本实用新型专利技术涉及装置结构技术领域，且公开了一种迷宫式的parylene气体捕集装置，包括冷阱外壁，所述冷阱外壁的内部设置有冷阱内壁，所述冷阱内壁的顶部设置有盲板，所述盲板的内部固定设置有进气管，所述冷阱外壁的内部固定设置有出气管，所述冷阱内壁的内部设置有捕集腔室。该迷宫式的parylene气体捕集装置，通过在冷阱内壁的内侧壁上设置迷宫结构，使得气体在捕集腔室内部的流动路线成S型，并使得气体滞留时间增长，沉积有效面积变大，可以更好的捕集未在腔室沉积parylene气体与水汽，从而增大了捕集腔室内部与气体的接触面，提高了冷阱的使用率，保护了真空泵，降低真空泵因水汽和腐蚀性气体所受到的损伤。腐蚀性气体所受到的损伤。腐蚀性气体所受到的损伤。
【技术实现步骤摘要】
一种迷宫式的parylene气体捕集装置
[0001]本技术涉及装置结构
，具体为一种迷宫式的parylene气体捕集装置。
技术介绍
[0002]在镀膜行业中，冷阱是真空泵与沉积腔室之间的装置，是为了捕集在腔室中未沉积的parylene气体以及真空抽气过程中的水汽，提高真空抽速，防止因parylene粉末进入真空泵内部对真空泵造成损伤，对真空泵起到保护作用所设立；目前常用的冷阱为锅形结构，且并无迷宫式结构，parylene气体沉积有效面积小，不能完全捕集，依然会有大量的水汽和parylene气体进入到真空泵内部，对泵的造成不可修复的伤害，因此需要提出一种迷宫式的parylene气体捕集装置来解决上述所出现的问题。
技术实现思路
[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种迷宫式的parylene气体捕集装置，具备增大了冷阱内部与气体的接触面，提高了冷阱的使用率，保护了真空泵，降低真空泵因水汽和腐蚀性气体所受到的损伤等优点，解决了parylene气体沉积有效面积小，不能完全捕集，依然会有大量的水汽和parylene气体进入到真空泵内部，对泵的造成不可修复的伤害的问题。
[0005](二)技术方案
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种迷宫式的parylene气体捕集装置，包括冷阱外壁，所述冷阱外壁的内部设置有冷阱内壁，所述冷阱内壁的顶部设置有盲板，所述盲板的内部固定设置有进气管，所述冷阱外壁的内部固定设置有出气管，所述冷阱内壁的内部设置有捕集腔室，所述冷阱内壁的内部设置有迷宫机构。
[0007]优选的，所述冷阱内壁的侧表面与冷阱外壁内顶壁的内部固定连接，所述盲板的底部与冷阱内壁的顶部安装固定，从而使得冷阱内壁的内部呈密封状。
[0008]优选的，所述进气管的底端位于冷阱内壁的内部，所述出气管设置为直角管，所述出气管的右端与冷阱内壁的左侧壁连通，进而使得气体可以从进气管处进入到冷阱内壁，并通过出气管进行排出。
[0009]优选的，所述迷宫机构采用多个引流板组成，所述引流板与冷阱内壁的内侧壁和进气管的侧表面固定连接，进而实现将迷宫机构进行固定，并使得气体可以在冷阱内壁内部呈S状流动。
[0010]优选的，所述冷阱内壁的侧表面涂覆有防护层，进而便于对冷阱内壁的表面进行保养清洁操作。
[0011]与现有技术相比，本技术提供了一种迷宫式的parylene气体捕集装置，具备以下有益效果：
[0012]1、该迷宫式的parylene气体捕集装置，通过在冷阱内壁的内侧壁上设置迷宫结构，使得气体在捕集腔室内部的流动路线成S型，并使得气体滞留时间增长，沉积有效面积变大，可以更好的捕集未在腔室沉积parylene气体与水汽，从而增大了捕集腔室内部与气体的接触面，提高了冷阱的使用率，保护了真空泵，降低真空泵因水汽和腐蚀性气体所受到的损伤。
