软磁性合金和磁性部件制造技术

本发明专利技术提供一种软磁性合金，其具有：内部区域，其具有含有Fe和P(磷)的软磁性的合金组成；和P浓化区域，其存在于比内部区域靠表面侧，P的浓度比内部区域高。P的浓度比内部区域高。P的浓度比内部区域高。

【技术实现步骤摘要】
软磁性合金和磁性部件


[0001]本专利技术涉及软磁性合金、以及使用了该软磁性合金的磁性部件。

技术介绍

[0002]作为电感器等各种磁性部件中使用的磁性材料，已知专利文献1～3所示的软磁性合金。这些软磁性合金的饱和磁通密度Bs比铁氧体材料高，并且具有良好的软磁特性。但是，软磁性合金有时由于保存状态或使用环境而发生生锈等腐蚀，需要提高耐腐蚀性。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2009－293099号公报
[0006]专利文献2：日本特开2007－231415号公报
[0007]专利文献3：日本特开2014－167139号公报

技术实现思路

[0008]专利技术所要解决的技术问题
[0009]本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种具有高耐腐蚀性的软磁性合金、以及使用了该软磁性合金的磁性部件。
[0010]用于解决技术问题的技术方案
[0011]为了实现上述目的，本专利技术提供一种软磁性合金，其具有：
[0012]内部区域，其具有含有Fe和P(磷)的软磁性的合金组成；和
[0013]P浓化区域，其存在于比上述内部区域靠表面侧，P的浓度比上述内部区域高。
[0014]本专利技术的专利技术人进行了深入研究，结果发现利用具有上述特征的软磁性合金，能够抑制浸水时生锈，耐腐蚀性提高。
[0015]优选上述P浓化区域含有与上述内部区域共同的元素，
[0016]上述P浓化区域中的与上述内部区域共同的元素的合计含量以物质的量比换算计为50％以上。
[0017]优选上述内部区域含有Co，Co的浓化区域存在于比上述内部区域靠表面侧，上述Co的浓化区域与上述P浓化区域至少部分重合。而且，优选上述Co的浓化区域为金属相，优选上述Co的浓化区域中的Co浓化度大于1.2。
[0018]另外，优选上述P浓化区域中的P浓化度为1.5以上，更优选为2.0以上。
[0019]另外，优选上述软磁性合金的非晶质化度为85％以上。
[0020]上述软磁性合金可以具有薄带形状，也可以具有粉末形状。
[0021]本专利技术的软磁性合金的用途没有特别限制，例如，能够适用于电感器等的线圈部件、滤波器、天线等的各种磁性部件。本专利技术的软磁性合金也适合在上述用途中作为线圈部件等的磁芯(Magnetic core)材料。
附图说明
[0022]图1A是将本专利技术的一个实施方式的软磁性合金1的主要部分放大的截面图。
[0023]图1B是将本专利技术的一个实施方式的软磁性合金1a的主要部分放大的截面图的一例。
[0024]图2A是通过X射线结晶结构解析得到的图的一例。
[0025]图2B是对图2A所示的图进行图形拟合而得到的图案的一例。
[0026]图3A是沿着图1A所示的测定线L
M
，使用EDX进行线分析而得到的曲线的一例。
[0027]图3B是沿着图1B所示的测定线L
M
a，使用EDX进行线分析而得到的曲线的一例。
[0028]图4A是表示本专利技术的一个实施方式的软磁性合金1b的截面图。
[0029]图4B是将图4A所示的区域IVB放大的截面图。
[0030]图5A是图1A所示的软磁性合金1的EELS图像的一例。
[0031]图5B是图1B所示的软磁性合金1a的EELS图像的一例。
[0032]图5C是图4A所示的软磁性合金1b的STEM图像的一例。
[0033]附图标记说明
[0034]1、1a、1b：软磁性合金；2：内部区域；10：最表面；11：浓化部；11a：P浓化区域；11b：Co浓化区域；12：SB氧化层；13：Fe氧化层；20：覆盖层。
具体实施方式
