一种新型陶瓷吸盘烧结装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种新型陶瓷吸盘烧结装置，包括用于对上方设备进行支撑的支撑机构、用于对陶瓷吸盘进行烧结的加热机构，所述加热机构固定在所述支撑机构上方。本实用新型专利技术通过设置旋转机构，加热过程中，第二电机通过转筒和传动轴带动转盘上的陶瓷吸盘转动，如此使得陶瓷吸盘能够被均匀加热，烧结完成后，打开箱盖，启动第一电机，第一电机带动丝杠转动，丝杠转动带动升降座上升，升降座带动升降板和升降杆上升，升降杆通过固定环带动转盘上升，转盘通过传动轴带动升降块和滑块上升，转盘上升从而将烧结好的陶瓷吸盘顶出加热箱，如此可以避免工作人员拿取陶瓷吸盘时被高温加热箱烫伤，有效提高了装置的使用效果。有效提高了装置的使用效果。有效提高了装置的使用效果。

【技术实现步骤摘要】
一种新型陶瓷吸盘烧结装置


[0001]本技术涉及陶瓷吸盘生产设备
，特别是涉及一种新型陶瓷吸盘烧结装置。

技术介绍

[0002]随着我国半导体产业的快速发展，对制造装备的精度提出了更高的要求。为了解决高端光刻机的运动及测量的高精度要求，光刻机在工作台等系统采用了陶瓷材料。其中应用于光刻机的吸盘为一种采用陶瓷制作的中空结构，吸盘通过接管与真空设备连接，然后与大尺寸硅片接触，启动真空抽吸，使吸盘内产生负压，从而将硅片吸牢。为了减少对硅片的污染，需要尽可能的减少吸盘与硅片的接触，因此，在吸盘基体表面设计很多的小的凸点，且所有的凸点在同一个平面，让陶瓷吸盘与硅片实现点接触。
[0003]陶瓷吸盘生产时需要用到烧结装置，现有的烧结装置存在如下问题亟待解决：烧结后的陶瓷吸盘位于加热箱内部，工作人员拿取陶瓷吸盘时高温加热箱很容易烫伤工作人员。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种新型陶瓷吸盘烧结装置。
[0005]本技术通过以下技术方案来实现上述目的：
[0006]一种新型陶瓷吸盘烧结装置，包括用于对上方设备进行支撑的支撑机构、用于对陶瓷吸盘进行烧结的加热机构，所述加热机构固定在所述支撑机构上方，还包括用于带动陶瓷吸盘转动的旋转机构，所述旋转机构安装在所述加热机构上；
[0007]所述旋转机构包括固定壳、第一电机、丝杠、升降座、升降板、升降杆、固定环、转筒、第二电机、升降块、滑块、传动轴、转盘，所述第一电机安装在所述固定壳内部，所述丝杠安装在所述第一电机输出端，所述升降座设置在所述丝杠外侧，所述升降板固定在所述升降座上，所述升降杆固定在所述升降板上方，所述固定环安装在所述升降杆上方，所述转筒设置在所述升降板内侧，所述第二电机安装在所述转筒下方，所述升降块设置在所述转筒内部，所述滑块固定在所述升降块外侧，所述传动轴固定在所述升降块上方，所述转盘固定在所述传动轴上方。
[0008]优选的，所述支撑机构包括支撑板、支撑座，所述支撑座固定在所述支撑板下方。
[0009]优选的，所述加热机构包括弯杆、加热箱、加热棒、箱盖，所述加热箱固定在所述弯杆前部，所述加热棒安装在所述加热箱内部，所述箱盖安装在所述加热箱上方。
[0010]优选的，所述支撑座与所述支撑板焊接，所述支撑座的材质为不锈钢。
[0011]优选的，所述加热棒的数量为四个，所述箱盖与所述加热箱通过铰链连接。
[0012]优选的，所述滑块的数量为四个，所述转盘与所述固定环转动连接。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0014]1、通过设置加热机构，使用多个加热棒同时进行加热操作，有效提高了陶瓷吸盘
的加热效率；
[0015]2、通过设置旋转机构，加热过程中，第二电机通过转筒和传动轴带动转盘上的陶瓷吸盘转动，如此使得陶瓷吸盘能够被均匀加热，烧结完成后，打开箱盖，启动第一电机，第一电机带动丝杠转动，丝杠转动带动升降座上升，升降座带动升降板和升降杆上升，升降杆通过固定环带动转盘上升，转盘通过传动轴带动升降块和滑块上升，转盘上升从而将烧结好的陶瓷吸盘顶出加热箱，如此可以避免工作人员拿取陶瓷吸盘时被高温加热箱烫伤，有效提高了装置的使用效果。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是本技术所述一种新型陶瓷吸盘烧结装置的结构示意图；
