工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备制造方法及图纸

本公开提供了一种工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备，涉及半导体技术领域。该工艺监控方法包括：获取待更新的第一脚本的脚本更新信息；根据所述脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定所述当前生产工艺的脚本执行状态；若所述脚本执行状态为执行报错，则生成针对所述脚本更新信息的报错信息，并将所述报错信息发送至管理终端。本公开提供的一种工艺监控方法，解决了目前半导体生产工艺的稳定性较弱的技术问题，达到了提高生产工艺稳定性的技术效果。产工艺稳定性的技术效果。产工艺稳定性的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备


[0001]本公开涉及半导体
，尤其涉及一种工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备。

技术介绍

[0002]半导体生产工艺流程复杂且产量庞大，为了提高工艺生产的效率，生产工艺中的大多数流程都会通过开发一些脚本来辅助完成。
[0003]随着生产工艺的调整在后续可能会对各脚本进行更新，例如新增一些脚本或者对现有的脚本内容进行修改等。各脚本之间可能会存在共存关系，例如不同脚本作用于同一工艺节点，一旦作用于同一工艺节点的若干个脚本之间互相影响，便很容易导致该工艺节点的执行出错，从而影响整个工艺的正常进行。
[0004]因此，目前半导体生产工艺的稳定性较弱。

