一种掩膜板贴合系统及其贴合方法技术方案

本发明专利技术提供一种掩膜板贴合系统及其贴合方法，贴合系统还与蒸镀机的升降机构相配合，所述贴合系统包括支撑框、左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器、右B压力传感器、金属掩膜板和衬底玻璃基板，支撑框四角表面分别设置有左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器，所述金属掩膜板设置在所述支撑框的上方，且所述金属掩膜板的四角分别架设在对应的压力传感器上，所述衬底玻璃基板设置在金属掩膜板的上方，并通过蒸镀机的升降机构将支撑框和金属掩膜板抬起并与所述衬底玻璃基板相贴合。本发明专利技术能够保证金属掩膜板四个角平衡地贴合在衬底玻璃基板上面，不产生缝隙，也不会压弯衬底玻璃基板，大大提高产品的质量。品的质量。品的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板贴合系统及其贴合方法


[0001]本专利技术涉及一种掩膜板贴合系统及其贴合方法。

技术介绍

[0002]OLED显示面板制程中通常用金属掩模板蒸镀方式在衬底基板上形成有机功能层，金属掩模板和衬底基板的贴合情况会影响蒸镀的质量，最终影响OLED面板显示的质量。金属掩模板由外层的框架和中间的金属掩模组成。需要保证框架紧密贴合在衬底玻璃基板的情况下才能确保中间的掩膜可以更紧密的贴合。
[0003]现有技术中使用位置控制金属掩膜板，没有办法确认掩膜板框架是否与衬底玻璃贴合，影响面板的显示质量。现有技术使用位置控制掩膜板与衬底玻璃基板贴合。由于掩膜板尺寸与掩膜板位置均存在误差，设置的掩膜板位置会导致掩膜板与衬底玻璃基板有缝隙，或者掩膜板压到衬底玻璃上导致衬底玻璃被压弯。同时位置控制同样不能保证掩膜板的贴合情况在四个角上是相同的，可能的一种情况是，一个角被压弯，对角线上另一个角却还留有缝隙。这种情况会影响掩膜板和衬底玻璃基板的对位，使蒸镀的像素点偏离设计的位置，影响面板显示的质量。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题，在于提供一种掩膜板贴合系统及其贴合方法，其能够保证金属掩膜板四个角平衡地贴合在衬底玻璃基板上面，不产生缝隙，也不会压弯衬底玻璃基板，大大提高产品的质量。
[0005]本专利技术是这样实现的：
[0006]一种掩膜板贴合系统，所述贴合系统还与蒸镀机的升降机构相配合，所述贴合系统包括支撑框、左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器、右B压力传感器、金属掩膜板和衬底玻璃基板，所述支撑框四角表面分别设置有左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器，所述金属掩膜板设置在所述支撑框的上方，且所述金属掩膜板的四角分别架设在对应的左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器上，所述衬底玻璃基板设置在金属掩膜板的上方，并通过蒸镀机的升降机构将支撑框和金属掩膜板抬起并与所述衬底玻璃基板相贴合。
[0007]进一步地，一种掩膜板贴合系统的贴合方法，所述方法步骤如下：
[0008]步骤1、将上方架设有金属掩膜板的支撑框处于静止不动时，各传感器测得的力值为平衡力，此时左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器测得的平衡力力值分别为W
11
、W
12
、W
21
、W
22
；
[0009]步骤2、左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器所在的当前位置分别设定为z
11
、z
12
、z
21
、z
22
；
[0010]蒸镀机通过升降机构将支撑框和金属掩膜板抬高到靠近待蒸镀的衬底玻璃基板处的平衡位置，该位置为贴合过程的平衡位置，即为四组压力传感器的初始位置，且均设定
为z0；之后，升降机构继续上升直到金属掩膜板贴合衬底玻璃基板；上述过程通过各传感器测得的力值分为三个部分，左A压力传感器测得的力值过程如下：
[0011]第一部分，金属掩膜板从静止不动加速到匀速运动，此时金属掩膜板为加速运动，金属掩膜板左上角受到支撑框的支持力N为：
[0012][0013]其中m为1/4金属掩膜板质量，此时左A压力传感器测得的力值f与金属掩膜板左上角受到支撑的支持力N相同，t为时间；
[0014]第二部分，金属掩膜板匀速运动，左A压力传感器测得的力值f为平衡力W
11
；
[0015]第三部分，金属掩膜板贴合衬底玻璃基板，此时金属掩膜板为减速运动；金属掩膜板左上角受到支撑框的支持力N为：
[0016][0017]其中S为金属掩膜板框架与衬底玻璃基板相接处的面积，q为衬底玻璃基板施加在金属掩膜板框架上的分布力；同样此时左A压力传感器测得的力值f与金属掩膜板左上角受到支撑的支持力N相同；
[0018]由于衬底玻璃基板静止不动，故减速度很大，左A压力传感器测得的力值f远大于平衡力W
11
；设定一衬底玻璃基板的压力阈值F
11
，在金属掩膜板减速，将左A压力传感器测得力值f与压力阈值F
11
