一种花篮及硅片清洗设备制造技术

本实用新型专利技术实施例提供了一种花篮及硅片清洗设备，花篮包括相对的两个端板和设置于两个端板之间的至少一组夹持组件，一组夹持组件包括相对的两个用于夹持硅片的夹持杆；各端板均包括端板本体和设置于端板本体上的滑动组件，滑动组件与夹持杆的端部连接；各滑动组件可沿竖直方向移动，以带动各夹持杆沿竖直方向移动，这样，硅片被夹持杆遮挡的区域可以露出，以进行充分清洗，从而使得整张硅片可以被充分清洗，提高了整张硅片的清洗效果。提高了整张硅片的清洗效果。提高了整张硅片的清洗效果。

【技术实现步骤摘要】
一种花篮及硅片清洗设备


[0001]本技术涉及硅片清洗的
，具体涉及一种花篮及硅片清洗设备。

技术介绍

[0002]目前，硅片清洗设备通常包括多个清洗槽，硅片插入花篮中在各个清洗槽之间转移，以对硅片进行清洗。
[0003]相关技术中，自硅片插入花篮之后，花篮的夹持杆与硅片相对位置始终保持不变，硅片固定位置始终被夹持杆的卡齿遮挡，导致硅片遮挡位置的清洗效果差，容易出现脏污残留。

