一种基板倾斜抬升机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种基板倾斜抬升机构，安置于扫描器下方用于抬升扫描器，包括具腔室的载台主体，设置于腔室内部的枢转组件以及驱动机构，载台主体包括铰接轴及与铰接轴铰接的载台顶板，枢转组件包括枢转轴及与枢转轴枢接的枢转板，腔室容置沿第一方向设置的滑轨，及与滑轨活动连接的滑块，滑块滑移连接沿第一方向设置的丝杆，驱动机构驱动丝杆沿第一方向运动以顶推滑块沿第一方向运动，滑块沿第一方向运动顶推枢转板围绕枢转轴转动，以顶推载台顶板围绕铰接轴转动使载台顶板与水平线呈一定角度以抬升扫描器，从而满足了原子力显微镜对具有不同深度的样品的表面以及侧表面进行扫描的需求。描的需求。描的需求。

【技术实现步骤摘要】
一种基板倾斜抬升机构


[0001]本技术涉及材料表面量测
，更具体涉及一种基板倾斜抬升机构。

技术介绍

[0002]原子力显微镜是一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。原子力显微镜通过悬臂连接探针，探针对样品表面进行扫描，并且不需要对样品进行特殊处理就可以执行样品扫描工作并提供样品的三维表面图，但是现有原子力显微镜使用的扫描器是一种由压电陶瓷制作的平板扫描器，主要用于水平方向和垂直方向上对样品表面的扫描成像，无法实现倾斜方向上对样品表面以及侧表面的扫描，因此无法量测具有一定深度的样品表面以及侧表面。
[0003]现有技术中存在一种加装在扫描器上的具固定倾斜角度的原子力显微镜载台，该原子力显微镜载台能实现扫描器在倾斜方向上对样品表面以及侧表面的扫描，但是该原子力显微镜载台的倾斜角度固定，扫描器无法量测比该倾斜载台上的样品深度更大的其他样品侧表面，同时扫描器用以扫描样品的探针也极易与样品或载台相碰导致探针损坏。
[0004]有鉴于此，有必要对现有技术中用于原子力显微镜的基板倾斜抬升机构予以改进，以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于公开一种基板倾斜抬升机构，用以解决现有技术中原子力显微镜不能改变对样品表面以及侧表面进行倾斜扫描的角度的缺陷，以满足原子力显微镜对具有不同深度的样品表面以及侧表面进行扫描的需求。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种基板倾斜抬升机构，安置于扫描器下方用于抬升扫描器，包括：
[0007]具腔室的载台主体，设置于所述腔室内部的枢转组件，以及驱动机构；
[0008]所述载台主体包括：铰接轴，与所述铰接轴铰接的载台顶板；
[0009]所述枢转组件包括：枢转轴，与所述枢转轴枢接的枢转板；
[0010]所述腔室容置沿第一方向设置并与所述枢转板抵持的滑轨，及与所述滑轨活动连接的滑块，所述滑块滑移连接沿第一方向设置的丝杆，所述驱动机构驱动丝杆沿第一方向运动以顶推滑块沿第一方向运动，所述滑块沿第一方向运动顶推所述枢转板围绕所述枢转轴转动，以顶推所述载台顶板围绕所述铰接轴转动使载台顶板与水平线呈一定角度以抬升扫描器。
[0011]作为本技术的进一步改进，所述滑轨包括：用于限制滑块沿第一方向运动的末端限位座和首端限位座，以及连接所述首端限位座和末端限位座的滑动段，所述末端限位座抵持所述枢转板。
[0012]作为本技术的进一步改进，滑动段的上表面沿第二方向对向远离延伸形成用以卡持滑块的延伸边。
[0013]作为本技术的进一步改进，所述滑块形成与滑动段轮廓相吻合的通道。
[0014]作为本技术的进一步改进，载台顶板的下表面设置用以限制所述枢转板顶推所述载台顶板的第一限位件。
[0015]作为本技术的进一步改进，所述载台顶板包括：顶板自由端，及与铰接轴连接的铰接端；
[0016]所述铰接端设置用以量测倾斜角度的量尺。
[0017]作为本技术的进一步改进，所述载台主体还包括：水平设置的底壁；
[0018]所述腔室容置弹性连接所述顶板自由端与底壁的第一弹性件。
[0019]作为本技术的进一步改进，所述腔室内容置连接所述顶板自由端与底壁的第二限位件，所述第二限位件限制载台顶板抬升。
[0020]作为本技术的进一步改进，所述枢转组件还包括：与底壁固定连接的枢转座，所述枢转板通过所述枢转轴与所述枢转座铰接。
[0021]作为本技术的进一步改进，所述腔室容置弹性连接滑轨与滑块的第二弹性件，所述第二弹性件限制滑块沿第一方向运动。
