紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构制造技术

本发明专利技术公开一种紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，包括观察镜筒、旋转件、伸缩筒及传动结构，所述观察镜筒形成有沿第一方向贯通设置的第一腔体，所述旋转件沿第二方向所处轴线转动设置于所述观察镜筒，且所述旋转件具有沿径向呈延展设置的旋转驱动部，所述伸缩筒沿第一方向延伸且活动设置于所述第一腔体，且所述伸缩筒用以供观察相机模组安装，所述传动结构传动连接所述旋转驱动部至所述伸缩筒，以将所述旋转件的转动转换成所述伸缩筒的直线运动。实现了对所述伸缩筒的微调，从而使得安装至所述伸缩筒上的观察相机模组能获得较佳的像面位置，最终显示较为清晰的观察画面。最终显示较为清晰的观察画面。最终显示较为清晰的观察画面。

【技术实现步骤摘要】
紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构


[0001]本专利技术涉及光刻镜头
，特别涉及一种紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构。

技术介绍

[0002]光刻工艺的作用是将掩膜版上的几何图形转移到晶圆表面的光刻胶上。首先光刻胶处理设备把光刻胶旋涂到晶圆表面，再经过分步重复曝光和显影处理之后，在晶圆上形成需要的图形。目前，掩膜式光刻设备监控系统通常采用在光刻物镜的上方设置观测系统对工件成像进行观察，或者在旁轴设置成像观察系统，这些方法中都会使用到观察相机对投影图像进行显示成像，然而，对于不同的光刻晶圆，观察相机的成像画面可能出现模糊不清的问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术的主要目的是提出一种紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，旨在解决光刻设备监控系统中观察相机的像面位置无法微调导致成像画面模糊不清的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提出的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构包括：
[0005]观察镜筒，形成有沿第一方向贯通设置的第一腔体；
[0006]旋转件，沿第二方向所处轴线转动设置于所述观察镜筒，且所述旋转件具有沿径向呈延展设置的旋转驱动部；
[0007]伸缩筒，沿第一方向延伸且活动设置于所述第一腔体，且所述伸缩筒用以供观察相机模组安装；以及，
[0008]传动结构，传动连接所述旋转驱动部至所述伸缩筒，以将所述旋转件的转动转换成所述伸缩筒的直线运动。
[0009]可选地，所述第二方向与所述第一方向设置为相同方向；
[0010]所述旋转件包括旋转筒，所述伸缩筒适配套设于所述旋转筒，且所述传动结构设置为螺纹连接副；
[0011]其中，所述旋转驱动部环设于所述旋转筒的周侧壁。
[0012]可选地，所述旋转筒包括限位筒段，所述限位筒段适配伸入所述第一腔体；
[0013]所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括第一限位组件，所述第一限位组件包括：
[0014]限位槽，环设于所述限位筒段的周侧壁；以及，
[0015]第一限位销，对应所述限位槽贯穿设置于所述观察镜筒的侧壁，且所述第一限位销适配伸入所述限位槽。
[0016]可选地，所述旋转驱动部与所述观察镜筒的观察端呈相对设置；
[0017]所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括定位组件，所述定位组件包括定位销，所述定位销沿所述第一方向活动设置于所述旋转驱动部，在所述定位销的活动行程上，
所述定位销能抵紧所述观察镜筒的观察端。
[0018]可选地，所述伸缩筒包括止转筒段；
[0019]所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括止转组件，所述止转组件包括：
[0020]止转槽，沿第一方向延伸设置于所述止转筒段的侧壁；
[0021]止转销，对应所述止转槽贯穿设置于所述观察镜筒的侧壁，且所述止转销适配伸入所述止转槽。
[0022]可选地，所述伸缩筒的侧壁上相对所述旋转筒的底壁呈间隔设置有限位凸部。
[0023]可选地，所述伸缩筒具有伸出所述第一腔体设置的安装筒段；
[0024]所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括：
[0025]观察相机模组，包括联接套筒和观察相机，所述联接套筒沿第一方向所处轴线转动套设于所述安装筒段，所述观察相机设于所述联接套筒；以及，
[0026]第二限位组件，包括限位孔和第二限位销，所述限位孔贯穿设置于所述安装筒段的周侧壁，且沿所述安装筒段的周向呈长形设置，所述第二限位销设于所述联接套筒，且适配伸入所述限位孔。
[0027]可选地，所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括：
[0028]光刻镜筒，形成有沿第三方向贯通设置的第二腔体，所述观察镜筒设于所述光刻镜筒的侧壁，且所述第一腔体与所述第二腔体相互导通；以及，
[0029]分光棱镜，设于所述第二腔体，且所述分光棱镜与所述第一腔体呈相对设置。
[0030]可选地，所述第一腔体包括观察透镜安装腔；
[0031]所述第二腔体包括沿所述第三方向排布的多个光刻透镜安装腔，且所述分光棱镜的两侧分别至少设置一个所述光刻透镜安装腔；
