软磁性合金及磁性部件制造技术

一种软磁性合金，其具有：内部区域，其具有含有Fe及Co的软磁性合金组成；Co浓化区域，其存在于比内部区域更靠近表面侧，且Co的浓度高于内部区域；以及SB浓化区域，其存在于比Co浓化区域更靠近表面侧，且选自Si及B中的至少1种元素的浓度高于内部区域。元素的浓度高于内部区域。元素的浓度高于内部区域。

【技术实现步骤摘要】
软磁性合金及磁性部件


[0001]本专利技术涉及一种软磁性合金、以及使用了该软磁性合金的磁性部件。

技术介绍

[0002]作为电感器等各种磁性部件中使用的磁性材料，已知有专利文献1～3所示那样的软磁性合金。这些软磁性合金的饱和磁通密度Bs比铁氧体材料高，并具有良好的软磁特性。但是，软磁性合金有时由于保存状态或使用环境而产生锈等的腐蚀，要求耐腐蚀性的提高。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2009
‑
293099号公报
[0006]专利文献2：日本特开2007
‑
231415号公报
[0007]专利文献3：日本特开2014
‑
167139号公报

技术实现思路

[0008]专利技术想要解决的技术问题
[0009]本专利技术是鉴于上述的实际情况而完成的，其目的在于，提供一种具有高的耐腐蚀性的软磁性合金、以及使用了该软磁性合金的磁性部件。
[0010]用于解决技术问题的手段
[0011]为了实现上述的目的，本专利技术提供一种软磁性合金，具有：
[0012]内部区域，其具有含有Fe及Co的软磁性合金组成；
[0013]Co浓化区域，其存在于比所述内部区域更靠近表面侧，且Co的浓度高于上述内部区域；以及
[0014]SB浓化区域，其存在于比所述Co浓化区域更靠近表面侧，且选自Si及B中的至少1种元素的浓度高于所述内部区域。r/>[0015]本专利技术人等进行了专门研究，结果发现，在具有上述特征的软磁性合金中，抑制浸水时的锈，且耐腐蚀性提高。
[0016]优选上述SB浓化区域为氧化物相。另外，优选上述SB浓化区域为非晶质。
[0017]优选上述Co浓化区域为金属相。另外，优选上述Co浓化区域中的Co浓化度大于1.2。
[0018]优选上述软磁性合金的非晶质化度为85％以上。
[0019]上述软磁性合金可以具有薄带形状，也可以具有粉末形状。
[0020]本专利技术的软磁性合金的用途没有特别限制，例如，能够适用于电感器等线圈部件、滤波器、天线等各种磁性部件。即使在上述用途中，本专利技术的软磁性合金也适合作为线圈部件等中的磁芯(core)材料。
附图说明
[0021]图1A是将本专利技术的一个实施方式的软磁性合金1的主要部分进行了放大的截面图。
[0022]图1B是将本专利技术的一个实施方式的软磁性合金1a的主要部分进行了放大的截面图的一例。
[0023]图2A是通过X射线晶体结构分析得到的图表的一例。
[0024]图2B是通过对图2A所示的图表进行轮廓拟合而得到的图案的一例。
[0025]图3是通过沿着图1A所示的测定线L
M
，进行使用了EDX的线分析而得到的图表的一例。
[0026]图4A是表示本专利技术的一个实施方式的软磁性合金1b的截面图。
[0027]图4B是将图4A所示的区域IVB进行了放大的截面图。
[0028]图5A是图1A所示的软磁性合金1的EELS图像的一例。
[0029]图5B是图1B所示的软磁性合金1a的EELS图像的一例。
[0030]图5C是图4A所示的软磁性合金1b的STEM图像的一例。
[0031]符号说明
[0032]1、1a、1b
……
软磁性合金
[0033]2……
内部区域
[0034]10
……
最表面
[0035]11
……
Co浓化区域
[0036]12
……
SB浓化区域
[0037]13
……
氧化物层
[0038]20
……
包覆层
具体实施方式
[0039]以下，基于附图所示的实施方式详细地说明本专利技术。
[0040]本实施方式的软磁性合金1能够具有薄带形状、粉末形状、或其它块形状等，软磁性合金1的形状没有特别限定。另外，软磁性合金1的尺寸也没有特别限定。例如，在软磁性合金1为薄带形状的情况下，薄带的厚度能够设为15μm～100μm，在软磁性合金1为粉末形状的情况下，该软磁性合金粉末的平均粒径能够设为0.5μm～150μm，优选为0.5μm～25μm。
[0041]此外，上述的平均粒径能够通过激光衍射法等各种粒度分析法进行测定，但优选使用颗粒图像分析装置Morphologi G3(Malvern Panalytical株式会社制造)进行测定。Morphologi G3中，通过空气分散软磁性合金粉末，测定构成该粉末的颗粒的投影面积，根据该投影面积得到由圆当量直径得到的粒度分布。而且，在得到的粒度分布中，只要计算体积基准或个数基准的累积相对度数成为50％的粒径作为平均粒径即可。此外，在将软磁性合金1包含于磁芯的情况下，只要通过使用了电子显微镜(SEM、STEM等)的截面观察测量截面中所含的颗粒的圆当量直径，由此计算软磁性合金1(粉末)的平均粒径即可。
[0042]图1A是将软磁性合金1的表面附近进行了放大的截面图。如图1A所示，软磁性合金1具有：内部区域2、位于比该内部区域2更靠近软磁性合金1的表面侧的Co浓化区域11、以及位于比该Co浓化区域11更靠近软磁性合金1的表面侧的SB浓化区域12。此外，在本实施方式
中，“内侧”是指更接近软磁性合金1的中心的一侧，“表面侧”或“外侧”是指更远离软磁性合金1的中心的一侧。
[0043](内部区域2)
[0044]内部区域2是占软磁性合金1的体积中至少90vol％以上的软磁性合金1的基体部。因此，软磁性合金1的平均组成能够看作内部区域2的组成，软磁性合金1的晶体结构能够看作内部区域2的晶体结构。此外，上述的内部区域2的体积比例可代替为面积比例，软磁性合金1的截面面积中至少90％以上为内部区域2。
[0045]内部区域2(即软磁性合金1)具有含有Fe及Co的软磁性合金组成，具体的合金组成没有特别限定。例如，内部区域2能够设为Fe
‑
Co系合金或Fe
‑
Co
‑
V系合金、Fe
‑
Co
‑
Si系合金、Fe
‑
Co
‑
Si
‑
Al系合金等结晶系的软磁性合金。进一步，优选在内部区域2中含有P，作为含有P的结晶系的软磁性合金，可举出Fe
‑
Co
‑
Si
‑
P系合金及Fe
‑
Co
‑
Si
‑
P
‑
Cr系合金等。通过在内部区域2中含有P，Co容易在内部区域2的外缘浓化。
[0046]另外，从降低矫顽力的观点来看，内部区域2优选具有非晶质或纳米结晶的合金组成，作为非晶质或纳米结晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种软磁性合金，其中，具有：内部区域，其具有含有Fe及Co的软磁性合金组成；Co浓化区域，其存在于比所述内部区域更靠近表面侧，且Co的浓度高于所述内部区域；以及SB浓化区域，其存在于比所述Co浓化区域更靠近表面侧，且选自Si及B中的至少1种元素的浓度高于所述内部区域。2.根据权利要求1所述的软磁性合金，其中，所述SB浓化区域为氧化物相。3.根据权利要求1或2所述的软磁性合金，其中，所述SB浓化区域为非晶质。4.根据权利要求1或2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊冈广修，吉留和宏，长谷川晓斗，森智子，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：