[0022]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0023]在本技术中，驱动机构驱使丝杆沿第一方向运动以顶推滑块，滑块的通道与滑轨的滑动段活动连接，滑块沿滑轨作第一方向运动顶推枢转板围绕枢转轴转动，枢转板顶推载台顶板围绕铰接轴转动使载台顶板与水平线呈预设的角度，从而通过载台顶板抬升扫描器至该角度，从而带动扫描器承载的样品的倾斜，并且载台顶板抬升扫描器的角度可通过前述过程调节，因此解决了原子力显微镜不能改变对样品表面以及侧表面进行倾斜扫描的角度的缺陷，从而满足了原子力显微镜对具有不同深度的样品表面以及侧表面进行扫描的需求。
附图说明
[0024]图1为本技术一种基板倾斜抬升机构的俯视透视图；
[0025]图2为载台顶板未转动的侧视透视图；
[0026]图3为载台顶板转动过程中的侧视透视图；
[0027]图4为载台顶板转动过程的局部侧视透视图，其中实线部分为滑块未顶推枢转板，且枢转板未顶推载台顶板发生转动的示意图，虚线部分为滑块沿第一方向顶推枢转板，枢转板顶推载台顶板围绕枢转轴转动的示意图；
[0028]图5为沿A
‑
A所出的局部剖视图，且图5中省略丝杆；
[0029]图6为沿A
‑
A所出的滑块的剖视图。
具体实施方式
[0030]下面结合附图所示的各实施方式对本技术进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本技术的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代，均属于本技术的保护范围之内。
[0031]需要理解的是，在本申请中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”、“径
向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术方案和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术方案的限制。
[0032]术语“第一方向”指的是图三中箭头B1和箭头B2所示的方向，且箭头B1和箭头B2同轴设置，术语“第二方向”指的是图1中箭头D所示的方向。
[0033]请参图1至图6所示，本实施例揭示了本技术一种基板倾斜抬升机构的具体实施方式。
[0034]本实施例中所揭示的基板倾斜抬升机构辅助原子力显微镜实现对具有不同深度的样品表面以及侧表面进行扫描，相对于其他的倾斜角度固定的基板倾斜抬升机构而言，该基板倾斜抬升机构的驱动机构驱使丝杆26沿第一方向运动顶推滑块25，滑块25的通道253与滑轨27的滑动段273活动连接，滑块25沿滑轨27做第一方向的运动顶推枢转板211围绕枢转轴212转动，从而驱使枢转板211顶推载台顶板11围绕铰接轴112转动使载台顶板与水平线E呈预设的角度α，从而抬升平板扫描器等扫描器(未示出)至预设的角度α，进而带动平板扫描器等扫描器承载的样品倾斜至预设的角度α，样品的倾斜角度α(即载台顶板抬升扫描器至预设的角度α)可经由前述过程调节，且调节幅度没有限制，从而满足了原子力显微镜对具有不同深度的样品表面以及侧表面(例如晶圆表面的沟本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板倾斜抬升机构，安置于扫描器下方用于抬升扫描器，其特征在于，包括：具腔室的载台主体，设置于所述腔室内部的枢转组件，以及驱动机构；所述载台主体包括：铰接轴，与所述铰接轴铰接的载台顶板；所述枢转组件包括：枢转轴，与所述枢转轴枢接的枢转板；所述腔室容置沿第一方向设置并与所述枢转板抵持的滑轨，及与所述滑轨活动连接的滑块，所述滑块滑移连接沿第一方向设置的丝杆，所述驱动机构驱动丝杆沿第一方向运动以顶推滑块沿第一方向运动，所述滑块沿第一方向运动顶推所述枢转板围绕所述枢转轴转动，以顶推所述载台顶板围绕所述铰接轴转动使载台顶板与水平线呈一定角度以抬升扫描器。2.根据权利要求1所述的基板倾斜抬升机构，其特征在于，所述滑轨包括：用于限制滑块沿第一方向运动的末端限位座和首端限位座，以及连接所述首端限位座和末端限位座的滑动段，所述末端限位座抵持所述枢转板。3.根据权利要求2所述的基板倾斜抬升机构，其特征在于，滑动段的上表面沿第二方向对向远离延伸形成用以卡持滑块的延伸边。4.根据权利要求3所述的基板倾斜抬...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐思坎，
申请(专利权)人：苏州芯图半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：