用于辊运输系统的载体、辊运输系统和具有辊运输系统的真空处理设备技术方案

根据本公开内容的一个方面，提供了一种用于在辊运输轨道(200a、200b)上沿运输方向(X)运输的载体(100)。所述载体(100)包括：第一辊接触表面(120a)，所述第一辊接触表面被配置为将所述载体(100)支撑在所述辊运输轨道(200a)的至少一个第一辊(210a)上；以及第二辊接触表面(120b),所述第二辊接触表面被配置为将载体(100)支撑在所述辊运输轨道(200b)的至少一个第二辊(210b)上；其中所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)在所述运输方向(X)上分开，其中在两者间存在空间。根据其他方面，提供了一种辊运输系统和一种真空处理设备。理设备。理设备。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于辊运输系统的载体、辊运输系统和具有辊运输系统的真空处理设备


[0001]本公开内容的实施方式涉及一种用于在辊运输轨道上运输的载体，尤其是用于在真空处理设备中支撑基板或掩模的载体。本公开内容的进一步实施方式涉及一种真空处理设备，所述真空处理设备具有辊运输轨道，用于运输载体进出真空处理腔室。更特别地，本公开内容的实施方式涉及可用于垂直基板处理(诸如用于显示器生产的大面积基板上的材料沉积)的处理系统的用于运输载体的多种设备和方法。

技术介绍

[0002]用于在基板上进行层沉积的技术包括例如溅射沉积、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和热蒸发。已涂覆基板可用于若干应用和若干
中。例如，已涂覆基板可用于显示装置的领域中。显示装置可用于制造电视机屏幕、计算机显示器、移动电话、其他手持装置等来显示信息。典型地，显示器是通过用不同材料的层堆叠涂覆基板来生产。
[0003]为了沉积层堆叠，可使用直列(in
‑
line)处理模块布置。直列处理系统包括多个后续处理模块(诸如沉积模块)以及可选地进一步的处理模块(诸如清洁模块和/或蚀刻模块)，其中处理方面随后地在处理模块中进行，使得多个基板可在直列处理系统中连续地或准连续地进行处理。
[0004]基板或掩模可由载体(即，用于承载基板的承载设备)承载。通常使用运输系统运输载体通过真空系统。运输系统可用于沿一个或多个运输路径运输其上设置有基板的载体。例如，至少两个运输路径可彼此靠近地设置在真空系统中，例如，用于在前进方向上运输载体的第一运输路径和用于在与前进方向相反的返回方向上运输载体的第二运输路径。替代地，可提供单一运输路径，用于在前进方向和返回方向中的任一个方向上运输载体。
[0005]获得通过真空系统的基板载体和/或掩模载体的准确且平稳的运输是有挑战性的。例如，在基于辊的运输系统中，即使是稍微错位的辊也可能导致被运输的载体冲击错位的辊，并导致辊的不均匀载荷。特定辊上的增加的载荷可能会导致颗粒产生的增加，从而使制造工艺劣化。因此，需要的是在减少或最小化颗粒产生的情况下在处理系统中运输载体。另外，挑战例如是以低成本提供用于高温真空环境的稳健载体运输系统。
[0006]因此，存在用于运输载体的改善的设备和方法以及提供克服现有技术的至少一些问题的改善的真空处理系统的持续需求。

