实验室用蓝宝石衬底研磨设备制造技术

本发明专利技术公开了一种实验室用蓝宝石衬底研磨设备，属于蓝宝石衬底技术领域。其技术方案为：包括试验台，试验台上安装有研磨台，研磨台表面设置有研磨垫，研磨台由第一电机驱动转动；试验台上还安装有研磨液储蓄槽和冷却水槽，研磨液储蓄槽内设置有搅拌装置，研磨液储蓄槽的出液口连接有研磨液管，冷却水槽的出液口连接有出水管，研磨液管和出水管上分别安装有阀门；试验台的下方安装有废水收集装置，试验台的排废水管伸入到废水收集装置内。本发明专利技术的研磨设备脱离生产线，研磨实验过程不影响产线正常生产。线正常生产。线正常生产。

【技术实现步骤摘要】
实验室用蓝宝石衬底研磨设备


[0001]本专利技术涉及蓝宝石衬底
，具体涉及一种实验室用蓝宝石衬底研磨设备。

技术介绍

[0002]蓝宝石是一种集优良光学性能、物理性能和化学性能于一身的独特晶体。其独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使蓝宝石作为用于半导体照明、显示、大规模集成电路等理想的衬底材料。
[0003]在蓝宝石衬底图形化的生产加工过程中，需要对蓝宝石衬底表面进行图形化工艺，使其表形成固定的图案。因此蓝宝石衬底表面平整度一直是行业内重点关注的品质参数，表面平整度依靠研磨设备来满足，行业内蓝宝石衬底研磨设备基本是在线自动研磨，当研磨工艺调整或更换研磨材料时产线需停工等待，时间和成本浪费大。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种实验室用蓝宝石衬底研磨设备，脱离生产线，研磨实验过程不影响产线正常生产。
[0005]本专利技术的技术方案为：
[0006]实验室用蓝宝石衬底研磨设备，包括试验台，试验台上安装有研磨台，研磨台表面设置有研磨垫，研磨台由第一电机驱动转动；试验台上还安装有研磨液储蓄槽和冷却水槽，研磨液储蓄槽内设置有搅拌装置，研磨液储蓄槽的出液口连接有研磨液管，冷却水槽的出液口连接有出水管，研磨液管和出水管上分别安装有阀门；试验台的下方安装有废水收集装置，试验台的排废水管伸入到废水收集装置内。
[0007]优选地，所述研磨台的表面边缘处设置有凹槽。
[0008]优选地，所述研磨液管和出水管均采用软管。
[0009]优选地，所述研磨液储蓄槽和冷却水槽之间设置有滑杆，滑杆上安装有两个直线导轨滑块，研磨液管和出水管上分别安装在两个直线导轨滑块上。
[0010]优选地，所述搅拌装置包括设置在研磨液储蓄槽内的搅拌棒，搅拌棒由第二电机驱动转动。
[0011]优选地，所述试验台上设置有抽屉。
[0012]优选地，所述废水收集装置包括废水收集桶，排废水管伸入到废水收集桶内；废水收集桶的上部设置有排水管，下部设置有排污管，排污管上安装有阀门。
[0013]优选地，所述废水收集桶上设置有透明观察窗。
[0014]优选地，所述试验台下方设置有左柜和右柜，废水收集装置位于左柜中，第一驱动电机位于右柜中。
[0015]本专利技术与现有技术相比，具有以下有益效果：
[0016]本专利技术的研磨设备可在实验室中针对蓝宝石衬底研磨工艺、研磨材料先行试验，找到最优研磨条件后再在产线施行，解决了现有技术中在线研磨设备因工艺调整或更换研
磨材料时产线需停工等待，时间和成本浪费大的问题。设备使用时，可根据实际研磨效果及时更改研磨实验工艺条件，如研磨液配方、浓度、研磨转速等，实验过程灵活方便。且本专利技术的研磨设备制造费用低，操作简单，有效控制了蓝宝石衬底研磨实验的成本。本专利技术的研磨设备实现了蓝宝石研磨试验功能，为产线蓝宝石衬底研磨工艺提供科学参考。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1是本专利技术的结构示意图之一。
[0019]图2是本专利技术的结构示意图之二。
[0020]图3是本专利技术的废水收集桶的结构示意图。
[0021]图4是本专利技术的研磨台的结构示意图。
[0022]图中，1
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试验台、2
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研磨台、3
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第一电机、4
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研磨液储蓄槽、5
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冷却水槽、6
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研磨液管、7
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出水管、8
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阀门、9
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排废水管、10
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凹槽、11
