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一种基板倾斜抬升机构制造技术
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下载一种基板倾斜抬升机构的技术资料
文档序号:35002808
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本实用新型提供了一种基板倾斜抬升机构,安置于扫描器下方用于抬升扫描器,包括具腔室的载台主体,设置于腔室内部的枢转组件以及驱动机构,载台主体包括铰接轴及与铰接轴铰接的载台顶板,枢转组件包括枢转轴及与枢转轴枢接的枢转板,腔室容置沿第一方向设置的...
该专利属于苏州芯图半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州芯图半导体有限公司授权不得商用。
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