温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本说明书实施例提供一种防湍流真空室及真空系统，真空室包括：真空室腔体，设置于真空室腔体上的至少两个抽气口，抽气口用于对真空室腔体内部抽真空，以使得真空室腔体在抽真空时，真空室腔体内的各处压强同时降低。通过在真空室腔体上增设至少两个抽气口，通...
该专利属于上海新产业光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新产业光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。