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直线导轨滑块、12
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滑杆、13
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搅拌棒、14
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第二电机、15
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抽屉、16
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废水收集桶、17
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排水管、18
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排污管、19
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透明观察窗、20
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左柜、21
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右柜。
具体实施方式
[0023]为了使本
的人员更好地理解本专利技术中的技术方案，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本专利技术保护的范围。
[0024]实施例1
[0025]如图1
‑
2所示，本实施例提供了一种实验室用蓝宝石衬底研磨设备，包括试验台1，试验台1上安装有研磨台2，研磨台2表面设置有研磨垫，研磨台2由第一电机3驱动转动；试验台1上还安装有研磨液储蓄槽4和冷却水槽5，研磨液储蓄槽4内设置有搅拌装置，研磨液储蓄槽4的出液口连接有研磨液管6，冷却水槽5的出液口连接有出水管7，研磨液管6和出水管7上分别安装有阀门8，阀门8可以控制研磨液和冷却水的开闭和流量；试验台1的下方安装有左柜20和右柜21，左柜20和右柜21的门上设置有把手，左柜20中安装有废水收集装置，试验台1对应研磨台2的位置设置有孔洞，孔洞处连接有排废水管9，排废水管9伸入到废水收集装置内；右柜21用于放置第一电机3。
[0026]其中，本实施例的搅拌装置、废水收集装置可采用现有搅拌结构，优选地，本实施例的搅拌装置包括设置在研磨液储蓄槽4内的搅拌棒13，搅拌棒13由第二电机14驱动转动，通过第二电机14控制搅拌棒13的开闭和转速。所述废水收集装置包括废水收集桶16，排废水管9伸入到废水收集桶16内；废水收集桶16的上部设置有排水管17，下部设置有排污管18，排污管18上安装有阀门。废水收集桶16由排废水管9将研磨废水导入，经过初步沉淀后由排水管17排出，含大量研磨粉的废水会向底部沉淀，由排污管18定期排出。
[0027]工作原理：
[0028]S1：根据实际需求，设定本次蓝宝石衬底试验的条件。
[0029]试验1：验证新研磨粉对蓝宝石衬底的研磨效果，则设定一个试验组和一个对比组。试验组与对比组的试验条件的区别在于：试验组使用新研磨粉调制研磨液，而对比组使用旧研磨液；试验组与对比组的研磨液浓度、流量大小等其它工艺条件则保持相同。
[0030]试验2：验证不同酸(H2SO4、HF)加入研磨液后对研磨的改善效果，则试验组1条件为：配置研磨液时加入一定量的H2SO4，试验组2条件为：配置研磨液时加入等量的HF，对比组条件为：配置研磨液时不加酸；试验组1、试验组3及对比组的其它研磨工艺相同。
[0031]S2：依据试验条件，准本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.实验室用蓝宝石衬底研磨设备，其特征在于，包括试验台(1)，试验台(1)上安装有研磨台(2)，研磨台(2)表面设置有研磨垫，研磨台(2)由第一电机(3)驱动转动；试验台(1)上还安装有研磨液储蓄槽(4)和冷却水槽(5)，研磨液储蓄槽(4)内设置有搅拌装置，研磨液储蓄槽(4)的出液口连接有研磨液管(6)，冷却水槽(5)的出液口连接有出水管(7)，研磨液管(6)和出水管(7)上分别安装有阀门(8)；试验台(1)的下方安装有废水收集装置，试验台(1)的排废水管(9)伸入到废水收集装置内。2.如权利要求1所述的实验室用蓝宝石衬底研磨设备，其特征在于，所述研磨台(2)的表面边缘处设置有凹槽(10)。3.如权利要求1所述的实验室用蓝宝石衬底研磨设备，其特征在于，所述研磨液管(6)和出水管(7)均采用软管。4.如权利要求3所述的实验室用蓝宝石衬底研磨设备，其特征在于，所述研磨液储蓄槽(4)和冷却水槽(5)之间设置有滑杆(12)，滑杆(12)上安装有两个直线导轨滑块(11)，研磨...

【专利技术属性】
技术研发人员：周阳强，卞恒卿，金虎范，
申请(专利权)人：青岛融合智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：