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本实用新型公开了一种适用于箱式真空镀膜机的高洁净度进气系统，包括过滤通道，过滤通道的一端安装在箱体的进气口处；过滤通道包覆在铜基烧结消音滤芯的外部；滤除装置，滤除装置安装在过滤通道内；气体进入过滤通道并经由滤除装置形成首次过滤以实现阻隔空气...
该专利属于长春汇恒光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春汇恒光电科技有限公司授权不得商用。

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