技术实现思路

[0004]本技术实施例提供了一种花篮及硅片清洗设备，以解决相关技术中硅片被花篮夹持杆的卡齿遮挡的位置清洗效果差，容易出现脏污残留的技术问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术是这样实现的：
[0006]第一方面，本技术实施例提供了一种花篮，所述花篮包括相对的两个端板和设置于两个所述端板之间的至少一组夹持组件，一组所述夹持组件包括相对的两个夹持杆；
[0007]各所述端板均包括端板本体和设置于所述端板本体上的滑动组件，所述滑动组件与所述夹持杆的端部连接；
[0008]各所述滑动组件可沿竖直方向移动，以带动各所述夹持杆沿所述竖直方向移动。
[0009]进一步地，各所述滑动组件包括：滑道和两个相对的滑块；
[0010]各所述滑道固定设置于对应的所述端板本体上，在所述花篮的宽度方向上，每个所述滑道具有相对的两个容纳槽，每个所述容纳槽对应滑动设置一个所述滑块；
[0011]两个所述端板上第一侧的所述滑块分别与所述第一侧的夹持杆的两端固定连接，第二侧的所述滑块分别与所述第二侧的夹持杆的两端固定连接，所述第一侧和所述第二侧为所述花篮在其宽度方向上的中心面的两侧；
[0012]各所述滑块可在对应的所述容纳槽内沿所述竖直方向移动，以带动各所述夹持杆沿所述竖直方向移动。
[0013]进一步地，所述滑道包括：两个矩形框；
[0014]一个所述矩形框包括两个相对的长边杆和连接两个所述长边杆的两个短边杆，以围成一个所述容纳槽，所述长边杆沿所述竖直方向设置；
[0015]在所述花篮的宽度方向上，各所述滑块的两端分别滑动设置于靠近其的所述长边杆上，且所述第一侧的两个所述滑块远离所述中心面的一端分别与所述第一侧的夹持杆的两端固定连接，所述第二侧的两个所述滑块远离所述中心面的一端分别与所述第二侧的夹持杆的两端固定连接。
[0016]进一步地，各所述滑动组件还包括：推杆和两个第一移动杆，所述第一移动杆沿所
述竖直方向设置；
[0017]所述推杆位于所述矩形框的底部，一个所述第一移动杆对应一个所述滑块，各所述第一移动杆的底端分别与所述推杆固定连接，各所述第一移动杆的顶端分别穿设相对的第一短边杆，并与对应的所述滑块的底端固定连接，所述第一短边杆为所述滑块底部的短边杆；
[0018]所述推杆可推动两个所述第一移动杆分别带动对应的滑块沿所述竖直方向移动。
[0019]进一步地，各所述滑动组件还包括：两个第二移动杆和两个弹性件，所述第二移动杆沿所述竖直方向设置；
[0020]一个所述第二移动杆对应一个所述滑块，在所述竖直方向上，各所述第二移动杆的底端分别与对应的所述滑块的顶端固定连接，各所述第二移动杆的顶端分别位于相对的第二短边杆上设有的穿设孔内，所述第二短边杆为所述滑块顶部的短边杆；
[0021]两个所述弹性件分别套设于两个所述第二移动杆上，各所述弹性件的一端分别抵接于对应的所述滑块的顶端，另一端分别抵接于相对的所述第二短边杆的内壁；
[0022]在所述推杆朝向所述滑块移动的情况下，各所述弹性件被压缩，各所述第二移动杆穿出对应的所述穿设孔，在推动所述推杆移动的力撤去的情况下，各所述弹性件复位，以推动对应的所述滑块复位。
[0023]进一步地，各所述滑动组件还包括：两个连接杆，所述连接杆沿所述竖直方向设置；
[0024]在所述花篮的宽度方向上，两个所述连接杆相对设置在所述端板本体上，一个所述滑动组件中的两个所述矩形框位于两个所述连接杆之间；
[0025]所述第一侧的两个所述滑块分别通过靠近其的所述连接杆与所述第一侧的夹持杆的两端固定连接，第二侧的两个所述滑块分别通过靠近其的所述连接杆与所述第二侧的夹持杆的两端固定连接；
[0026]各所述滑块分别带动靠近其的所述连接杆沿所述竖直方向移动，以带动各所述夹持杆沿所述竖直方向移动。
[0027]进一步地，各所述长边杆上分别设有滑槽，所述滑槽沿所述竖直方向设置；
[0028]在所述花篮的宽度方向上，所述滑块包括滑块本体和设置于所述滑块本体的两端的两个滑条；
[0029]各所述滑块本体分别位于对应的所述容纳槽内，各所述滑块本体的一端上的滑条分别滑动设置于靠近其的所述滑槽内，各所述滑块本体的另一端上的滑条分别滑动设置于靠近其的所述滑槽内，且分别与靠近其的所述连接杆固定连接。
[0030]本技术实施例提供的花篮具有以下优势：
[0031]在本技术实施例中，花篮包括相对的两个端板和设置于两个端板之间的至少一组夹持组件，一组夹持组件包括相对的两个用于夹持硅片的夹持杆；各端板均包括端板本体和滑动设置于端板本体上的滑动组件，滑动组件与夹持杆的端部连接；各滑动组件沿竖直方向移动，以带动各夹持杆沿竖直方向移动，这样，硅片被夹持杆的卡齿遮挡的区域可以露出，以进行充分清洗，从而使得整张硅片可以被清洗，提高了整张硅片的清洗效果。
