本发明专利技术公开了一种磁悬浮搅拌装置及电镀装置，涉及搅拌设备领域，一种磁悬浮搅拌装置，设置于电镀槽内，磁悬浮搅拌装置包括：电磁感应环，电磁感应环安装在搅拌装置的定子上，电磁感应环包括环向设置的多组线圈，相邻线圈的电流流向相反；搅拌机构，搅拌机构设置在电磁感应环的环形内侧或内侧上方，搅拌机构包括与线圈对应设置的永磁体；电磁感应环通过线圈的电流时序产生的磁场驱动搅拌机构在电镀槽内悬浮和沿电磁感应环的环向旋转。搅拌机构通过电磁感应环产生的磁场旋转和悬浮，搅拌机构在旋转过程中，不会与其他零件发生接触和摩擦，因此不会产生碎屑等杂质，因此不会对所处的环境发生污染。境发生污染。境发生污染。
【技术实现步骤摘要】
磁悬浮搅拌装置及电镀装置
[0001]本专利技术涉及搅拌设备领域，具体涉及一种磁悬浮搅拌装置及电镀装置。
技术介绍
[0002]是利用电解作用使金属或其它材料制件的表面附着一层金属膜的工艺从而起到在光阻材料未覆盖的区域实现金属连线达到电路导通，同时防止金属氧化(如锈蚀)，提高耐磨性、导电性、反光性、抗腐蚀性(硫酸铜等)及增进美观等作用，在电镀过程中，需要对电镀液进行搅拌，现有的搅拌设备的传动是依靠零件之间的硬摩擦，如齿轮传动，此传动方式会因为零件之间的摩擦产生碎屑等杂质，会污染电镀液，影响电镀效果。
技术实现思路
[0003]本专利技术要解决的技术问题是为了克服现有技术中搅拌设备容易产生碎屑等杂质，造成电镀液污染的缺陷，提供一种磁悬浮搅拌装置及电镀装置。
[0004]本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题：
[0005]一种磁悬浮搅拌装置，设置于电镀槽内，磁悬浮搅拌装置包括：
[0006]电磁感应环，电磁感应环安装在搅拌装置的定子上。电磁感应环包括环向设置的多组线圈，相邻线圈的电流流向相反；
[0007]搅拌机构，搅拌机构设置在电磁感应环的环形内侧或内侧上方，搅拌机构包括与线圈对应设置的永磁体；
[0008]电磁感应环通过线圈的电流时序产生的磁场驱动搅拌机构在电镀槽内悬浮和沿电磁感应环的环向旋转。
[0009]在本方案中，搅拌机构通过电磁感应环的线圈组产生的磁场旋转和悬浮，搅拌机构在旋转过程中，不会与其他零件发生接触和摩擦，因此不会产生碎屑等杂质，因此不会对所处的环境发生污染。
[0010]较佳地，永磁体包括旋转永磁体和悬浮永磁体，线圈包括环向设置的一组或多组旋转磁场线圈和环向设置的一组或多组悬浮磁场线圈；
[0011]旋转磁场线圈产生的磁场用于驱动搅拌机构沿电磁感应环的环向旋转；
[0012]悬浮磁场线圈产生的磁场用于驱动搅拌机构在电镀槽内悬浮；
[0013]旋转磁场线圈和悬浮磁场线圈的环形排列按同心设置；
[0014]旋转磁场线圈位于悬浮磁场线圈的上方。
[0015]在本方案中，通过旋转永磁体与旋转磁场线圈的配合实现了搅拌机构的旋转，通过悬浮永磁体与悬浮磁场线圈的配合实现了搅拌机构的悬浮，旋转磁场线圈与悬浮磁场线圈独立设置，在不旋转时，也可以单独控制搅拌机构悬浮。
[0016]较佳地，搅拌机构还包括霍尔传感器、控制器，霍尔传感器与控制器电连接，控制器与线圈电连接，霍尔传感器设置在电磁感应环与搅拌机构任意一方的端面处，用于测量两者之间的间隙。
[0017]在本方案中，通过霍尔传感器可以检测两者的间隙，并且将信号输送至控制器，控制器可以根据此信号控制线圈中电流的大小，进而平衡搅拌机构的重力，控制两者的间隙大小。
[0018]较佳地，电磁感应环包括第一斜面，线圈的位置被设置为线圈产生的磁场方向垂直于第一斜面；
[0019]搅拌机构包括第二斜面，永磁体的位置被设置为永磁体的南北极垂直于第二斜面；
[0020]电磁感应环产生的磁场具有向上的磁力分量能够平衡搅拌机构的重力。
[0021]在本方案中，通过将线圈与永磁体成倾斜布置，通过一组相互对应的线圈与永磁体便可以同时驱动搅拌机构旋转和悬浮。
[0022]较佳地，第一斜面和第二斜面的角度均为40
‑
50度。
[0023]在本方案中，提供了一个较佳的角度范围，在此角度范围内，既能控制搅拌机构旋转又能控制搅拌机构悬浮。
[0024]较佳地，电磁感应环的外周边缘设置有凸出部，线圈设置在凸出部。
[0025]在本方案中，为线圈的布置提供了一个较好的容纳空间。
[0026]较佳地，永磁体设置在搅拌机构的底部。
[0027]在本方案中，永磁体与线圈的距离近，有助于提升磁场的相互作用力。
