本实用新型专利技术涉及真空镀膜腔室技术领域，且公开了一种可调节内部体积的真空镀膜腔室，包括箱体，所述箱体的侧表面设置有进气管和抽气管，所述箱体的左右两侧均设置有端盖，所述箱体通过定轴承连接有丝杆，所述箱体的内顶壁与内底壁均开设有空槽，所述丝杆位于空槽的内部，所述丝杆通过移动环连接有调节板。该可调节内部体积的真空镀膜腔室，通过箱体、进气管、抽气管、端盖、定轴承、丝杆、移动环、调节板、从齿轮、定位环、连接环、齿圈、转轴、主齿轮、手轮和空槽之间的相互配合，达到了便于对真空镀膜室内部空间大小进行调节，以提高真空镀膜室适用性的效果，解决了现有真空镀膜室内部空间大小无法调节，适用性较低的问题。适用性较低的问题。适用性较低的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种可调节内部体积的真空镀膜腔室
[0001]本技术涉及真空镀膜腔室
，具体为一种可调节内部体积的真空镀膜腔室。
技术介绍
[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其气化并沉积于镀件表面而形成薄膜的一种工艺，工件在镀膜过程中，会被放置在相应的镀膜室内，这种镀膜室为真空镀膜室，可以满足真空镀膜技术的需求，然而现有真空镀膜室内部空间大小无法调节，特别是当工件体积较小时，如果依旧采用大空间的真空镀膜室进行镀膜，不仅难以充分利用镀膜室内的镀膜材料，而且还会导致大量的镀膜材料被浪费损耗，所以需要研制一种可对镀膜空间进行调节的真空镀膜室，以提高真空镀膜室的适用性。
技术实现思路
[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种可调节内部体积的真空镀膜腔室，具备便于对真空镀膜室内部空间大小进行调节，以提高真空镀膜室适用性的优点，解决了现有真空镀膜室内部空间大小无法调节，适用性较低的问题。
[0005](二)技术方案
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可调节内部体积的真空镀膜腔室，包括箱体，所述箱体的侧表面设置有进气管和抽气管，所述箱体的左右两侧均设置有端盖，所述箱体通过定轴承连接有丝杆，所述箱体的内顶壁与内底壁均开设有空槽，所述丝杆位于空槽的内部，所述丝杆通过移动环连接有调节板，所述调节板的侧面开设有进料口，所述调节板的侧面铰接有密封门，所述密封门位于进料口的内部，所述空槽靠近调节板一侧的内壁开设有连通槽，所述丝杆的侧表面固定套接有从齿轮，所述端盖的内部开设有环形槽，所述环形槽的内部设置有定位环，所述定位环通过连接环连接有齿圈，所述从齿轮的侧表面与齿圈的内壁啮合，所述端盖远离箱体的一侧通过转轴连接有主齿轮，所述主齿轮的侧表面与齿圈的内壁啮合，所述转轴远离端盖的一端固定连接有手轮。
[0007]优选的，所述调节板为圆形板，所述箱体为柱形箱，所述圆形板对应的半径与柱形箱对应的半径相匹配，所述圆形板的侧表面与箱体的内壁贴合，从而起到了降低镀膜材料的穿过率的作用，即减小镀膜材料从调节板与箱体内壁间隙穿过的可能。
[0008]优选的，所述移动环与调节板为一体成型，所述丝杆的侧表面与移动环的内部螺纹连接，当丝杆转动后，移动环与调节板会被迫发生移动，从而给去掉了调整调节板相对位置的作用。
[0009]优选的，所述连通槽的内部设置有防尘钢带，所述防尘钢带的左右两端分别与连通槽左右两侧的内壁固定连接，所述防尘钢带的前后两侧均未与连通槽前后两侧的内壁连接，所述移动环的内部开设有通槽，所述防尘钢带位于通槽的内部，防尘钢带可以起到一定
的防尘作用，避免镀膜材料大量进入空槽内部，并附着在丝杆表面，从而导致移动环移动困难。
[0010]优选的，所述空槽前后两侧的内壁均设置有密封板，所述移动环的前后两侧均开设有密封槽，所述密封板位于密封槽的内部，所述密封板靠近调节板的一侧设置有第二磁条，所述防尘钢带远离调节板的一侧设置有第一磁条，所述第一磁条远离调节板的一侧的极性与第二磁条靠近调节板一侧的极性相反，防尘钢带在第一磁条和第二磁条作用下与密封板连接，从而进一步将强了防尘钢带的密封性能，防止了大量镀膜材料通过防尘钢带与空槽内壁的间隙进入空槽内部。
[0011]优选的，所述连接环的内部设置有滑轮，所述环形槽远离箱体一侧的内壁开设有环形通槽，所述连接环位于环形通槽的内部，所述滑轮的侧表面与环形通槽的内壁抵持，滑轮起到了减小连接环内壁与环形通槽内壁摩擦力的作用，从而使得齿圈转动的更加顺畅。
[0012]与现有技术相比，本技术提供了一种可调节内部体积的真空镀膜腔室，具备以下有益效果：