[0035]以下，基于附图所示的实施方式详细地说明本专利技术。
[0036]本实施方式的软磁性合金1可以具有薄带形状、粉末形状、或其它的块体形状等，软磁性合金1的形状没有特别限定。另外，软磁性合金1的尺寸也没有特别限定。例如，在软磁性合金1为薄带形状的情况下，薄带的厚度可以为15μm～100μm；在软磁性合金1为粉末形状的情况下，该软磁性合金粉末的平均粒径可以为0.5μm～150μm，优选为0.5μm～25μm。
[0037]其中，上述的平均粒径可以通过激光衍射法等各种粒度分析法进行测定，优选使用颗粒图像分析装置Morphologi G3(Malvern Panalytical公司制造)进行测定。使用Morphologi G3，利用空气使软磁性合金粉末分散，测定构成该粉末的颗粒的投影面积，根据该投影面积得到圆当量直径的粒度分布。然后，在所得到的粒度分布中，计算体积基准或个数基准的累积相对度数达到50％的粒径作为平均粒径即可。其中，在软磁性合金1包含于磁芯中的情况下，软磁性合金1(粉末)的平均粒径可以通过使用电子显微镜(SEM、STEM等)的截面观察测量截面所包括的颗粒的圆当量直径算出。
[0038]图1A是将软磁性合金1的表面附近放大的截面图。如图1A所示，软磁性合金1具有内部区域2、和位于比该内部区域2靠软磁性合金1的表面侧的浓化部11。其中，在本实施方式中，“内侧”是指更接近软磁性合金1的中心的一侧，“表面侧”或“外侧”是指更远离软磁性合金1的中心的一侧。
[0039](内部区域2)
[0040]内部区域2是占软磁性合金1的体积中的至少90vol％以上的软磁性合金1的基体部。因此，软磁性合金1的平均组成可以视为内部区域2的组成，软磁性合金1的结晶结构可以视为内部区域2的结晶结构。此外，上述的内部区域2的体积比例能够代替面积比例，软磁性合金1的截面面积中的至少90％以上为内部区域2。
[0041]内部区域2(即软磁性合金1)具有含有Fe和P(磷)的软磁性的合金组成，内部区域2中的P的含有率优选为0.1at％～10at％，更优选为2.0at％～7.0at％。另外，优选在内部区域2中除了Fe和P以外还含有Co。
[0042]内部区域2的具体的合金种类没有特别限定，例如可以为Fe－Co系合金或Fe－Co－V系合金、Fe－Co－Si系合金、Fe－Co－Si－Al系合金、Fe－Co－Si－Cr系合金等含P的结晶系的软磁性合金。另外，从降低矫顽力的观点来看，内部区域2优选具有非晶质或纳米结晶的合金组成，作为非晶质或纳米结晶的软磁性合金，可以举出Fe－Co－P－C系合金、Fe－Co－B－P系合金或Fe－Co－B－Si－P系合金等。进一步具体而言，内部区域2更优选具有满足组成式((Fe
(1－(α+β)
Co
α
Ni
β
)
1－γ
X1
γ
)
(1－(a+b+c+d+e))
B
a
P
b
Si
c
C
d...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种软磁性合金，其特征在于，具有：内部区域，其具有含有Fe和P(磷)的软磁性的合金组成；和P浓化区域，其存在于比所述内部区域靠表面侧，P的浓度比所述内部区域高。2.根据权利要求1所述的软磁性合金，其特征在于，所述P浓化区域含有与所述内部区域共同的元素，所述P浓化区域中的与所述内部区域共同的元素的合计含量以物质的量比换算计为50％以上。3.根据权利要求1或2所述的软磁性合金，其特征在于，所述内部区域含有Co，Co的浓化区域存在于比所述内部区域靠表面侧，所述Co的浓化区域与所述P浓化区域至少部分重合。4.根据权利要求3所述的软磁性合金，其特征在于，所述Co的浓化区域为金属相。5.根据权利要求3所...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊冈广修，吉留和宏，松元裕之，长谷川晓斗，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：