软磁性合金及磁性部件制造技术

一种软磁性合金，具有：内部区域，其具有含有Fe及Co的软磁性的合金组成；Co浓化区域，其存在于比内部区域更靠近表面侧，且Co的浓度比内部区域高；SB浓化区域，其存在于比Co浓化区域更靠近表面侧，且选自Si及B中的至少1种元素的浓度比内部区域高；Fe浓化区域，其存在于比SB浓化区域更靠近表面侧，且含有Fe。在该软磁性合金中，将SB浓化区域的结晶化面积比设为S

【技术实现步骤摘要】
软磁性合金及磁性部件


[0001]本专利技术涉及一种软磁性合金、及使用了该软磁性合金的磁性部件。

技术介绍

[0002]作为电感器等各种磁性部件中使用的磁性材料，已知有专利文献 1～3所示那样的软磁性合金。这些软磁性合金的饱和磁通密度Bs比铁 氧体材料高，并具有良好的软磁特性。但是，软磁性合金有时由于保 存状态或使用环境不同而产生锈等腐蚀，要求耐腐蚀性的提高。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2009
‑
293099号公报
[0006]专利文献2：日本特开2007
‑
231415号公报
[0007]专利文献3：日本特开2014
‑
167139号公报

技术实现思路

[0008]专利技术想要解决的技术问题
[0009]本专利技术是鉴于上述的实际情况而研发的，其目的在于，提供一种 具有高的耐腐蚀性的软磁性合金、及使用了该软磁性合金的磁性部件。
[0010]用于解决技术问题的技术方案
[0011]为了实现上述的目的，本专利技术提供一种软磁性合金，其具有：
[0012]内部区域，其具有含有Fe及Co的软磁性合金组成；
[0013]Co浓化区域，其存在于比所述内部区域更靠近表面侧，且Co的 浓度比所述内部区域高；
[0014]SB浓化区域，其存在于比所述Co浓化区域更靠近表面侧，且选 自Si及B中的至少1种元素的浓度比所述内部区域高；和
[0015]Fe浓化区域，其存在于比所述SB浓化区域更靠近表面侧，且含 有Fe，
[0016]将所述SB浓化区域的结晶化面积比设为S
SBcry
/S
SB
，并将所述Fe 浓化区域的结晶化面积比设为S
Fecry
/S
Fe
时，(S
SBcry
/S
SB
)＜(S
Fecry
/S
Fe
)。
[0017]本专利技术人等进行了专门研究，结果发现，在具有上述特征的软磁 性合金中，抑制浸水时的锈，耐腐蚀性提高。
[0018]优选所述SB浓化区域为非晶质的氧化物相。
[0019]优选所述Co浓化区域为金属相。
[0020]优选所述Co浓化区域中的Co浓化度大于1.2。
[0021]优选所述软磁性合金的非晶质化度为85％以上。
[0022]所述软磁性合金可以具有薄带形状，也可以具有粉末形状。
[0023]本专利技术的软磁性合金的用途没有特别限制，例如，能够适用于电 感器等线圈部
件、滤波器、天线等各种磁性部件。即使在上述用途中， 本专利技术的软磁性合金也适合作为线圈部件等中的磁芯(core，磁心)的 材料。
附图说明
[0024]图1是将本专利技术的一个实施方式的软磁性合金1的主要部分进行 了放大的截面图。
[0025]图2A是通过X射线结晶结构分析得到的图表的一例。
[0026]图2B是通过对图2A所示的图表进行轮廓拟合而得到的图案的一 例。
[0027]图3是通过沿着图1所示的测定线L
M
，进行使用了EDX的线分 析而得到的图表的一例。
[0028]图4A是表示本专利技术的一个实施方式的软磁性合金1b的截面图。
[0029]图4B是将图4A所示的区域IVB进行了放大的截面图。
[0030]图5A是图1所示的软磁性合金1的EELS图像的一例。
[0031]图5B是图4A所示的软磁性合金1b的STEM图像的一例。
[0032]符号说明
[0033]1、1b
……
软磁性合金
