一种控温型双气体通道均匀喷气喷淋板制造技术

本实用新型专利技术涉及喷淋板技术领域，且公开了一种控温型双气体通道均匀喷气喷淋板，包括喷淋板本体，所述喷淋板本体的上方设有安装板，所述安装板的下侧壁固定连接有多个竖板，所述竖板靠近喷淋板本体的侧壁固定连接有横板，所述横板的上侧壁铰接有转板，所述横板的上侧壁开设有凹槽且凹槽和转板之间固定连接有同一根第一弹簧，所述转板的上侧壁固定连接有卡柱，所述喷淋板本体的侧壁固定连接有多个支撑板。本实用新型专利技术能够在不需要使用螺栓的情况下，便捷快速的拆装喷淋板，缩减了拆装喷淋板的时间，提高了操作人员检修喷淋板的便利性。提高了操作人员检修喷淋板的便利性。提高了操作人员检修喷淋板的便利性。

【技术实现步骤摘要】
一种控温型双气体通道均匀喷气喷淋板


[0001]本技术涉及喷淋板
，尤其涉及一种控温型双气体通道均匀喷气喷淋板。

技术介绍

[0002]现有的半导体薄膜沉积设备,在工艺过程中,往往需要在特定的温度场内且两种或多种气体同时通入腔体或切换通入腔体进行反应。而且大多数情况下，此特定的温度场会直接以热辐射的形式影响喷淋部件,导致喷淋部件达到或接近其熔点变形失效,这时,喷淋部件的控温功能就转化为对喷淋部件主体的冷却。
[0003]在专利授权公告号CN 104789943 A的专利提出的一种控温型双 (体通道均匀喷气喷淋板,其特征在于:所述喷淋板内部设有相互隔离的两个气体通道、一个传热效率高的蛇形液态传热介质通道，上述的相互隔离的两个气.体通道及一个蛇形液态传热介质通道由该件所包括的喷淋上板、扩散挡板、进气环、封闭环及喷淋孔板五个部分组合而成，将扩散挡板同心地焊接在喷淋上板的中心处，上述扩散挡板与喷淋上板构成第
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一个部分,将进气环与喷淋孔板焊接，使进气环开有的短槽与喷淋孔板所钻有的一列长通孔结合成为封闭的蛇形管路,焊接封闭环将喷淋孔板与进气环形成的结构转化成双通道气路，实现了在可控的温度条件下两种气体同时通入腔体或切换通入腔体进行反应的工艺要求，减小了喷淋部件的体积，提高了传热效率,使喷淋部件的可靠性得以保证，该装置在使用时，需要通过螺栓等紧固件对喷淋板进行固定，螺栓在长时间使用后会锈蚀，不方便操作人员拆装，影响操作人员对喷淋板进行检修。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中喷淋板在使用时，需要通过螺栓等紧固件对喷淋板进行固定，螺栓在长时间使用后会锈蚀，不方便操作人员拆装，影响操作人员对喷淋板进行检修的问题，而提出的一种控温型双气体通道均匀喷气喷淋板。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种控温型双气体通道均匀喷气喷淋板，包括喷淋板本体，所述喷淋板本体的上方设有安装板，所述安装板的下侧壁固定连接有多个竖板，所述竖板靠近喷淋板本体的侧壁固定连接有横板，所述横板的上侧壁铰接有转板，所述横板的上侧壁开设有凹槽且凹槽和转板之间固定连接有同一根第一弹簧，所述转板的上侧壁固定连接有卡柱，所述喷淋板本体的侧壁固定连接有多个支撑板，所述支撑板的下侧壁开设有与卡柱相互匹配的卡槽，所述竖板的侧壁开设有滑动口且滑动口内插接有横截面为倒U型结构的滑动框，所述滑动框的左端固定连接有下压板，所述滑动框和滑动口之间的侧壁固定连接有同一根第二弹簧，所述竖板的外壁固定连接有定位框，所述定位框的侧壁开设有定位槽且定位槽内插接有定位板，所述定位板和滑动框之间的侧壁均固定连接有卡齿，所述定位板的侧壁固定连接有拉杆，所述拉杆伸出定位槽的一端固定连接有拉板，所述拉板和定位框相对一侧的侧
壁固定连接有同一根第三弹簧。
[0007]优选的，所述卡柱外套设有第四弹簧，所述第四弹簧的上端固定连接有顶圈。
[0008]优选的，所述下压板的下侧壁固定连接有橡胶垫。
[0009]优选的，所述滑动框的侧壁固定连接有按压板。
[0010]优选的，所述下压板的上侧壁固定连接有稳定杆，所述安装板的内壁固定连接有与稳定杆相互匹配的稳定筒。
[0011]优选的，所述拉板的侧壁固定连接有拉环。
[0012]优选的，所述第一弹簧、第二弹簧、第三弹簧和第四弹簧的均为铜合金弹簧。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种控温型双气体通道均匀喷气喷淋板，具备以下有益效果：
