本实用新型专利技术提供了一种用于OHT大角度旋转装置，属于OHT物料小车设备技术领域，包括底板，底板安装在OHT小车上，在底板上开设有一安装孔，在底板下表面上通过法兰固定连接有一中空轴承，中空轴承的外壁与法兰固定连接，在中空轴承内圈下表面上固定连接有一安装座，安装座下表面上固定连接有连接法兰，在底板上设有用于驱动安装座转动的驱动机构，在底板上设有用于限位安装座转动角度的限位机构，本实用新型专利技术具有方便了操作者根据工位的角度来调节OHT小车上的晶圆盒的角度的优点。小车上的晶圆盒的角度的优点。小车上的晶圆盒的角度的优点。
【技术实现步骤摘要】
一种用于OHT大角度旋转装置
[0001]本技术属于OHT物料小车设备
，特别是一种用于OHT大角度旋转装置。
技术介绍
[0002]半导体领域内，晶圆厂普遍使用自动物料传输系统(AMHS)来提高工厂自动化程度，更加智能地去管理厂内物料的运输与工艺流程管理。空中的自动物料搬运小车(OHT)简称小车,是自动物料传输系统中的重要子系统，主要负责搬运晶圆料盒(FOUP)至不同的工艺设备或仓储设备。
[0003]目前的空中自动搬运小车(OHT)，可使FOUP转向的R轴都是只有
±
10
°
左右的转动,转动的角度较小，有些晶圆厂在生产过程中，每个工作台上晶圆盒的摆放角度的变化比较大，因此无法满足使用。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种用于OHT大角度旋转装置，具有方便了操作者根据工位的角度来调节OHT小车上的晶圆盒的角度的特点。
[0005]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：
[0006]一种用于OHT大角度旋转装置，包括底板，底板安装在OHT小车上，在底板上开设有一安装孔，在底板下表面上通过法兰固定连接有一中空轴承，中空轴承的外壁与法兰固定连接，在中空轴承内圈下表面上固定连接有一安装座，安装座下表面上固定连接有连接法兰，在底板上设有用于驱动安装座转动的驱动机构，在底板上设有用于限位安装座转动角度的限位机构。
[0007]进一步的，所述驱动机构包括固定连接在底板下表面上的伺服电机、固定连接在底板下表面上的减速机、固定连接在减速机输出轴上的第一皮带轮、同轴固定连接在安装座外壁上的第二皮带轮、绕卷在第一皮带轮和第二皮带轮之间的传动带和设置在底板上用于调节传动带松紧的调节件，所述伺服电机的输出轴通过联轴器与减速机的输入轴固定连接。
[0008]进一步的，所述调节件包括固定连接在底板下表面上的固定块、开设在固定块上的调节孔、一端滑动连接在调节孔中的调节螺杆、固定连接在调节螺杆一端上固定板、固定连接在固定板下表面上的支杆、转动连接在支杆一端上的调节轮和螺纹连接在调节螺杆外壁上的调节螺母，所述调节螺母在传动带和调节轮的作用下抵接在固定块外壁上。
[0009]进一步的，所述减速机选用蜗轮蜗杆减速机。
[0010]进一步的，所述限位机构包括同轴固定连接在安装座外壁上的安装环、固定连接在安装环外壁上的检知板、固定连接在检知板一端上的检知杆、两个固定连接在底板下表面上的微动开关，所述检知板呈圆弧状
[0011]进一步的，所述检知板的圆弧角度为180
‑
220度。
[0012]进一步的，在所述底板下表面上固定连接有一支座，在支座上固定连接有一原点传感器。
[0013]与现有技术相比，本技术具有以下优点：
[0014]1、本技术通过伺服电机带动减速机工作，减速机上的第一皮带轮传动带带动第二皮带轮转动，第二皮带轮带动安装座转动，安装座带动OHT小车上的升降机构转动，通过限位机构可以限位安装座转动的角度，通过调节件可以调节传动带的松紧，通过这样的设置，结构简单，操作方便，方便了操作者根据工位的角度来调节OHT小车上的晶圆盒的角度。
[0015]2、本技术通过将检知板的圆弧角度设置为190度，限制了安装座在190度的范围内的随意调节，扩大了OHT小车上的升降机构的转动角度的范围。
[0016]3、本技术通过在底板上固定固定块，固定块上的安装孔中滑动调节螺杆，调节螺杆上的调节螺母抵接在固定块外壁上，支杆上的调节轮抵接在传动带外壁上，在作用力与反作用的作用下，调节螺杆上的调节螺母始终抵紧在固定块外壁上，通过这样的设置，结构简单，操作方便，方便了操作者调节传动带的松紧。
附图说明
[0017]图1是本技术的结构示意图。
[0018]图2是本技术中底板下表面上的结构示意图。
