温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种晶圆对准臂及晶圆对准装置；所述晶圆对准臂包括升降体和调节件；所述升降体可沿设定的升降方向移动以升高或者降低，所述升降体上设有导斜面；所述调节件设置于所述升降体上并可相对所述升降体运动，所述调节件包括调节部，所述调节件被配...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。