[0014]该控温型双气体通道均匀喷气喷淋板，通过设置的、喷淋板本体、安装板、竖板、横板、转板、凹槽、第一弹簧、卡柱、支撑板、卡槽、滑动口、滑动框、下压板、第二弹簧、定位框、定位槽、定位板、拉杆、拉板、第三弹簧，能够在不需要使用螺栓的情况下，便捷快速的拆装喷淋板，缩减了拆装喷淋板的时间，提高了操作人员检修喷淋板的便利性。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种控温型双气体通道均匀喷气喷淋板的结构示意图；
[0016]图2为图1中A部分的放大示意图。
[0017]图中：1、喷淋板本体；2、安装板；3、竖板；4、横板；5、转板；6、凹槽；7、第一弹簧；8、卡柱；9、支撑板；10、卡槽；11、滑动口；12、滑动框；13、下压板；14、第二弹簧；15、定位框；16、定位槽；17、定位板；18、拉杆；19、拉板；20、第三弹簧；21、第四弹簧；22、顶圈；23、橡胶垫；24、按压板；25、稳定杆；26、稳定筒；27、拉环；28卡齿。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0019]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0020]实施例1如图1
‑
2所示，一种控温型双气体通道均匀喷气喷淋板，包括喷淋板本体1，其特征在于，喷淋板本体1的上方设有安装板2，安装板2的下侧壁固定连接有多个竖板3，竖板3靠近喷淋板本体1 的侧壁固定连接有横板4，横板4的上侧壁铰接有转板5，横板4的上侧壁开设有凹槽6且凹槽6和转板5之间固定连接有同一根第一弹簧7，转板5的上侧壁固定连接有卡柱8，喷淋板本体1的侧壁固定连接有多个支撑板9，支撑板9的下侧壁开设有与卡柱8相互匹配的卡槽10，竖板3的侧壁开设有滑动口11且滑动口11内插接有横截面为倒U型结构的滑动框12，滑动框12的侧壁固定连接有按压板24，方便按压滑动框12，滑动框12的左端固定连接有下压板13，下压板 13的上侧壁固定连接有稳定杆25，安装板2的内壁固定连
接有与稳定杆25相互匹配的稳定筒26，增加了下压板13上下移动的稳定性，滑动框12和滑动口11之间的侧壁固定连接有同一根第二弹簧14，竖板3的外壁固定连接有定位框15，定位框15的侧壁开设有定位槽 16且定位槽16内插接有定位板17，定位板17和滑动框12之间的侧壁均固定连接有卡齿28，定位板17的侧壁固定连接有拉杆18，拉杆 18伸出定位槽16的一端固定连接有拉板19，拉板19的侧壁固定连接有拉环27，方便拉动拉板19。拉板19和定位框15相对一侧的侧壁固定连接有同一根第三弹簧20。
[0021]实施例2在实施例1的基础上如图2所示，卡柱8外套设有第四弹簧21，第四弹簧21的上端固定连接有顶圈22，能够增加喷淋板本体1的减震能力。
[0022]下压板13的下侧壁固定连接有橡胶垫23，更加方便压紧支撑板 9。
[0023]第一弹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种控温型双气体通道均匀喷气喷淋板，包括喷淋板本体(1)，其特征在于，所述喷淋板本体(1)的上方设有安装板(2)，所述安装板(2)的下侧壁固定连接有多个竖板(3)，所述竖板(3)靠近喷淋板本体(1)的侧壁固定连接有横板(4)，所述横板(4)的上侧壁铰接有转板(5)，所述横板(4)的上侧壁开设有凹槽(6)且凹槽(6)和转板(5)之间固定连接有同一根第一弹簧(7)，所述转板(5)的上侧壁固定连接有卡柱(8)，所述喷淋板本体(1)的侧壁固定连接有多个支撑板(9)，所述支撑板(9)的下侧壁开设有与卡柱(8)相互匹配的卡槽(10)，所述竖板(3)的侧壁开设有滑动口(11)且滑动口(11)内插接有横截面为倒U型结构的滑动框(12)，所述滑动框(12)的左端固定连接有下压板(13)，所述滑动框(12)和滑动口(11)之间的侧壁固定连接有同一根第二弹簧(14)，所述竖板(3)的外壁固定连接有定位框(15)，所述定位框(15)的侧壁开设有定位槽(16)且定位槽(16)内插接有定位板(17)，所述定位板(17)和滑动框(12)之间的侧壁均固定连接有卡齿(28)，所述定位板(17)的侧壁固定连接有拉杆(18)，所述拉杆(18)伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩万华，董彬，
申请(专利权)人：无锡升滕半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：