[0028]较佳地，磁悬浮搅拌装置不包括机械动力源。
[0029]在本方案中，无需机械动力源，结构简单，更为可靠。
[0030]较佳地，电磁感应环设置在定子的内侧。
[0031]较佳地，电磁感应环设置在定子的内侧底部。
[0032]在本方案中，电磁感应环较为稳定，不易受到干扰。
[0033]一种电镀装置，其包括电镀槽和设置在电镀槽中的如上的磁悬浮搅拌装置。
[0034]在本方案中，磁悬浮搅拌装置在搅拌过程中不会产生碎屑等杂质，对电镀液起到了很好的保护作用，此外，磁悬浮搅拌装置降低了搅拌过程中的噪音，运行更为平稳流畅。
[0035]本专利技术的积极进步效果在于：在本专利技术中，搅拌机构通过电磁感应环的线圈组产生的磁场旋转和悬浮，搅拌机构在旋转过程中，不会与其他零件发生接触和摩擦，因此不会产生碎屑等杂质，因此不会对所处的环境发生污染。
附图说明
[0036]图1为本专利技术实施例1的磁悬浮搅拌装置结构示意图；
[0037]图2为本专利技术实施例1的磁悬浮搅拌装置平衡状态的结构示意图；
[0038]图3为本专利技术实施例1的磁悬浮搅拌装置转动状态的结构示意图；
[0039]图4为本专利技术实施例1的磁悬浮搅拌装置局部结构示意图；
[0040]图5为本专利技术实施例1的磁悬浮搅拌装置的控制原理示意图；
[0041]图6为本专利技术实施例1的电镀装置的结构示意图；
[0042]图7为本专利技术实施例2的磁悬浮搅拌装置的结构示意图。
[0043]晶圆 100
[0044]电磁感应环 300
[0045]线圈 310
[0046]旋转磁场线圈 311
[0047]悬浮磁场线圈 312
[0048]第一斜面 320
[0049]搅拌机构 400
[0050]永磁体 410
[0051]旋转永磁体 411
[0052]悬浮永磁体 412
[0053]第二斜面 420
[0054]定子 500
[0055]电源 610
[0056]A组线圈 620
[0057]B组线圈 630
[0058]B组电流方向切换器 650
[0059]A组电流方向切换器 660
[0060]时序切换器 640
具体实施方式
[0061]下面通过实施例的方式进一步说明本专利技术，但并不因此将本专利技术限制在的实施例范围之中。
[0062]实施例1
[0063]如图1所示，本专利技术提供一种磁悬浮搅拌装置，其设置在电镀槽体内，用于对电镀槽体内容纳的电镀液进行搅拌，这种磁悬浮搅拌装置包括：
[0064]电磁感应环300，电磁感应环300安装在搅拌装置的定子500上，电磁感应环300包括环向设置的多组线圈310，相邻线圈310的电流流向相反；
[0065]搅拌机构400，搅拌机构400设置在电磁感应环300的环形内侧或内侧上方，搅拌机构400包括与线圈310对应设置的永磁体410；
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磁悬浮搅拌装置，设置于电镀槽内，其特征在于，磁悬浮搅拌装置包括：电磁感应环，电磁感应环安装在搅拌装置的定子上，电磁感应环包括环向设置的多组线圈，相邻线圈的电流流向相反；搅拌机构，搅拌机构设置在电磁感应环的环形内侧或内侧上方，搅拌机构包括与线圈对应设置的永磁体；电磁感应环通过线圈的电流时序产生的磁场驱动搅拌机构在电镀槽内悬浮和沿电磁感应环的环向旋转。2.如权利要求1的磁悬浮搅拌装置，其特征在于，永磁体包括旋转永磁体和悬浮永磁体，线圈包括环向设置的一组或多组旋转磁场线圈和环向设置的一组或多组悬浮磁场线圈；旋转磁场线圈产生的磁场用于驱动搅拌机构沿电磁感应环的环向旋转；悬浮磁场线圈产生的磁场用于驱动搅拌机构在电镀槽内悬浮；旋转磁场线圈和悬浮磁场线圈的环形排列按同心设置；旋转磁场线圈位于悬浮磁场线圈的上方。3.如权利要求2的磁悬浮搅拌装置，其特征在于，搅拌机构还包括霍尔传感器、控制器，霍尔传感器与控制器电连接，控制器与线圈电连接，霍尔传感器设置在电磁感应环与搅拌机构任意一方的端面处，用于测量两者之间的间隙。4.如权利要求1的磁悬浮搅...
【专利技术属性】
技术研发人员：史蒂文，
申请(专利权)人：新阳硅密上海半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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