一种避免压擦伤的晶圆背面金属化蒸发装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及集成电路制造相关设备技术领域，且公开了一种避免压擦伤的晶圆背面金属化蒸发装置，包括蒸发盘，所述蒸发盘的外表面开设有环形槽，所述环形槽的内侧面滑动连接有支撑块，所述支撑块的外表面开设有弧面槽，所述弧面槽的外表面粘附有软胶垫，所述支撑块的外部固定连接有齿条，所述齿条的底端啮合有齿轮，所述齿轮的外表面固定连接有线轮，所述线轮的外表面收卷有拉绳，所述蒸发盘的内侧面开设有走线槽；通过支撑块、弧面槽以及软胶垫之间的相互配合，可以在晶圆放置时对其起到稳定支撑且将其与蒸发盘本体进行分隔，避免了晶圆正面管芯与蒸发盘本体接触发生挤压擦伤的情况发生，从而有利于晶圆加工工作的进行。从而有利于晶圆加工工作的进行。从而有利于晶圆加工工作的进行。

【技术实现步骤摘要】
一种避免压擦伤的晶圆背面金属化蒸发装置


[0001]本技术涉及集成电路制造相关设备
，具体为一种避免压擦伤的晶圆背面金属化蒸发装置。

技术介绍

[0002]在背面金属化之前的晶圆制造过程中，需要经过扩散、光刻等多个复杂的工艺过程，已形成具备电气性能的芯片，且集成电路或分立器件中芯片的背面一般作为电极使用，芯片电极需具有优良的欧姆接触特性，故需对背面进行金属化工艺。目前，晶圆的蒸发过程是在高温高真空环境下进行，而装载晶圆的蒸发盘为金属材质。一般蒸发盘上都会设置有承载凹槽用于放置晶圆，但是晶圆的放置是由操作者手动操作，由于操作者在进行操作时的精度容易出现偏差，这样就可能会使得晶圆正面的有效管芯与蒸发盘的表面接触挤压擦伤，从而不利于晶圆加工工作的进行。