技术实现思路

[0007]鉴于上文，提供了用于在辊运输轨道上运输的载体，以及具有用于将所述载体运输进出真空处理腔室的辊运输轨道的真空处理设备。根据独立权利要求、说明书和附图，其他的方面、优点和特征变得显而易见。
[0008]根据本公开内容的一个方面，提供了一种用于在辊运输轨道上沿运输方向运输的载体，所述载体包括：第一辊接触表面，所述第一辊接触表面被配置为在所述辊运输轨道上
的至少一个第一辊上支撑所述载体，以及第二辊接触表面，所述第二辊接触表面被配置为在所述辊运输轨道上的至少一个第二辊上支撑所述载体；其中所述第一辊接触表面和所述第二辊接触表面在运输方向上分开，其中在所述第一辊接触表面和所述第二辊接触表面之间存在空间。
[0009]根据本公开内容的另一方面，提供了一种辊运输系统。所述辊运输系统包括辊运输轨道和根据本公开内容多个方面的载体，所述辊运输轨道包括多个辊。
[0010]根据本公开内容的又一方面，提供了一种用于将材料沉积在基板上的真空处理设备。所述真空处理设备包括至少一个真空处理腔室和根据本公开内容的多个方面的辊运输系统，所述辊运输系统用于运输根据本公开内容的多个方面的载体进出所述至少一个真空处理腔室。
[0011]本公开内容的多个方面提供了一种用于在辊运输轨道上运输的载体，当载体在辊运输轨道上运输时，所述载体降低了对错位的辊的冲击和载荷。此外，辊上的载荷更均匀地分布在辊运输轨道的辊上。辊上所减少的冲击和载荷减少了辊的磨损量和载体的辊接触面积，这导致减少了颗粒的产生。此外，根据本公开内容的多个方面的载体可以通过减小由于错位的辊所引起的载体俯仰角，而在辊运输轨道上更平稳和更有效地运输。
附图说明
[0012]为了可以详细地理解本公开内容的上述特征，可参照实施方式来得出以上简要地概述的本公开内容的更具体的描述。附图涉及本公开内容的实施方式并且描述如下：
[0013]图1示出了不具有错位辊的辊运输系统的示意性侧视图；
[0014]图2A至图2B示出了根据现有技术的具有错位辊的辊运输系统的示意性侧视图；
[0015]图3A至图3B示出了根据本文所描述的实施方式的辊运输系统的示意性侧视图；
[0016]图4A至图4B示出了根据本文所描述的实施方式的具有顺应性辊接触表面的辊运输系统的详细侧视图；以及
[0017]图5示出了根据本文所描述的实施方式的辊运输系统的示意性横截面端视图。
具体实施方式
[0018]现将详细地参照各个实施方式，这些实施方式的一个或多个示例示出于各图中。每个示例是作为解释提供的，并不意味着作为限制。例如，作为一个实施方式的一部分示出或描述的特征可以在任何其他实施方式上使用或与任何其他实施方式结合使用，以产生又一实施方式。本公开内容旨在包括此类修改和变化。
[0019]在以下对附图的描述中，相同的附图标记指代相同或相似的元件。通常情况下，仅仅对相对于各个实施方式的差异进行描述。除非另有说明，一个实施方式中的部分或方面的描述同样可以适用于另一实施方式中对应的部分或方面。
[0020]首先将参照图1，图1示出了现有技术中典型的用于运输载体100的辊运输系统的示意性侧视图。辊运输系统包括至少一个辊运输轨道200a、200b，其中，辊运输轨道200a、200b包括多个辊210a、210b。
[0021]在本公开内容中，提供了载体100，该载体用于支撑平面物体，一般是平面基板或平面掩模。然而，本公开内容并不限于此，载体100可被配置成用于支撑一般在真空处理设
备中使用的其他产品或工具。载体100包括载体主体110，该载体主体构成载体100的结构。载体主体110可以包括基板表面，基板S可以支撑在所述基板表面上。基板表面可以包括静电卡盘，所述静电卡盘被配置用于通过静电将基板S保持在基板表面上。
[0022]辊运输轨道200a、200b主要用于支撑载体100的支撑重量W，同时还提供用于沿辊运输轨道200a、200b的长度移动载体100的有效装置。辊210a、210b可以包括至少一个轴承，例如滚动轴承、流体轴承或磁轴承，使得辊210a、210b可以低摩擦地旋转。
[0023]在一般的现有技术中，载体100包括单个辊接触表面120。辊接触表面120沿载体主体110的下表面延伸并且接触辊运输轨道200a、200b的辊210a、210b。辊接触表面120通常沿载体主体110的整个长度或基本上整个长度延伸，并且接触辊运输轨道200a、200b的至少两个辊210a、210b，从而支撑载体100的支撑重量W。载体100具有重心CoG本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在辊运输轨道(200a、200b)上沿运输方向(X)运输的载体(100)，所述载体(100)包括：第一辊接触表面(120a)，所述第一辊接触表面被构造为在所述辊运输轨道(200a、200b)上的至少一个第一辊(210a、210b)上支撑所述载体(100)，以及第二辊接触表面(120b)，所述第二辊接触表面被构造为在所述辊运输轨道(200a、200b)上的至少一个第二辊(210a、210b)上支撑所述载体(100)；其中所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)在所述运输方向(X)上分开，其中在所述第一辊接触表面和所述第二辊接触表面之间存在空间。2.如权利要求1所述的载体(100)，其中所述第一辊接触表面(120a)在所述运输方向(X)上具有第一长度，并且所述第二辊接触表面(120b)在所述运输方向(X)上具有第二长度，其中所述空间的长度等于或大于所述第一长度的一半和/或所述第二长度的一半。3.如权利要求2所述的载体(100)，其中所述第一长度和所述第二长度大于所述辊运输轨道(200a、200b)的相邻辊(210a、210b)之间的长度。4.如权利要求1至3中任一项所述的载体(100)，其中所述第一辊接触表面(120a)布置在所述载体(100)的前端，所述第二辊接触表面(120b)布置在所述载体(100)的后端，并且所述空间布置在所述载体(100)的中间。5.如权利要求1至4中任一项所述的载体(100)，其中所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)包括在相应的所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)的前端上的倾斜表面和/或在相应所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)的后端上的倾斜表面。6.如权利要求1至5中任一项所述的载体(100)，其中所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)经由柔性装置(124)附接至所述载体(100)。7.如权利要求1至6中任一项所述的载体(100)，其中所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)经由枢轴(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：克里斯蒂安，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：