本发明专利技术涉及晶圆减薄技术领域，公开了一种带有锁紧机构的分度台及减薄机。带有锁紧机构的分度台包括机架；分度台本体，其上设置有晶圆，分度台本体设置在机架上且能够相对于机架旋转；锁紧机构，其包括转动组件和限位组件，转动组件的一端固定设置在分度台本体的外边缘，转动组件的另一端向远离分度台本体的方向延伸；限位组件设置在机架上并位于转动组件的转动路径的外侧，限位组件被配置为在分度台本体旋转至预设工位时向靠近转动组件的方向移动至锁紧转动组件，以将分度台本体固定在预设工位。该带有锁紧机构的分度台能够准确地将分度台本体固定在预设工位处，以能够对晶圆上的预加工位置进行精准减薄加工。加工位置进行精准减薄加工。加工位置进行精准减薄加工。
【技术实现步骤摘要】
一种带有锁紧机构的分度台及减薄机
[0001]本专利技术涉及晶圆减薄
，尤其涉及一种带有锁紧机构的分度台及减薄机。
技术介绍
[0002]晶圆指的是制作硅半导体集成电路所用的硅晶片，晶圆为圆柱形的单晶硅，是生产集成电路所用的载体。其中，在对晶圆的加工过程中，需要对晶圆进行减薄，即对晶圆的厚度进行减薄，以使具有较小尺寸的晶圆能够用于制作更为复杂的集成电路。
[0003]具体地，先将晶圆放置在分度台上，再使用减薄机中的减薄件对晶圆进行减薄加工，以使晶圆的厚度能够满足条件；其中，在整个减薄过程中，需要旋转分度台，以使分度台将晶圆分别旋转至各个预设工位处，进而使减薄件能够在各个预设工位处对晶圆上的不同预加工位置分别进行减薄。
[0004]目前，在分度台上设置有光电开关，以在分度台将晶圆旋转至其中一个预设工位处的过程中，使用光电开关检测到分度台是否已经转至该预设工位处，并将光电开关的检测信号传至控制器，以使控制器限制分度台的进一步旋转，从而将分度台固定在该预设工位处，进而能够保证减薄件在分度台上对晶圆上的预加工位置进行减薄的稳定性，防止减薄件在对晶圆进行研磨时分度台出现晃动，以保证对晶圆减薄加工的准确性。
[0005]然而由于，在长期的使用过程中，光电开关容易出现定位不准或者定位过限甚至失灵的问题，进而导致在分度台还未旋转至预设工位时控制器便限制分度台的进一步旋转，或者在分度台已经旋转过了预设工位时控制器才限制分度台的进一步旋转，从而导致控制器不能够准确地将分度台固定在该预设工位处，以使减薄件不能对晶圆上的预加工位置进行研磨，导致对晶圆减薄加工的准确性较差。
[0006]因此，亟需一种带有锁紧机构的分度台及减薄机，能够解决以上问题。
技术实现思路
[0007]本专利技术的一个目的在于提出一种带有锁紧机构的分度台，其能够准确地将分度台本体固定在预设工位处，以能够对晶圆上的预加工位置进行精准减薄加工。
[0008]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0009]一种带有锁紧机构的分度台，包括：
[0010]机架；
[0011]分度台本体，其上设置有晶圆，所述分度台本体设置在所述机架上且能够相对于所述机架旋转；
[0012]锁紧机构，其包括转动组件和限位组件，所述转动组件的一端固定设置在所述分度台本体的外边缘，所述转动组件的另一端向远离所述分度台本体的方向延伸；所述限位组件设置在所述机架上并位于所述转动组件的转动路径的外侧，所述限位组件被配置为在所述分度台本体旋转至预设工位时向靠近所述转动组件的方向移动至锁紧所述转动组件，以将所述分度台本体固定在所述预设工位。
[0013]进一步地，所述转动组件包括：
[0014]连接件，其一端固定设置在所述分度台本体的外边缘，另一端向远离所述分度台本体的方向延伸；
[0015]抵接件，其固定连接在所述连接件的所述另一端，且所述抵接件与所述连接件垂直连接，在所述分度台本体旋转至所述预设工位时，所述限位组件锁紧所述抵接件。
[0016]进一步地，所述连接件为螺栓，所述抵接件固定在所述螺栓的头部，所述螺栓的端部经所述分度台本体的外边缘螺纹旋至所述分度台本体内，且所述螺栓旋至所述分度台本体内的长度与所述限位组件相对于所述机架的移动行程相匹配。
[0017]进一步地，所述限位组件包括：
[0018]两个限位件，两个所述限位件间隔设置在所述机架上，两个所述限位件能够在所述分度台本体旋转至所述预设工位时，同时相对于所述机架沿所述分度台本体的半径方向且向靠近所述抵接件的方向移动，以从所述抵接件在所述抵接件的转动方向上的相对两侧抵紧至所述抵接件；
[0019]两个第一驱动件，所述第一驱动件的固定端设置在所述机架上，一个所述第一驱动件的驱动端与一个所述限位件驱动连接，所述第一驱动件用于驱动所述限位件相对于所述机架沿所述分度台本体的半径方向且向靠近或远离所述抵接件的方向移动。
[0020]进一步地，所述限位件为L型限位块，所述L型限位块的第一块与所述第一驱动件驱动连接，所述L型限位块的第二块向靠近所述抵接件的方向延伸，当两个所述限位件分别从所述抵接件在所述抵接件的转动方向上的相对两侧抵紧至所述抵接件时，所述抵接件的一侧抵接至两个所述第一块，所述抵接件的相对两侧分别抵紧至两个所述第二块。
[0021]进一步地，所述带有锁紧机构的分度台还包括：
[0022]气浮件，所述气浮件的一端固定设置在所述分度台本体的底端，所述气浮件的另一端垂落在所述机架上，所述气浮件被配置为在充气时能够带动所述分度台本体竖直向上升起，使所述气浮件与所述机架之间通过压缩空气形成气膜，以使所述气浮件与所述机架之间具有间隙。