[0013]1、该可调节内部体积的真空镀膜腔室，通过箱体、进气管、抽气管、端盖、定轴承、丝杆、移动环、调节板、从齿轮、定位环、连接环、齿圈、转轴、主齿轮、手轮和空槽之间的相互配合，达到了便于对真空镀膜室内部空间大小进行调节，以提高真空镀膜室适用性的效果，解决了现有真空镀膜室内部空间大小无法调节，适用性较低的问题。
[0014]2、该可调节内部体积的真空镀膜腔室，通过箱体、进气管、抽气管、端盖、定轴承、丝杆、移动环、调节板、防尘钢带、密封板、第一磁条、第二磁条、从齿轮、定位环、连接环、齿圈、转轴、主齿轮、手轮和空槽之间的相互配合，在防尘钢带、密封板、第一磁条和第二磁条的共同作用下，可以降低镀膜材料进入空槽内部的概率，达到了降低镀膜材料进入空槽内部概率的效果，解决了当镀膜材料大量进入空槽内部后，镀膜材料会附着在丝杆表面，从而影响调节板移动的问题。
附图说明
[0015]图1为本技术正剖视图；
[0016]图2为本技术图1中A处放大图；
[0017]图3为本技术侧视图；
[0018]图4为本技术连接环结构示意图；
[0019]图5为本技术图3中B处放大图。
[0020]其中：1、箱体；2、进气管；3、抽气管；4、端盖；5、定轴承；6、丝杆；7、移动环；8、调节板；9、防尘钢带；10、密封板；11、第一磁条；12、第二磁条；13、从齿轮；14、定位环；15、连接环；16、齿圈；17、转轴；18、主齿轮；19、手轮；20、滑轮；21、空槽。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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5，一种可调节内部体积的真空镀膜腔室，包括箱体1，箱体1为真空镀膜室的主体部分，均有良好的密封性能，箱体1的侧表面设置有进气管2和抽气管3，进气管2与裂解室和蒸发室相连，便于镀膜材料进入箱体1内部，而抽气管3则与真空系统和冷阱相连，进气管2和抽气管3的具体设置方法有两种，一种为进气管2设置在箱体1的顶部，抽气管3设置在箱体1的底部，第二种为进气管2和抽气管3分别设置在箱体1的前后或左右两侧，箱体1的左右两侧均设置有端盖4，端盖4的后侧与箱体1铰接，端盖4与箱体1端面之间设置有锁紧机构，以保证端盖4与箱体1端面进行连接，从而使箱体1均有良好的密封性能，箱体1通过定轴承5连接有丝杆6，箱体1的内顶壁与内底壁均开设有空槽21，丝杆6位于空槽21的内部，丝杆6通过移动环7连接有调节板8，每一个调节板8均配有六个移动环，六个移动环7圆心分别与箱体1截面圆圆心连线所构成的夹角均为六十度，调节板8的侧面开设有进料口，进料口起到了便于工件的进出箱体1的作用，所述调节板8的侧面铰接有密封门，所述密封门位于进料口的内部，此时密封门刚好将进料口完全封堵，可以有效防止镀膜材料溢出。
[0023]移动环7与调节板8为一体成型，丝杆6的侧表面与移动环7的内部螺本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可调节内部体积的真空镀膜腔室，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的侧表面设置有进气管(2)和抽气管(3)，所述箱体(1)的左右两侧均设置有端盖(4)，所述箱体(1)通过定轴承(5)连接有丝杆(6)，所述箱体(1)的内顶壁与内底壁均开设有空槽(21)，所述丝杆(6)位于空槽(21)的内部，所述丝杆(6)通过移动环(7)连接有调节板(8)，所述调节板(8)的侧面开设有进料口，所述调节板(8)的侧面铰接有密封门，所述密封门位于进料口的内部，所述空槽(21)靠近调节板(8)一侧的内壁开设有连通槽，所述丝杆(6)的侧表面固定套接有从齿轮(13)，所述端盖(4)的内部开设有环形槽，所述环形槽的内部设置有定位环(14)，所述定位环(14)通过连接环(15)连接有齿圈(16)，所述从齿轮(13)的侧表面与齿圈(16)的内壁啮合，所述端盖(4)远离箱体(1)的一侧通过转轴(17)连接有主齿轮(18)，所述主齿轮(18)的侧表面与齿圈(16)的内壁啮合，所述转轴(17)远离端盖(4)的一端固定连接有手轮(19)。2.根据权利要求1所述的一种可调节内部体积的真空镀膜腔室，其特征在于：所述调节板(8)为圆形板，所述箱体(1)为柱形箱，所述圆形板对应的半径与柱形箱对应的半径相匹配，所述圆形板的侧表面与箱体(1)的内壁贴合。3.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘万满，张哲星，
申请(专利权)人：夏禹纳米科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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