[0032]所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括：
[0033]多个安装群框，分设于所述观察透镜安装腔及多个所述光刻透镜安装腔内；
[0034]观察透镜群，设于所述观察透镜安装腔，且安装至对应的所述安装群框；以及，
[0035]多组光刻透镜群，分设于多个所述光刻透镜安装腔，且安装至对应的所述安装群框。
[0036]可选地，在所述第二腔体内，多个所述安装群框包括处于中部位置的基准群框以及处于所述基准群框的两侧的多个调整群框，所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括隔圈组件，所述隔圈组件包括多个调整隔圈，多个所述调整隔圈对应设置于多个所述调整群框与对应的多个所述光刻透镜安装腔之间，用以调整多个所述调整群框与所述基准群框的间隔；和/或，
[0037]多个所述安装群框包括处于所述观察透镜安装腔内的调整群框，所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括隔圈组件，所述隔圈组件包括调整隔圈，所述调整隔圈设置于所述调整群框与所述观察透镜安装腔之间，用以调整多个所述调整群框与所述分光棱镜的间隔。
[0038]本专利技术提供的技术方案中，所述旋转驱动部沿所述旋转件的径向方向延展，以获得较大的驱动半径，当外力驱动所述旋转驱动部转动时，所述旋转驱动部的外缘移动的线速度允许较大，而转换到所述旋转件的转动角速度仍然较小，再通过所述传动结构将所述旋转件的旋转运动转化成所述伸缩筒的直线运动，从而确保所述伸缩筒直线移动的速度远
小于所述旋转驱动部的外缘的线速度，以此达到减速的效果，从而实现对所述伸缩筒的微调，最终使得安装至所述伸缩筒的观察相机模组能够获得较佳的像面位置，最终显示较为清晰的观察画面。
附图说明
[0039]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0040]图1为本专利技术提供的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构的一实施例的结构示意图；
[0041]图2为图1中的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构的平面剖视示意图；
[0042]图3为图2中的观察镜筒、旋转件、伸缩筒及传动结构的放大示意图。
[0043]附图标号说明：
[0044][0045][0046]本专利技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0047]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，包括：观察镜筒，形成有沿第一方向贯通设置的第一腔体；旋转件，沿第二方向所处轴线转动设置于所述观察镜筒，且所述旋转件具有沿径向呈延展设置的旋转驱动部；伸缩筒，沿第一方向延伸且活动设置于所述第一腔体，且所述伸缩筒用以供观察相机模组安装；以及，传动结构，传动连接所述旋转驱动部至所述伸缩筒，以将所述旋转件的转动转换成所述伸缩筒的直线运动。2.如权利要求1所述的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，所述第二方向与所述第一方向设置为相同方向；所述旋转件包括旋转筒，所述伸缩筒适配套设于所述旋转筒，且所述传动结构设置为螺纹连接副；其中，所述旋转驱动部环设于所述旋转筒的周侧壁。3.如权利要求2所述的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，所述旋转筒包括限位筒段，所述限位筒段适配伸入所述第一腔体；所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括第一限位组件，所述第一限位组件包括：限位槽，环设于所述限位筒段的周侧壁；以及，第一限位销，对应所述限位槽贯穿设置于所述观察镜筒的侧壁，且所述第一限位销适配伸入所述限位槽。4.如权利要求2所述的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，所述旋转驱动部与所述观察镜筒的观察端呈相对设置；所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括定位组件，所述定位组件包括定位销，所述定位销沿所述第一方向活动设置于所述旋转驱动部，在所述定位销的活动行程上，所述定位销能抵紧所述观察镜筒的观察端。5.如权利要求2所述的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，所述伸缩筒包括止转筒段；所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括止转组件，所述止转组件包括：止转槽，沿第一方向延伸设置于所述止转筒段的侧壁；止转销，对应所述止转槽贯穿设置于所述观察镜筒的侧壁，且所述止转销适配伸入所述止转槽。6.如权利要求2所述的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，所述伸缩筒的侧壁上相对所述旋转筒的底壁呈间隔设置有限位凸部。7.如权利要求1所述的紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，所述伸缩筒具有伸出所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖伟，朱红伟，邱盛平，
申请(专利权)人：成都联江科技有限公司，
类型：发明
国别省市：