一种晶圆校准机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶圆校准机构，包括校准平台、影像轴和扫码器，影像轴位于校准平台沿着X轴负方向一侧的上方位置，扫码器位于校准平台沿着Y轴正方向一侧的上方位置。本实用新型专利技术一种晶圆校准机构，采用螺纹配合弹垫的结构来调整水平固定板的平面度；半透明的吸附台和背光源使用，再配合相机，实现找中心功能，符合半导体行业要求，提高了激光加工效率。提高了激光加工效率。提高了激光加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆校准机构


[0001]本技术涉及半导体芯片加工相关
，尤其涉及一种晶圆校准机构。

技术介绍

[0002]半导体芯片行业是现在最热门，国家也在大力扶持相关企业科研机构研发，早日实现芯片独立生产，防止被国外“卡脖子”，半导体加工的相关设备也在逐步国产化。芯片制造的过程复杂，工序多，其中硅片切割是其中一个环节，现在多以八寸片为主，以后会做大到十二寸，来提高效率。
[0003]目前硅片定位方式有两种：一种是加工台定位；另一种是用校准工位预先定位；
[0004]加工台定位时间长，浪费了激光加工的工位时间；
[0005]用校准工位进行预先定位，效率大大提高，因为用第二片的等待时间去做预先定位，与正在加工片互不影响。
[0006]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆校准机构，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

