一种适用于箱式真空镀膜机的高洁净度进气系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种适用于箱式真空镀膜机的高洁净度进气系统，包括过滤通道，过滤通道的一端安装在箱体的进气口处；过滤通道包覆在铜基烧结消音滤芯的外部；滤除装置，滤除装置安装在过滤通道内；气体进入过滤通道并经由滤除装置形成首次过滤以实现阻隔空气中灰尘；经由滤除装置过滤的空气沿过滤通道流动至铜基烧结消音滤芯处形成二次过滤并通过进气口进入箱体内；本装置结构优化、在烧结滤芯的前端增加一个方便使用的滤除装置，滤除装置对进入真空室内的空气进行首次过滤，首次过滤采用PP棉长筒滤芯，有效阻隔空气中的细小灰尘，当PP棉滤芯的灰尘积累达到一定程度时，可及时更换，简便易行、效果良好。效果良好。效果良好。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于箱式真空镀膜机的高洁净度进气系统


[0001]本技术涉及光学加工
，尤其涉及一种适用于箱式真空镀膜机的高洁净度进气系统。

技术介绍

[0002]镀膜工序是当前光学零件加工中的必要一环，经过镀膜之后的零件光学性能会有很大提升，在经过箱式真空镀膜和工艺性降温之后，需要对真空室进行充气操作，平衡箱体内外压力差，之后才能开门取出零件。
[0003]设备一般固有进气系统都自带铜基烧结消音滤芯，但铜基烧结滤芯存在滤尘颗粒较大，附尘后清理不方便等相对弊端；如果镀膜室内浮沉较多，且充气时镀膜室内温度较高，则细小的灰尘容易吸附在零件表面造成零件“雾蒙蒙不透亮”现象，假如不能及时擦拭清理的话，就会对外观及使用造成影响，虽然不是一定发生，但每次镀膜加工的成本比较高，失败风险带来的成本也相当高，所以要在整个操作环节中尽量避免出现问题；现有大部分工厂如果想改善，也是针对空间洁净程度进行改善，以降低室内灰尘度来改善镀膜机内的“灰尘度”。
[0004]因此，结合现有技术中镀膜工序中铜基烧结滤芯存在滤尘颗粒较大，附尘后清理不方便，镀膜室内灰尘容本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于箱式真空镀膜机的高洁净度进气系统，该进气系统包括箱体(1)，所述箱体(1)的进气口安装有铜基烧结消音滤芯(2)，其特征在于，还包括：过滤通道(3)，所述过滤通道(3)的一端安装在箱体(1)的进气口处；且所述过滤通道(3)包覆在铜基烧结消音滤芯(2)的外部；滤除装置(4)，所述滤除装置(4)安装在过滤通道(3)内；其中气体进入所述过滤通道(3)并经由滤除装置(4)形成首次过滤以实现阻隔空气中灰尘；以及经由所述滤除装置(4)过滤的空气沿过滤通道(3)流动至铜基烧结消音滤芯(2)处形成二次过滤并通过进气口进入箱体(1)内。2.根据权利要求1所述的一种适用于箱式真空镀膜机的高洁净度进气系统，其特征在于，所述滤除装置(4)包括：底座(41)；固定柱(42)，数个所述固定柱(42)在底座(41)上呈周向分布；PP棉长筒滤芯(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：高玲，王成秋，丑恩天，张彦龙，刘派，
申请(专利权)人：长春汇恒光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：