进行比对，当f增大到F
11
时的位置即为左A压力传感器所在位置上方处的金属掩膜板与衬底玻璃基板的贴合位置Z
’
11
，并记录；
[0019]按上述方法分别获得左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器所在位置上方处的金属掩膜板与衬底玻璃基板的贴合位置Z
’
12
、Z
’
21
、Z
’
22
,则Z
’
11
、Z
’
12
、Z
’
21
、Z
’
22
四个点确定的平面即为金属掩膜板完全贴合衬底玻璃基板且不会压弯衬底玻璃基板的位置。
[0020]进一步地，步骤2中所述平衡位置为金属掩膜板抬高到靠近待蒸镀的衬底玻璃基板下方2
‑
10cm处。
[0021]进一步地，当金属掩膜板处于贴合位置时，四组压力传感器测得的四个力值中有两个值偏差超过50％
×
(F
11
‑
W
11
)即为偏离，此时各压力传感器压力力值到达相应压力阈值的位置将偏离真实贴合位置；
[0022]记此时金属掩膜板与衬底玻璃基板四个角的贴合位置为Z*
11
、Z*
12
、Z*
21
、Z*
22
，以此时的贴合位置Z*
11
、Z*
12
、Z*
21
、Z*
22
为基准，将金属掩膜板下降2cm，重新进行步骤2的贴合过程，多次迭代调整，直到金属掩膜板处于贴合位置时且四组压力传感器测得的四个力值的差值在容许范围内。
[0023]进一步地，当金属掩膜板处于贴合位置时，四组压力传感器测得的四个力值中有两个值偏差超过50％
×
(F
11
‑
W
11
)即为偏离，此时各压力传感器压力力值到达相应压力阈值的位置将偏离真实贴合位置；
[0024]此时动态调整支撑框四个角处的各压力传感器，若其测量的力值超出压力阈值过大，则下降该压力传感器对应角处的支撑框位置；同样的，若压力传感器测量的力值明显小于压力阈值时，则上升该压力传感器对应角处的支撑框位置；至此，支撑框的四角定位完成。
[0025]本专利技术具有如下优点：
[0026]本专利技术将压力传感器添加在移动金属掩膜板下方支撑框的四角上，使用压力传感器来检测金属掩膜板是否贴上衬底玻璃基板；根据压力传感器的压力值大小来调整和确定金属掩膜板四个角平衡地贴合本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板贴合系统，所述贴合系统还与蒸镀机的升降机构相配合，其特征在于：所述贴合系统包括支撑框、左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器、右B压力传感器、金属掩膜板和衬底玻璃基板，所述支撑框四角表面分别设置有左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器，所述金属掩膜板设置在所述支撑框的上方，且所述金属掩膜板的四角分别架设在对应的左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器上，所述衬底玻璃基板设置在金属掩膜板的上方，并通过蒸镀机的升降机构将支撑框和金属掩膜板抬起并与所述衬底玻璃基板相贴合。2.根据权利要求1所述的一种掩膜板贴合系统的贴合方法，其特征在于：所述方法步骤如下：步骤1、将上方架设有金属掩膜板的支撑框处于静止不动时，各传感器测得的力值为平衡力，此时左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器测得的平衡力力值分别为W
11
、W
12
、W
21
、W
22
；步骤2、左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器所在的当前位置分别设定为z
11
、z
12
、z
21
、z
22
；蒸镀机通过升降机构将支撑框和金属掩膜板抬高到靠近待蒸镀的衬底玻璃基板处的平衡位置，该位置为贴合过程的平衡位置，即为四组压力传感器的初始位置，且均设定为z0；之后，升降机构继续上升直到金属掩膜板贴合衬底玻璃基板；上述过程通过各传感器测得的力值分为三个部分，左A压力传感器测得的力值过程如下：第一部分，金属掩膜板从静止不动加速到匀速运动，此时金属掩膜板为加速运动，金属掩膜板左上角受到支撑框的支持力N为：其中m为1/4金属掩膜板质量，此时左A压力传感器测得的力值f与金属掩膜板左上角受到支撑的支持力N相同，t为时间；第二部分，金属掩膜板匀速运动，左A压力传感器测得的力值f为平衡力W
11
；第三部分，金属掩膜板贴合衬底玻璃基板，此时金属掩膜板为减速运动；金属掩膜板左上角受到支撑框的支持力N为：其中S为金属掩膜板框架与衬底玻璃基板相接处的面积，q为衬底玻璃基板施加在金属掩膜板框架上的分布力；同样此时左A压力传感器测得的力值f与金属掩膜板左上角受到支撑的支持力N相同；由于衬底玻璃基板静止不动，故减速度很大，左A压力传感器测得的力值f远大于平衡力W
11
；设定一衬底玻璃基板的压力阈值F
11
，在金属掩膜板减速，将左A压力传感器测得力值f与压力阈值F
11
进行比对，当f增大到F<...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄琦，
申请(专利权)人：华映科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：