技术实现思路

[0003]为解决上述晶圆放置时容易与蒸发盘接触擦伤的问题，实现以上可以有效避免晶圆正面有效管芯挤压擦伤的目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种避免压擦伤的晶圆背面金属化蒸发装置，包括蒸发盘，所述蒸发盘的外表面开设有环形槽，所述环形槽的内侧面滑动连接有支撑块，所述支撑块的外表面开设有弧面槽，所述弧面槽的外表面粘附有软胶垫，所述支撑块的外部固定连接有齿条，所述齿条的底端啮合有齿轮，所述齿轮的外表面固定连接有线轮，所述线轮的外表面收卷有拉绳，所述蒸发盘的内侧面开设有走线槽，所述线轮的外表面固定连接有扭簧，所述蒸发盘的内侧面滑动连接有推块，所述推块的内侧面固定连接有弹簧，所述弹簧的外部固定连接有凸杆，所述蒸发盘的内侧面固定连接有凸块。
[0004]进一步的，所述支撑块的数量为四个，所述支撑块等角度分布在环形槽的内侧面，拉绳、软胶垫、齿条、齿轮、线轮以及扭簧等位置、数量均与支撑块相对应，从而使得四个支撑块可以进行同步运动对晶圆进行支撑防护。
[0005]进一步的，所述齿条与蒸发盘的内侧面滑动连接，所述齿轮与蒸发盘的内侧面转动连接，所述扭簧与蒸发盘的内侧面固定连接，使得齿轮转动时可以带动扭簧扭转压缩。
[0006]进一步的，所述拉绳沿着走线槽设置，所述拉绳的一端缠绕在线轮的外表面，其另一端与推块固定连接，使得推块移动对拉绳的一端进行拉扯时会带动线轮转动，使得齿轮同步转动带动齿条移动对支撑块的位置进行调节，使得支撑块可以对不同规格的晶圆进行支撑放置。
[0007]进一步的，所述凸杆与推块的内侧面滑动连接，所述凸块的位置、规格均与凸杆相对应，所述凸块的数量至少为是十个，所有所述凸块自上而下等距离分布在蒸发盘的内侧面。
[0008]本技术提供了一种避免压擦伤的晶圆背面金属化蒸发装置。具备以下有益效
果：
[0009]1、该避免压擦伤的晶圆背面金属化蒸发装置，通过支撑块、弧面槽以及软胶垫之间的相互配合，可以在晶圆放置时对其起到稳定支撑且将其与蒸发盘本体进行分隔，避免了晶圆正面管芯与蒸发盘本体接触发生挤压擦伤的情况发生，从而有利于晶圆加工工作的进行。
[0010]2、该避免压擦伤的晶圆背面金属化蒸发装置，通过齿条、齿轮、线轮、扭簧、拉块之间的相互配合，可以在蒸发盘使用过程中对支撑块的位置进行调节，从而使得支撑块可以对不同尺寸规格的晶圆进行承载，使得蒸发盘在实际使用过程中的灵活性更好。
附图说明
[0011]图1为本技术局部剖视结构示意图；
[0012]图2为本技术图1中部分结构连接关系结构示意图；
[0013]图3为本技术图2中A处放大结构示意图；
[0014]图4为本技术图2中B处放大结构示意图；
[0015]图5为本技术图2中C处放大结构示意图。
[0016]图中：1、蒸发盘；2、环形槽；3、支撑块；4、弧面槽；5、软胶垫；6、齿条；7、齿轮；8、线轮；9、拉绳；10、走线槽；11、扭簧；12、推块；13、弹簧；14、凸杆；15、凸块。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]该避免压擦伤的晶圆背面金属化蒸发装置的实施例如下：
[0019]请参阅图1－图5，一种避免压擦伤的晶圆背面金属化蒸发装置，包括蒸发盘1，蒸发盘1的外表面开设有环形槽2，环形槽2的内侧面滑动连接有支撑块3，支撑块3的外表面开设有弧面槽4，弧面槽4的外表面粘附有软胶垫5，支撑块3的外部固定连接有齿条6，齿条6的底端啮合有齿轮7，齿轮7的外表面固定连接有线轮8，支撑块3的数量为四个，支撑块3等角度分布在环形槽2的内侧面，拉绳9、软胶垫5、齿条6、齿轮7、线轮8以及扭簧11等位置、数量均与支撑块3相对应，从而使得四个支撑块3可以进行同步运动对晶圆进行支撑防护。
[0020]线轮8的外表面收卷有拉绳9，蒸发盘1的内侧面开设有走线槽10，拉绳9沿着走线槽10设置，拉绳9的一端缠绕在线轮8的外表面，其另一端与推块12固定连接，使得推块12移动对拉绳9的一端进行拉扯时会带动线轮8转动，使得齿轮7同步转动带动齿条6移动对支撑块3的位置进行调节，使得支撑块3可以对不同规格的晶圆进行支撑放置，线轮8的外表面固定连接有扭簧11，齿条6与蒸发盘1的内侧面滑动连接，齿轮7与蒸发盘1的内侧面转动连接，扭簧11与蒸发盘1的内侧面固定连接，使得齿轮7转动时可以带动扭簧11扭转压缩。
[0021]蒸发盘1的内侧面滑动连接有推块12，推块12的内侧面固定连接有弹簧13，弹簧13的外部固定连接有凸杆14，蒸发盘1的内侧面固定连接有凸块15，凸杆14与推块12的内侧面滑动连接，凸块15的位置、规格均与凸杆14相对应，凸块15的数量至少为是十个，所有凸块
15自上而下等距离分布在蒸发盘1的内侧面。
[0022]工作原理：在实际使用过程中，当需要对晶圆进行放置时，操作者将晶圆手动放置在支撑块3外部的弧面槽4的内部，在软胶垫5的配合使用下，可以防止晶圆与蒸发盘1的表面直接接触，从而可以极大程度地降低晶圆与蒸发盘1接触极大导致表面擦伤的情况发生，并且，由于弧面槽4的形状为圆弧状，因此可以方便对晶圆的位置进行调整，使得蒸发盘1使用起来更为方便；
[0023]当需要对不同规格的晶圆进行放置时，操作者向下拉动推块12，在操作者施加的外力作用下，凸杆14可以克服与凸块15之间的滑动摩擦阻力从凸块15的外表面通过，使得推块12可以正常进行用，凸杆14从凸块15表面通过时会对弹簧13进行挤压并移动进入推块12的内部，推块12移动时会对拉绳9的一端进行拉扯，而拉绳9的另一端会带动线轮8进行转动，线轮8转动过程中会带动齿轮7转动，齿轮7转动带动齿条6移动，齿条6移动带动支撑块3移动，从而可以对蒸发盘1的可承载尺寸进行调节，使得蒸发盘1在实际使用过程中的实用性更好。
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种避免压擦伤的晶圆背面金属化蒸发装置，包括蒸发盘(1)，其特征在于：所述蒸发盘(1)的外表面开设有环形槽(2)，所述环形槽(2)的内侧面滑动连接有支撑块(3)，所述支撑块(3)的外表面开设有弧面槽(4)，所述弧面槽(4)的外表面粘附有软胶垫(5)，所述支撑块(3)的外部固定连接有齿条(6)，所述齿条(6)的底端啮合有齿轮(7)，所述齿轮(7)的外表面固定连接有线轮(8)，所述线轮(8)的外表面收卷有拉绳(9)，所述蒸发盘(1)的内侧面开设有走线槽(10)，所述线轮(8)的外表面固定连接有扭簧(11)，所述蒸发盘(1)的内侧面滑动连接有推块(12)，所述推块(12)的内侧面固定连接有弹簧(13)，所述弹簧(13)的外部固定连接有凸杆(14)，所述蒸发盘(1)的内侧面固定连接有凸块(15)。2.根据权利要求1所述的一种避免压擦伤的晶圆背面金属化蒸发装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈爱军，杨天生，魏卿，高叶，
申请(专利权)人：苏州芯汇晶成半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：