本实用新型专利技术提供了一种晶圆对准臂及晶圆对准装置；所述晶圆对准臂包括升降体和调节件；所述升降体可沿设定的升降方向移动以升高或者降低，所述升降体上设有导斜面；所述调节件设置于所述升降体上并可相对所述升降体运动，所述调节件包括调节部，所述调节件被配置为，所述调节件随所述升降体升高时，所述调节件运动使得所述调节部远离所述导斜面，所述调节件随所述升降体降低时，所述调节件复位使得所述调节部靠近导斜面，以将晶圆边缘推至所述导斜面上。所述晶圆对准装置包含有至少三个晶圆对准臂。本实用新型专利技术中通过对准臂可推动晶圆至引导斜面上，保持晶圆的有效对中，利于减少晶圆破掉片和破片现象，降低晶圆的破片率，并且提高了定位精度。且提高了定位精度。且提高了定位精度。
【技术实现步骤摘要】
晶圆对准臂及晶圆对准装置
[0001]本技术涉及晶圆对准
，特别涉及一种晶圆对准臂及晶圆对准装置。
技术介绍
[0002]晶圆对准是芯片加工的必要工序，现有的晶圆对准装置通常是通过三个成三角布置的夹具实现，各夹具随升降装置升高用于承接机械臂输送的晶圆，其中各夹具的径向内端一侧具有倒角，当晶圆的边缘处放置在该倒角上时，通过倒角的斜面引导晶圆下滑进而自动对中，为确定晶圆的位置姿态，还设置有缺口检测装置，当晶圆沿倒角的斜面下滑对中后且缺口位置检测合格后，则认为晶圆的位置姿态正确；
[0003]上述结构中，倒角的覆盖偏移量较小，一旦晶圆的边缘径向向外超过倒角的覆盖范围时，晶圆一边可能会支撑在夹具上，此时晶圆为倾斜姿态，而此时若晶圆的缺口刚好在周向方向未发生偏移，则晶圆缺口位置依然可被检测合格，换而言之，可能会存在晶圆姿态发生倾斜但是晶圆位置姿态被确定为正确的情况，那么可能会造成晶圆掉落或者破片的风险。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆对准臂及晶圆对准装置，该对准臂以及设置有该对准臂的对准装置可对晶圆形成径向驱动，以保持晶圆边缘位置位于导斜面上，进而通过导斜面引导晶圆滑动至斜面底部，保持晶圆的有效对中，且改善了晶圆姿态发生偏移且晶圆位置被确定为正确的误判情况，利于减少晶圆破掉片和破片现象，降低晶圆的破片率，并且提高了定位精度。
[0005]为了解决现有现有晶圆对转过程中可能会发生的误判风险的问题，本专利技术提供了一种晶圆对准臂及晶圆对准装置，该对准臂以及设置有该对准臂的对准装置可对晶圆形成径向驱动，以保持晶圆边缘位置位于导斜面上，进而通过导斜面引导晶圆滑动至斜面底部，保持晶圆的有效对中，且改善了晶圆姿态发生偏移且晶圆位置被确定为正确的误判情况，利于减少晶圆破掉片和破片现象，降低晶圆的破片率，并且提高了定位精度。
[0006]本实施例中的晶圆对准臂，现有现有晶圆对转过程中可能会发生的误判风险的问题，包括：
[0007]升降体和调节件；
[0008]所述升降体可沿设定的升降方向移动以升高或者降低，所述升降体上设有导斜面；
[0009]所述调节件设置于所述升降体上并可相对所述升降体运动，所述调节件包括调节部，所述调节件被配置为，所述调节件随所述升降体升高时，所述调节件相对所述升降体运动使得所述调节部远离所述导斜面，所述调节件随所述升降体降低时，所述调节件相对所述升降体运动复位使得所述调节部靠近导斜面，以将晶圆边缘推至所述导斜面上。
[0010]可选的，所述晶圆对准臂还包括驱动件，所述驱动件被配置为，所述调节件随所述
升降体升高时，所述驱动件驱动所述调节件相对所述升降体运动，使得所述调节部向远离所述导斜面的方向移动。
[0011]可选的，所述调节件绕第一轴线可转动地设置于所述升降体上，所述调节件的一摆动端作为所述调节部。
[0012]可选的，所述驱动件包括挡块，所述调节件随所述升降体升高时，所述调节件与所述挡块接触且所述挡块迫使所述调节件相对所述升降体运动，以使得所述调节部向远离所述导斜面的方向运动。
[0013]可选的，所述晶圆对准臂还包括复位件，所述复位件设置于所述升降体上，用于为所述调节件提供其复位时所需的复位力。
[0014]可选的，所述调节件包括摆臂以及设置于摆臂上的阻挡部，所述摆臂绕第一轴线可转动地设置于升降体上，所述摆臂的一摆动端作为所述调节部，所述调节件随所述升降体升高时，所述阻挡部被所述挡块阻挡，且所述挡块迫使所述阻挡部及摆臂摆动，以使得所述调节部向远离所述导斜面的方向运动。
[0015]可选的，所述升降体上沿垂直于所述第一轴线的方向开设有通槽，所述调节件上经过所述第一轴线的部分可围绕所述第一轴线转动的安装于所述通槽内。
[0016]可选的，所述第一轴线所在方向与所述升降体的升降方向垂直。
[0017]可选的，所述复位件包括弹性件，所述弹性件用于为所述调节件相对所述调节部的另一摆动端提供复位所需的弹性复位力。
[0018]可选的，所述晶圆对准臂还包括角度限位件，所述角度限位件设置于所述升降体上用于限定所述调节件的摆动角度。