[0019]图中，1、底板；2、安装孔；3、中空轴承；4、安装座；5、连接法兰；6、驱动机构；7、限位机构；8、伺服电机；9、减速机；10、第一皮带轮；11、第二皮带轮；12、传动带；13、调节件；14、固定块；15、调节孔；16、调节螺杆；17、固定板；18、支杆；19、调节轮；20、调节螺母；21、安装环；22、检知板；23、检知杆；24、微动开关；25、支座；26、原点传感器。
具体实施方式
[0020]以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。
[0021]如图1、图2所示，一种用于OHT大角度旋转装置，包括底板1，底板1安装在OHT小车上，在底板1上开设有一安装孔2，安装孔2呈圆形设置，在底板1下表面上通过法兰固定连接有一中空轴承3，中空轴承3的外壁与法兰固定连接，在中空轴承3内壁下表面上同轴固定连接有一安装座4，在安装座4下表面上固定连接有一连接法兰5，连接法兰5用于连接OHT小车的升降机构，在底板1下表面上设有用于驱动安装座4转动的驱动机构6，在底板1上设有用于限位安装座4转动角度的限位机构7。
[0022]如图1、图2所示，驱动机构6包括伺服电机8、减速机9、第一皮带轮10、第二皮带轮11、传动带12和调节件13，伺服电机8固定连接在底板1下表面上，减速机9固定连接在底板1下表面上，减速机9设置为蜗轮蜗杆减速机9，伺服电机8的输出轴通过联轴器与减速机9的输入轴固定连接，第一皮带轮10固定连接在减速机9的输出轴上，第二皮带轮11固定连接在安装座4外壁上，第一皮带轮10的直径小于第二皮带轮11的直径，传动带12绕卷在第一皮带轮10和第二皮带轮11之间，调节件13设置在底板1下表面上，调节件13用于调节传动带12的松紧。
[0023]如图1、图2所示，调节件13包括固定块14、调节孔15、调节螺杆16、固定板17、支杆18、调节轮19和调节螺母20，固定块14固定连接在底板1下表面上，调节孔15开设在固定块14上，调节孔15贯穿固定块14两侧侧壁，调节螺杆16滑动连接在调节孔15中，固定板17固定连接在调节螺杆16一端上，支杆18固定连接在固定板17下表面上，调节轮19转动连接在支杆18一端上，调节轮19抵接在传动带12外壁上，调节螺母20螺纹连接在调节螺杆16外壁上，在传动带12的反作用力下，调节螺母20抵紧在固定块14外壁上。
[0024]如图1、图2所示，限位机构7包括安装环21、检知板22、检知杆23和微动开关24，安装环21同轴固定连接在安装座4外壁上，检知板22固定连接在安装环21外壁上，检知板22呈圆弧状设置，检知板22的圆弧角度为190度，在检知杆23固定连接在检知板22一端上，微动开关24固定连接在底板1下表面上，在底板1下表面上固定连接有两个微动开关24，两个微动开关24和检知杆23的配合用于限位安装座4的两个方向上的极限转动角度。
[0025]如图1、图2所述，为了方便操作者定位安本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于OHT大角度旋转装置，其特征在于，包括底板(1)，底板(1)安装在OHT小车上，在底板(1)上开设有一安装孔(2)，在底板(1)下表面上通过法兰固定连接有一中空轴承(3)，中空轴承(3)的外壁与法兰固定连接，在中空轴承(3)内圈下表面上固定连接有一安装座(4)，安装座(4)下表面上固定连接有连接法兰(5)，在底板(1)上设有用于驱动安装座(4)转动的驱动机构(6)，在底板(1)上设有用于限位安装座(4)转动角度的限位机构(7)。2.根据权利要求1所述的一种用于OHT大角度旋转装置，其特征在于，所述驱动机构(6)包括固定连接在底板(1)下表面上的伺服电机(8)、固定连接在底板(1)下表面上的减速机(9)、固定连接在减速机(9)输出轴上的第一皮带轮(10)、同轴固定连接在安装座(4)外壁上的第二皮带轮(11)、绕卷在第一皮带轮(10)和第二皮带轮(11)之间的传动带(12)和设置在底板(1)上用于调节传动带(12)松紧的调节件(13)，所述伺服电机(8)的输出轴通过联轴器与减速机(9)的输入轴固定连接。3.根据权利要求2所述的一种用于OHT大角度旋转装置，其特征在于，所述调节件(13)包括固定连接在底板(1)下表面上的固定块(14)、开设在固定块(14)上的调节...
【专利技术属性】
技术研发人员：余君山，温孟川，龚昱，王伟忠，唐凯，
申请(专利权)人：华芯嘉兴智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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