[0007]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种晶圆校准机构。
[0008]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0009]一种晶圆校准机构，包括校准平台、影像轴和扫码器，影像轴位于校准平台沿着X轴负方向一侧的上方位置，扫码器位于校准平台沿着Y轴正方向一侧的上方位置；校准平台包括Y轴线性模组、X轴线性模组、固定支架、水平固定板、吸附台和吸附台固定板，Y轴线性模组上的驱动端通过模组固定板与上方的X轴线性模组沿着Y轴方向驱动连接设置，X轴线性模组上的驱动端通过固定支架与上方的水平固定板沿着X轴方向驱动连接设置，水平固定板上设置有同步带旋转驱动机构和吸附台固定板，同步带旋转驱动机构与吸附台固定板驱动连接设置，吸附台固定板上设置有吸附台。
[0010]作为本技术的进一步改进，吸附台固定板的正下方设置有光源，光源通过光源固定板安装在水平固定板上。
[0011]作为本技术的进一步改进，影像轴包括Z轴线性模组、相机固定块和相机，Z轴线性模组通过相机固定块与相机沿着Z轴方向驱动连接设置，相机安装在Z轴线性模组沿着X轴正方向的一侧，且相机位于校准平台的上方位置。
[0012]作为本技术的进一步改进，同步带旋转驱动机构包括减速机、主动皮带轮、皮带和从动皮带轮，减速机安装在水平固定板的底部一侧，减速机顶部的驱动端与上方的主动皮带轮驱动连接设置，主动皮带轮通过皮带与从动皮带轮啮合传动，吸附台固定板固定在从动皮带轮上。
[0013]作为本技术的进一步改进，从动皮带轮通过轴承安装在水平固定板上，轴承压入轴承固定板的槽内，轴承固定板固定在水平固定板上，通过外圈压板压住轴承外圈，从
动皮带轮压入轴承内孔，另一侧用内圈压板压住轴承内圈。
[0014]作为本技术的进一步改进，轴承固定板上设置有传感器，从动皮带轮上设置有与传感器相配合的感应拨片。
[0015]作为本技术的进一步改进，水平固定板和固定支架之间通过调节螺钉和调节螺套连接在一起，调节螺套拧入水平固定板的螺纹孔内，弹垫套入调节螺钉后整体穿过调节螺套的中心孔，并拧入固定支架的螺纹孔内。
[0016]作为本技术的进一步改进，吸附台和吸附台固定板之间设置有密封圈，密封圈放入吸附台固定板顶部的槽内，吸附台固定板底部的中心螺纹孔内拧入有旋转接头。
[0017]借由上述方案，本技术至少具有以下优点：
[0018]本技术一种晶圆校准机构，采用螺纹配合弹垫的结构来调整水平固定板的平面度；半透明的吸附台和背光源使用，再配合相机，实现找中心功能，符合半导体行业要求，提高了激光加工效率。
[0019]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0021]图1是本技术一种晶圆校准机构的结构示意图；
[0022]图2是图1中校准平台的结构示意图；
[0023]图3是图2的主视图；
[0024]图4是图3的内部结构示意图；
[0025]图5是图1中影像轴的结构示意图。
[0026]其中，图中各附图标记的含义如下。
[0027]1 校准平台
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2 影像轴
[0028]3 扫码器
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1 Y轴线性模组
[0029]1‑
2 模组固定板
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3 X轴线性模组
[0030]1‑
4 固定支架
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5 水平固定板
[0031]1‑
6 调节螺钉
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7 吸附台
[0032]1‑
8 光源
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9 光源固定板
[0033]1‑
10 主动皮带轮
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11 弹垫
[0034]1‑
12 调节螺套
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13 轴承固定板
[0035]1‑
14 外圈压板
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15 内圈压板
[0036]1‑
16 旋转接头
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17 从动皮带轮
[0037]1‑
18 轴承
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19 传感器
[0038]1‑
20 吸附台固定板
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21 密封圈
[0039]1‑
22 皮带
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23 减速机
[0040]2‑
1 Z轴线性模组
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ2‑
2 相机固定块
[0041]2‑
3 相机
具体实施方式
[0042]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0043]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆校准机构，其特征在于，包括校准平台(1)、影像轴(2)和扫码器(3)，所述影像轴(2)位于校准平台(1)沿着X轴负方向一侧的上方位置，所述扫码器(3)位于校准平台(1)沿着Y轴正方向一侧的上方位置；所述校准平台(1)包括Y轴线性模组(1
‑
1)、X轴线性模组(1
‑
3)、固定支架(1
‑
4)、水平固定板(1
‑
5)、吸附台(1
‑
7)和吸附台固定板(1
‑
20)，所述Y轴线性模组(1
‑
1)上的驱动端通过模组固定板(1
‑
2)与上方的X轴线性模组(1
‑
3)沿着Y轴方向驱动连接设置，所述X轴线性模组(1
‑
3)上的驱动端通过固定支架(1
‑
4)与上方的水平固定板(1
‑
5)沿着X轴方向驱动连接设置，所述水平固定板(1
‑
5)上设置有同步带旋转驱动机构和吸附台固定板(1
‑
20)，所述同步带旋转驱动机构与吸附台固定板(1
‑
20)驱动连接设置，所述吸附台固定板(1
‑
20)上设置有吸附台(1
‑
7)。2.如权利要求1所述的一种晶圆校准机构，其特征在于，所述吸附台固定板(1
‑
20)的正下方设置有光源(1
‑
8)，所述光源(1
‑
8)通过光源固定板(1
‑
9)安装在水平固定板(1
‑
5)上。3.如权利要求1所述的一种晶圆校准机构，其特征在于，所述影像轴(2)包括Z轴线性模组(2
‑
1)、相机固定块(2
‑
2)和相机(2
‑
3)，所述Z轴线性模组(2
‑
1)通过相机固定块(2
‑
2)与相机(2
‑
3)沿着Z轴方向驱动连接设置，所述相机(2
‑
3)安装在Z轴线性模组(2
‑
1)沿着X轴正方向的一侧，且所述相机(2
‑
3)位于校准平台(1)的上方位置。4.如权利要求1所述的一种晶圆校准机构，其特征在于，所述同步带旋转驱动机构包括减速机(1
‑
23)、主动皮带轮(1
‑
10)、皮带(1
‑
22)和从动皮带轮(1
‑
17)，所述减速机(1
‑
23)安装在水平固定板(1
‑
5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，高峰，
申请(专利权)人：苏州德龙激光股份有限公司，
类型：新型
国别省市：