的电流来控制电磁阀开关关断或者打开，进而控制干燥气体的供给，是否对夹本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆夹持机械手臂，其特征在于，包括：机械手臂本体，所述机械手臂本体包括相对设置的一对夹取单元，每个所述夹取单元的下部设置有至少一个夹取杆，所述夹取杆上设置有相互平行的多个凹槽，所述凹槽的延伸方向与所述夹取杆的延伸方向垂直；所述夹取杆内部设置有干燥气体喷管，所述夹取杆上设置有多个与所述干燥气体喷管连通的喷头。2.根据权利要求1所述的晶圆夹持机械手臂，其特征在于，所述干燥气体喷管的一端与所述喷头连接，另一端通过进气管与干燥气体源连接，所述进气管上设置有电磁阀单元。3.根据权利要求2所述的晶圆夹持机械手臂，其特征在于，所述电磁阀单元包括电磁阀线圈与受所述电磁阀线圈控制的电磁阀开关。4.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏建生，夏新超，
申请(专利权)人：西安奕斯伟材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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