[0018]图2是本技术所述一种新型陶瓷吸盘烧结装置的左视图；
[0019]图3是本技术所述一种新型陶瓷吸盘烧结装置的主视内部结构示意图；
[0020]图4是本技术所述一种新型陶瓷吸盘烧结装置中转筒的放大主视内部结构示意图；
[0021]图5是本技术所述一种新型陶瓷吸盘烧结装置中转盘的结构示意图。
[0022]附图标记说明如下：
[0023]1、支撑机构；101、支撑板；102、支撑座；2、加热机构；201、弯杆；202、加热箱；203、加热棒；204、箱盖；3、旋转机构；301、固定壳；302、第一电机；303、丝杠；304、升降座；305、升降板；306、升降杆；307、固定环；308、转筒；309、第二电机；310、升降块；311、滑块；312、传动轴；313、转盘。
具体实施方式
[0024]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0025]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0026]下面结合附图对本技术作进一步说明：
[0027]如图1
‑
图5所示，一种新型陶瓷吸盘烧结装置，包括用于对上方设备进行支撑的支撑机构1、用于对陶瓷吸盘进行烧结的加热机构2，加热机构2固定在支撑机构1上方，还包括用于带动陶瓷吸盘转动的旋转机构3，旋转机构3安装在加热机构2上。
[0028]在本技术中，支撑机构1包括支撑板101、支撑座102，支撑座102焊在支撑板101下方；支撑座102的材质为不锈钢；支撑座102与支撑板101采用焊接的方式固定在一起，连接牢固稳定性高。
[0029]在本技术中，加热机构2包括弯杆201、加热箱202、加热棒203、箱盖204，加热箱202焊在弯杆201前部，加热棒203安装在加热箱202内部，箱盖204通过铰链安装在加热箱202上方；加热棒203的数量为四个；使用多个加热棒203同时进行加热操作，有效提高了陶瓷吸盘的加热效率。
[0030]在本技术中，旋转机构3包括固定壳301、第一电机302、丝杠303、升降座304、升降板305、升本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型陶瓷吸盘烧结装置，包括用于对上方设备进行支撑的支撑机构(1)、用于对陶瓷吸盘进行烧结的加热机构(2)，所述加热机构(2)固定在所述支撑机构(1)上方，其特征在于：还包括用于带动陶瓷吸盘转动的旋转机构(3)，所述旋转机构(3)安装在所述加热机构(2)上；所述旋转机构(3)包括固定壳(301)、第一电机(302)、丝杠(303)、升降座(304)、升降板(305)、升降杆(306)、固定环(307)、转筒(308)、第二电机(309)、升降块(310)、滑块(311)、传动轴(312)、转盘(313)，所述第一电机(302)安装在所述固定壳(301)内部，所述丝杠(303)安装在所述第一电机(302)输出端，所述升降座(304)设置在所述丝杠(303)外侧，所述升降板(305)固定在所述升降座(304)上，所述升降杆(306)固定在所述升降板(305)上方，所述固定环(307)安装在所述升降杆(306)上方，所述转筒(308)设置在所述升降板(305)内侧，所述第二电机(309)安装在所述转筒(308)下方，所述升降块(310)设置在所述转筒(308)内部，所述滑块(311)固定在所述升降块(310)外侧，...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜文生，张培，江萌萌，
申请(专利权)人：河南品兴电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：