[0019]可选的，所述角度限位件包括行程限位杆和行程挡块，所述行程限位杆设置于所述调节件和所述升降体其中一个部件上，所述调节件和所述升降体其中的另一部件上开设有供所述行程限位杆穿过的滑动孔，所述行程挡块连接于行程限位杆上，所述行程限位杆上位于所述行程挡块和与其连接的所述部件之间形成滑动行程，所述行程限位杆相对所述滑动孔在所述滑动行程内滑动。
[0020]可选的，所述弹性件套于所述程限位杆上，所述弹性件的两端分别抵在两所述部件之间，或者分别抵在行程挡块上以及与所述行程挡块相邻的所述部件上。
[0021]本专利技术还提供了一种晶圆对准装置，包括至少三个晶圆对准臂，各所述晶圆对准臂沿第二轴线为中心周向设置。
[0022]可选的，所述导斜面朝向第二轴线倾斜布置，所述导斜面的低位位于其倾斜方向所在的径向方向的内侧。
[0023]可选的，所述调节部位于导斜面沿其倾斜方向所在的径向方向外侧，所述调节部远离所述导斜面时，所述调节部沿导斜面的倾斜方向所在的径向方向向外运动。
[0024]综上所述，在本技术提供的晶圆对准臂及晶圆对准装置中，所述晶圆对准臂包括升降体和调节件；所述升降体上设有导斜面；所述调节件设置于所述升降体上并可相对所述升降体运动，所述调节件包括调节部，所述调节件被配置为，所述调节件随所述升降体升高时，所述调节件运动使得所述调节部远离所述导斜面，所述调节件随所述升降体降低时，所述调节件复位使得所述调节部靠近导斜面，以将晶圆边缘推至所述导斜面上。
[0025]如此配置，该对准臂可在所述升降体升高时，调节部远离所述导斜面，此时利于释
放空间，便于晶圆放置于对应的空间内，在升降体降低时，调节部靠近所述导斜面，对晶圆形成径向驱动，推动晶圆以保持晶圆边缘位置位于导斜面上，进而通过导斜面引导使得晶圆边缘滑动至斜面底部，保持晶圆的有效对中，且改善了晶圆姿态发生偏移且晶圆位置被确定为正确的误判情况，利于减少晶圆掉片和破片现象，降低晶圆的破片率，并且提高了定位精度；
[0026]另外，基于调节件摆动结构，通过阻挡部和挡块的简单配合，实现所述升降体升降运动与调节件摆动运动的联动，不仅使得升降体升降运动与调节件摆动运动的各运动状态精确配合，而且也可减少驱动调节件的电器化驱动机构，利于简化对准臂的结构，并且也简化了对准臂运动的控制程序；
[0027]本技术还通过对角度行程的设计，利于控制调节件的摆动角度，一方面避免调节件其它机械部件的干涉带来的卡死现象，另一方面避免调节件其它机械部件的撞击，而且也可控制调节部的打开幅度，进而实现对准装置形成的承接晶圆的区域可调整的目的；
[0028]本技术中设置有晶圆对准臂的晶圆对准装置，可通过多个周向分布的晶圆对准臂的配合，可形成对晶圆的有效支撑；本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆对准臂，其特征在于：包括升降体和调节件；所述升降体可沿设定的升降方向移动以升高或者降低，所述升降体上设有导斜面；所述调节件设置于所述升降体上并可相对所述升降体运动，所述调节件包括调节部，所述调节件被配置为，所述调节件随所述升降体升高时，所述调节件相对所述升降体运动使得所述调节部远离所述导斜面，所述调节件随所述升降体降低时，所述调节件相对所述升降体运动复位使得所述调节部靠近导斜面，以将晶圆边缘推至所述导斜面上。2.如权利要求1所述的晶圆对准臂，其特征在于：所述晶圆对准臂还包括驱动件，所述驱动件被配置为，所述调节件随所述升降体升高时，所述驱动件驱动所述调节件相对所述升降体运动，使得所述调节部向远离所述导斜面的方向移动。3.如权利要求2所述的晶圆对准臂，其特征在于：所述调节件绕第一轴线可转动地设置于所述升降体上，所述调节件的一摆动端作为所述调节部。4.如权利要求3所述的晶圆对准臂，其特征在于：所述驱动件包括挡块，所述调节件随所述升降体升高时，所述调节件与所述挡块接触且所述挡块迫使所述调节件相对所述升降体运动，以使得所述调节部向远离所述导斜面的方向运动。5.如权利要求1所述的晶圆对准臂，其特征在于：所述晶圆对准臂还包括复位件，所述复位件设置于所述升降体上，用于为所述调节件提供其复位时所需的复位力。6.如权利要求4所述的晶圆对准臂，其特征在于：所述调节件包括摆臂以及设置于摆臂上的阻挡部，所述摆臂绕第一轴线可转动地设置于升降体上，所述摆臂的一摆动端作为所述调节部，所述调节件随所述升降体升高时，所述阻挡部被所述挡块阻挡，且所述挡块迫使所述阻挡部及摆臂摆动，以使得所述调节部向远离所述导斜面的方向运动。7.如权利要求3所述的晶圆对准臂，其特征在于：所述升降体上沿垂直于所述第一轴线的方向开设...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨轩毅，任瑞，刘普然，
申请(专利权)人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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