一种防湍流真空室及真空系统技术方案

本说明书实施例提供一种防湍流真空室及真空系统，真空室包括：真空室腔体，设置于真空室腔体上的至少两个抽气口，抽气口用于对真空室腔体内部抽真空，以使得真空室腔体在抽真空时，真空室腔体内的各处压强同时降低。通过在真空室腔体上增设至少两个抽气口，通过至少两个抽气口对真空室腔体内同时进行抽真空，使得真空室腔体内的各处压强同时降低，能够减小真空室腔体内部的压强梯度，降低气体的流动速度，避免湍流的产生。避免湍流的产生。避免湍流的产生。

【技术实现步骤摘要】
一种防湍流真空室及真空系统


[0001]本说明书涉及抽真空
，具体涉及一种防湍流真空室及真空系统。

技术介绍

[0002]真空系统抽气时，真空系统中会产生气流。特别在刚一开始，初始气压为大气压的情况下，如果抽气速率较高，将会在真空室内产生严重的湍流。湍流会卷起真空室中残留的颗粒物质最后散落在真空室内部的工件表面。在镀膜过程中，这种颗粒物会对被镀物体造成污染，形成膜层的针孔、包裹物等，严重影响膜层的质量。降低粗抽真空的抽速，是克服这种情况的一种方法，但带来的结果是抽真空的时间延长，影响了生产效率。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本说明书实施例提供一种防湍流真空室及真空系统。
[0004]本说明书实施例提供以下技术方案：一种防湍流真空室，包括：
[0005]真空室腔体；
[0006]设置于所述真空室腔体上的至少两个抽气口，所述抽气口用于对所述真空室腔体内部抽真空，以使得所述真空室腔体在抽真空时，所述真空室腔体内的各处压强同时降低。
[0007]优选的，所述抽气口分布在所述真空室腔体的上、中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防湍流真空室，其特征在于，包括：真空室腔体(1)；设置于所述真空室腔体(1)上的至少两个抽气口(2)，所述抽气口(2)用于对所述真空室腔体(1)内部抽真空，以使得所述真空室腔体(1)在抽真空时，所述真空室腔体(1)内的各处压强同时降低；所述抽气口(2)分布在所述真空室腔体(1)的上、中、下和各个方位；所述抽气口(2)上连接有若干抽气管(3)，所述若干抽气管(3)端部设有若干连接头(4)；所述若干连接头(4)之间通过连接管相连...

【专利技术属性】
技术研发人员：缪同群，谢圣鸣，
申请(专利权)人：上海新产业光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：