技术实现思路

[0005]本公开提供了一种工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备，进而提高半导体生产工艺的稳定性。
[0006]第一方面，本公开一个实施例提供了一种工艺监控方法，包括：
[0007]获取待更新的第一脚本的脚本更新信息；
[0008]根据脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定当前生产工艺的脚本执行状态；
[0009]若脚本执行状态为执行报错，则生成针对脚本更新信息的报错信息，并将报错信息发送至管理终端。
[0010]在本公开一个可选实施例中，根据脚本更新信息确定第一脚本在当前生产工艺中执行时对应的若干个第一工艺节点；
[0011]根据执行信息确定第二脚本在当前生产工艺中执行时对应的若干个第二工艺节点；
[0012]根据若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态。
[0013]在本公开一个可选实施例中，根据若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态，包括：
[0014]若若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为执行报错。
[0015]在本公开一个可选实施例中，若若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为执行报错，包括：
[0016]若若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上存在至少一个
重合节点，则基于第一脚本的脚本更新信息、第二脚本的执行信息与预先配置的脚本执行模型进行脚本执行的模拟，得到模拟结果；
[0017]根据模拟结果确定当前生产工艺的脚本执行状态是否为执行报错。
[0018]在本公开一个可选实施例中，基于第一脚本的脚本更新信息、第二脚本的执行信息与预先配置的脚本执行模型进行脚本执行的模拟，得到模拟结果，包括：
[0019]对脚本更新信息进行解析，得到第一脚本的第一执行目标；
[0020]对执行信息进行解析，得到第二脚本的第二执行目标；
[0021]将第一执行目标与第二执行目标输入至预先配置的脚本执行模型，得到模拟结果。
[0022]在本公开一个可选实施例中，根据模拟结果确定当前生产工艺的脚本执行状态是否为执行报错，包括：
[0023]将模拟结果与预先配置的报错结果进行比对，以确定当前生产工艺的脚本执行状态是否为执行报错。
[0024]在本公开一个可选实施例中，根据脚本更新信息确定第一脚本在当前生产工艺中执行时对应的若干个第一工艺节点，包括：
[0025]根据脚本更新信息从预先配置的第一脚本数据库中查询，得到与脚本更新信息对应的若干个第一工艺节点。
[0026]在本公开一个可选实施例中，根据若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态，包括：
[0027]从预先配置的第二脚本数据库中查询与各第二工艺节点对应的节点状态标识；
[0028]根据节点状态标识为执行状态的第二工艺节点与若干个第一工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态。
[0029]在本公开一个可选实施例中，根据若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态，包括：
[0030]若若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上无重合节点，则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为执行成功。
[0031]在本公开一个可选实施例中，该工艺监控方法还包括：
[0032]若脚本执行状态为执行报错，则生成一示警弹窗，并显示于对应的用户界面。
[0033]在本公开一个可选实施例中，第二脚本的执行优先级高于第一脚本。
[0034]在本公开一个可选实施例中，获取待更新的第一脚本的脚本更新信息，包括：
[0035]获取待新增的第一脚本的新增脚本信息；和/或，
[0036]获取针对当前生产工艺中第一脚本的脚本更新信息。
[0037]第二方面，本公开一个实施例提供了一种工艺监控装置，该装置包括：
[0038]获取模块，用于获取待更新的第一脚本的脚本更新信息；
[0039]确定模块，用于根据脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定当前生产工艺的脚本执行状态；
[0040]生成模块，用于若脚本执行状态为执行报错，则生成针对脚本更新信息的报错信息，并将报错信息发送至管理终端。
[0041]第三方面，本公开一个实施例提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算
机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上的方法。
[0042]第四方面，本公开一个实施例提供了一种电子设备，包括：处理器；以及存储器，用于存储处理器的可执行指令；其中，处理器配置为经由执行可执行指令来执行如上的方法。
[0043]本公开的技术方案具有以下有益效果：
[0044]上述工艺监控方法先获取待更新的第一脚本的脚本更新信息，然后根据脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息进行模拟等以确定当前生产工艺的脚本执行状态，最后在脚本执行状态为执行报错的情况下生成一针对脚本更新信息的报错信息，并将报错信息发送至管理终端，以提醒对应的工作人员可以针对该第一脚本进行及时处理，以保障整个工艺可以稳定的运行，从而解决了目前半导体生产工艺的稳定性较弱的技术问题，达到了提高生产工艺运行稳定性的技术效果。同时，还可以避免直接线下试运行引起的生产工艺出错，进而降低实际生产成本。
[0045]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
附图说明
[0046]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施方式，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工艺监控方法，其特征在于，包括：获取待更新的第一脚本的脚本更新信息；根据所述脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定所述当前生产工艺的脚本执行状态；若所述脚本执行状态为执行报错，则生成针对所述脚本更新信息的报错信息，并将所述报错信息发送至管理终端。2.根据权利要求1所述的工艺监控方法，其特征在于，所述根据所述脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定所述当前生产工艺的脚本执行状态，包括：根据所述脚本更新信息确定所述第一脚本在所述当前生产工艺中执行时对应的若干个第一工艺节点；根据所述执行信息确定所述第二脚本在所述当前生产工艺中执行时对应的若干个第二工艺节点；根据所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上是否存在重合节点，确定所述当前生产工艺的脚本执行状态。3.根据权利要求2所述的工艺监控方法，其特征在于，所述根据所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上是否存在重合节点，确定所述当前生产工艺的脚本执行状态，包括：若所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则将所述当前生产工艺的所述脚本执行状态确定为所述执行报错。4.根据权利要求3所述的工艺监控方法，其特征在于，所述若所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则将所述当前生产工艺的所述脚本执行状态确定为所述执行报错，包括：若所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则基于所述第一脚本的所述脚本更新信息、所述第二脚本的所述执行信息与预先配置的脚本执行模型进行脚本执行的模拟，得到模拟结果；根据所述模拟结果确定所述当前生产工艺的所述脚本执行状态是否为所述执行报错。5.根据权利要求4所述的工艺监控方法，其特征在于，所述基于所述第一脚本的所述脚本更新信息、所述第二脚本的所述执行信息与预先配置的脚本执行模型进行脚本执行的模拟，得到模拟结果，包括：对所述脚本更新信息进行解析，得到所述第一脚本的第一执行目标；对所述执行信息进行解析，得到所述第二脚本的第二执行目标；将所述第一执行目标与所述第二执行目标输入至所述预先配置的脚本执行模型，得到所述模拟结果。6.根据权利要求4所述的工艺监控方法，其特征在于，所述根据所述模拟结果确定所述当前生产工艺的所述脚本执行状态是否为所述执行报错，包括：将所述模拟结果与预先配置的报错结果进行比对，以确定...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐莹，郑悦文，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：