[0032]第二方面，本技术实施例提供了一种硅片清洗设备，包括上述的花篮和多个可容纳所述花篮的清洗槽；
[0033]部分所述清洗槽内设有推块，在所述花篮放置于设有所述推块的所述清洗槽中的情况下，所述推块可推动所述花篮的两个滑动组件沿竖直方向移动，以带动所述花篮的各夹持杆沿竖直方向移动。
[0034]进一步地，所述清洗槽中设有用于承载所述花篮的承托架；
[0035]在所述竖直方向上，一个所述清洗槽中的所述推块高于其中的所述承托架。
[0036]进一步地，所述清洗槽中在与每个所述滑动组件相对的设置设有所述推块。
[0037]本技术实施例提供的硅片清洗设备具有以下优点：
[0038]在本技术实施例中，硅片清洗设备包括上述花篮和可容纳花篮的清洗槽；清洗槽上设有推块，在花篮放置于设有推块的清洗槽中的情况下，推块可推动花篮的两个滑动组件沿竖直方向移动，以带动花篮的各夹持杆沿竖直方向移动，这样，硅片被夹持杆的卡齿遮挡的区域可以露出，进行充分清洗，从而使得整张硅片可以被充分清洗，提高了整张硅片的清洗效果。
附图说明
[0039]图1表示本技术实施例提供的一种花篮的示意图之一；
[0040]图2表示本技术实施例提供的一种花篮的示意图之二；
[0041]图3表示本技术实施例提供的一种花篮的端板的示意图之一；
[0042]图4表示本技术实施例提供的一种花篮的端板的示意图之二。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种花篮，其特征在于，所述花篮(1)包括相对的两个端板(10)和设置于所述端板(10)之间的至少一组夹持组件(11)，一组所述夹持组件(11)包括相对的两个用于夹持硅片(2)的夹持杆(110)；各所述端板(10)均包括端板本体(101)和设置于所述端板本体(101)上的滑动组件(102)，所述滑动组件(102)与所述夹持杆(110)的端部连接；各所述滑动组件(102)可沿竖直方向移动，以带动各所述夹持杆(110)沿所述竖直方向移动。2.根据权利要求1所述的花篮，其特征在于，各所述滑动组件(102)包括：滑道(103)和两个相对的滑块(104)；各所述滑道(103)固定设置于对应的所述端板本体(101)上，在所述花篮(1)的宽度方向上，每个所述滑道(103)具有相对的两个容纳槽，每个所述容纳槽对应滑动设置一个所述滑块(104)；两个所述端板本体(101)上第一侧的所述滑块(104)分别与所述第一侧的夹持杆(110)的两端固定连接，第二侧的所述滑块(104)分别与所述第二侧的夹持杆(110)的两端固定连接，所述第一侧和所述第二侧为所述花篮(1)在其宽度方向上的中心面的两侧；各所述滑块(104)可在对应的所述容纳槽内沿所述竖直方向移动，以带动各所述夹持杆(110)沿所述竖直方向移动。3.根据权利要求2所述的花篮，其特征在于，所述滑道(103)包括：两个矩形框(105)；一个所述矩形框(105)包括两个相对的长边杆(1051)和连接两个所述长边杆(1051)的两个短边杆(1052)，以围成一个所述容纳槽，所述长边杆(1051)沿所述竖直方向设置；在所述花篮(1)的宽度方向上，各所述滑块(104)的两端分别滑动设置于靠近其的所述长边杆(1051)上，且所述第一侧的两个所述滑块(104) 远离所述中心面的一端分别与所述第一侧的夹持杆(110)的两端固定连接，所述第二侧的两个所述滑块(104)远离所述中心面的一端分别与所述第二侧的夹持杆(110)的两端固定连接。4.根据权利要求3所述的花篮，其特征在于，各所述滑动组件(102)还包括：推杆(106)和两个第一移动杆(107)，所述第一移动杆(107)沿所述竖直方向设置；所述推杆(106)位于所述矩形框(105)的底部，一个所述第一移动杆(107)对应一个所述滑块(104)，各所述第一移动杆(107)的底端分别与所述推杆(106)固定连接，各所述第一移动杆(107)的顶端分别穿设相对的第一短边杆，并与对应的所述滑块(104)的底端固定连接，所述第一短边杆为所述滑块(104)底部的短边杆(1052)；所述推杆(106)可推动两个所述第一移动杆(107)分别带动对应的滑块(104)沿所述竖直方向移动。5.根据权利要求4所述的花篮，其特征在于，各所述滑动组件(102)还包括：两个第二移动杆(108)和两个弹性件(109)，所述第二移动杆(108)沿所述竖直方向设置；一个所述第二移动杆(108)对应一个所述滑块(104)，在所述竖直方...

【专利技术属性】
技术研发人员：马小龙，张璞，杨文斌，王浩，杨波，张喜存，
申请(专利权)人：银川隆基硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：