[0023]进一步地，所述气浮件包括多个气浮垫，多个所述气浮垫均匀设置在所述分度台本体的底端。
[0024]进一步地，所述带有锁紧机构的分度台还包括：
[0025]旋转台，其转动设置在所述机架内，且所述旋转台与所述分度台本体固定连接；
[0026]第二驱动件，所述第二驱动件的固定端设置在所述机架内，所述第二驱动件的驱动端与所述旋转台驱动连接。
[0027]进一步地，所述转动组件和所述限位组件的数量均设置有多个，多个所述转动组件均匀设置在所述分度台本体的外边缘上，且一个所述限位组件与一个所述转动组件对应设置。
[0028]本专利技术的另一个目的在于提出一种减薄机，其能够保证对晶圆减薄加工的准确性。
[0029]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0030]一种减薄机，包括减薄机主体以及如上所述的带有锁紧机构的分度台，所述带有锁紧机构的分度台的所述分度台本体上放置有所述晶圆，所述减薄机主体用于对所述晶圆
进行减薄加工。
[0031]本专利技术的有益效果为：
[0032]通过将分度台本体设置在机架上且分度台本体能够相对于机架旋转，使锁紧机构的转动组件的一端固定设置在分度台本体的外边缘上，转动组件的另一端向远离分度台本体的方向延伸，并将锁紧机构的限位组件设置在机架上且位于转动组件的转动路径的外侧；当分度台本体相对于机架旋转至预设工位时，分度台本体能够带动转动组件旋转至限位组件处，此时限位组件能够向靠近转动组件的方向移动，进而使限位组件能够锁紧转动组件，以使转动组件以及分度台本体不能再进行旋转，从而能够将分度台本体固定在该预设工位处，以便于对分度台本体上的晶圆进行减薄加工；通过设置锁紧机构，以在带有锁紧机构的分度台中增加了机械结构的限位方式，由于机械限位的准确性较高，当在光电开关出现定位不准或者定位过限甚至失灵的问题时，带有锁紧机构的分度台仍能够将分度台本体准确地固定在预设工位处，不会出现分度台本体还未旋转至预设工位时便限制了分度台本体的进一步旋转，或者在分度台本体已经旋转过了预设工位时才限制分度台本体的进一步旋转的问题，从而能够对晶圆上的预加工位置进行精准减薄加工；并且由于机械限位的可靠性较高，以能够在对晶圆上的预加工位置进本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种带有锁紧机构的分度台，其特征在于，包括：机架(1)；分度台本体(2)，其上设置有晶圆，所述分度台本体(2)设置在所述机架(1)上且能够相对于所述机架(1)旋转；锁紧机构(3)，其包括转动组件(31)和限位组件(32)，所述转动组件(31)的一端固定设置在所述分度台本体(2)的外边缘，所述转动组件(31)的另一端向远离所述分度台本体(2)的方向延伸；所述限位组件(32)设置在所述机架(1)上并位于所述转动组件(31)的转动路径的外侧，所述限位组件(32)被配置为在所述分度台本体(2)旋转至预设工位时向靠近所述转动组件(31)的方向移动至锁紧所述转动组件(31)，以将所述分度台本体(2)固定在所述预设工位。2.如权利要求1所述的带有锁紧机构的分度台，其特征在于，所述转动组件(31)包括：连接件(311)，其一端固定设置在所述分度台本体(2)的外边缘，另一端向远离所述分度台本体(2)的方向延伸；抵接件(312)，其固定连接在所述连接件(311)的所述另一端，且所述抵接件(312)与所述连接件(311)垂直连接，在所述分度台本体(2)旋转至所述预设工位时，所述限位组件(32)锁紧所述抵接件(312)。3.如权利要求2所述的带有锁紧机构的分度台，其特征在于，所述连接件(311)为螺栓，所述抵接件(312)固定在所述螺栓的头部，所述螺栓的端部经所述分度台本体(2)的外边缘螺纹旋至所述分度台本体(2)内，且所述螺栓旋至所述分度台本体(2)内的长度与所述限位组件(32)相对于所述机架(1)的移动行程相匹配。4.如权利要求2所述的带有锁紧机构的分度台，其特征在于，所述限位组件(32)包括：两个限位件(321)，两个所述限位件(321)间隔设置在所述机架(1)上，两个所述限位件(321)能够在所述分度台本体(2)旋转至所述预设工位时，同时相对于所述机架(1)沿所述分度台本体(2)的半径方向且向靠近所述抵接件(312)的方向移动，以从所述抵接件(312)在所述抵接件(312)的转动方向上的相对两侧抵紧至所述抵接件(312)；两个第一驱动件(322)，所述第一驱动件(322)的固定端设置在所述机架(1)上，一个所述第一驱动件(322)的驱动端与一个所述限位件(321)驱动连接，所述第一驱动件(322)用于驱动所述限位件(321)相对于所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：于光明，周鑫，孙志超，赵锋，王强，葛凡，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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