[0034]2……
内部区域
[0035]10
……
最表面
[0036]11
……
Co浓化区域
[0037]12
……
SB浓化区域
[0038]13
……
Fe浓化区域
[0039]20
……
包覆层
具体实施方式
[0040]以下，基于附图所示的实施方式详细地说明本专利技术。
[0041]本实施方式的软磁性合金1能够具有薄带形状、粉末形状、或其 它块体形状等，软磁性合金1的形状没有特别限定。另外，软磁性合 金1的尺寸也没有特别限定。例如，在软磁性合金1为薄带形状的情 况下，薄带的厚度可以设为15μm～100μm，在软磁性合金1为粉末形 状的情况下，该软磁性合金粉末的平均粒径可以设为0.5μm～150μm， 优选为0.5μm～25μm。
[0042]此外，上述的平均粒径能够通过激光衍射法等各种粒度分析法进 行测定，但优选使用颗粒图像分析装置Morphologi G3(MalvernPanalytical株式会社制造)进行测定。Morphologi G3中，通过空气分散 软磁性合金粉末，并测定构成该粉末的颗粒的投影面积，根据该投影 面积得到圆当量直径的粒度分布。而且，在得到的粒度分布中，只要 计算体积基准或个数基准的累积相对度数成为50％的粒径作为平均粒 径即可。此外，在将软磁性合金1包含于磁芯的情况下，只要通过使 用了电子显微镜(SEM、STEM等)的截面观察测量截面中所含的颗 粒的圆当量直径，由此计算软磁性合金1(粉末)的平均粒径即可。
[0043]图1是将软磁性合金1的表面附近进行了放大的截面图。如图1 所示，软磁性合金1具有：内部区域2、位于比该内部区域2更靠近软 磁性合金1的表面侧的Co浓化区域11、位于
比该Co浓化区域11更 靠近软磁性合金1的表面侧的SB浓化区域12、以及位于比该SB浓化 区域12更靠近软磁性合金1的表面侧的Fe浓化区域13。此外，在本 实施方式中，“内侧”是指更接近软磁性合金1的中心的一侧，“表面 侧”或“外侧”是指更远离软磁性合金1的中心的一侧。
[0044](内部区域2)
[0045]内部区域2是占软磁性合金1的体积中至少90vol％以上的软磁性 合金1的基体部。因此，软磁性合金1的平均组成能够看作内部区域2 的组成，软磁性合金1的结晶结构能够看作内部区域2的结晶结构。 此外，上述的内部区域2的体积比例可代替为面积比例，软磁性合金1 的截面面积中至少90％以上为内部区域2。
[0046]内部区域2(即软磁性合金1)具有含有Fe及Co的软磁性合金组 成，具体的合金组成没有特别限定。例如，内部区域2能够设为Fe
‑
Co 系合金或Fe
‑
Co
‑
V系合金、Fe
‑
Co
‑
Si系合金、Fe
‑
Co
‑
Si
‑
Al系合金等结 晶系的软磁性合金。优选在内部区域2中还含有P，作为含有P的结晶 系的软本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种软磁性合金，其中，具有：内部区域，其具有含有Fe及Co的软磁性合金组成；Co浓化区域，其存在于比所述内部区域更靠近表面侧，且Co的浓度比所述内部区域高；SB浓化区域，其存在于比所述Co浓化区域更靠近表面侧，且选自Si及B中的至少1种元素的浓度比所述内部区域高；以及Fe浓化区域，其存在于比所述SB浓化区域更靠近表面侧，且含有Fe，将所述SB浓化区域的结晶化面积比设为S
SBcry
/S
SB
，并将所述Fe浓化区域的结晶化面积比设为S
Fecry
/S
Fe
时，S
SBcry
/S
SB...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊冈广修，吉留和宏，长谷川晓斗，森智子，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：