[0013]2、该迷宫式的parylene气体捕集装置，通过将迷宫机构使用铝、铜等具有高导热性的材料进行制做，进而不会因制冷面积增大而使内部温度发生改变，影响沉积效果，且在冷阱内壁的侧表面涂覆低表面能材料的防护层，从而便于进行保养清洁操作。
附图说明
[0014]图1为本技术结构示意图。
[0015]其中：1、冷阱外壁；2、冷阱内壁；3、盲板；4、进气管；5、出气管；6、捕集腔室；7、迷宫机构；8、防护层。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1，一种迷宫式的parylene气体捕集装置，包括冷阱外壁1，冷阱外壁1的内部设置有冷阱内壁2，冷阱内壁2的顶部位于冷阱外壁1的上方，冷阱内壁2的顶部设置有盲板3，冷阱内壁2的侧表面与冷阱外壁1内顶壁的内部固定连接，盲板3的底部与冷阱内壁2的顶部安装固定，通过将盲板3固定安装在冷阱内壁2的顶部，从而可以将冷阱内壁2的内部进行密封，盲板3的内部固定设置有进气管4，进气管4的底部贯穿盲板3的顶部，并延伸到盲板3的底部，进气管4与盲板3的内部固定连接，进气管4的底部设置为斜面状，冷阱外壁1的内部固定设置有出气管5，出气管5位于冷阱内壁2的左侧，进气管4的底端位于冷阱内壁2的内部，出气管5设置为直角管，出气管5的右端与冷阱内壁2的左侧壁连通，出气管5的顶端贯穿冷阱外壁1的内底壁，并延伸到冷阱外壁1的顶部，从而使得外部的气体可以从进气管4处进入到冷阱内壁2的内部，并在捕集腔室6的内部进行流动，并从出气管5处排出冷阱内壁2，并在出气管5中流动，最后排出冷阱外壁1，冷阱内壁2的内部设置有捕集腔室6，通过在捕集腔室6内可以对未沉积的parylene气体与水汽进行捕集，冷阱内壁2的内部设置有迷宫机构7，迷宫机构7采用多个引流板组成，引流板与冷阱内壁2的内侧壁和进气管4的侧表面固定连接，多个引流板与冷阱内壁2的内底壁、左侧壁和右侧壁，以及进气管4的左右两侧内壁固定，从而可以改变捕集腔室6内部气体的流动方向，使得气体在捕集腔室6内呈S型的流动路线，且引流板使用铝、铜等具有高导热性的材料制做，不会因制冷面积增大而使内部温度发生改变，影响沉积效果，冷阱内壁2的侧表面涂覆有防护层8，防护层8采用地表面能材料，从而便于对冷阱内壁2进行保养清洁操作。
[0018]在使用时，气体通过进气管4进入到冷阱内壁2的内壁，并在捕集腔室6的内部流动，使得气体与冷阱内壁2内部的迷宫机构7接触，并在迷宫机构7的作用下，改变气体的流
动方向，进而使得气体在捕集腔室6内部的流动路线呈S型，进而增加气体在捕集腔室6内部的滞留时间，实现对捕集腔室6内部未沉积的parylene气体与水汽进行捕集。
[0019]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种迷宫式的parylene气体捕集装置，包括冷阱外壁(1)，其特征在于：所述冷阱外壁(1)的内部设置有冷阱内壁(2)，所述冷阱内壁(2)的顶部设置有盲板(3)，所述盲板(3)的内部固定设置有进气管(4)，所述冷阱外壁(1)的内部固定设置有出气管(5)，所述冷阱内壁(2)的内部设置有捕集腔室(6)，所述冷阱内壁(2)的内部设置有迷宫机构(7)。2.根据权利要求1所述的一种迷宫式的parylene气体捕集装置，其特征在于：所述冷阱内壁(2)的侧表面与冷阱外壁(1)内顶壁的内部固定连接，所述盲板(3)的底部与冷阱内壁(2)的顶部安...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘万满，张哲星，
申请(专利权)人：夏禹纳米科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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