一种电磁加热和水冷双功能浇铸模具及浇铸方法技术

本发明专利技术涉及一种电磁加热和水冷双功能浇铸模具及浇铸方法，属于浇铸方法技术领域。一种电磁加热和水冷双功能浇铸模具，包括底座，均安装在底座上的锭模本体和浇注管，以及安装锭模本体上方的冒口，其特征在于，所述锭模本体的锭模壳体的壳壁内部设置有螺旋状的水道，锭模壳体的外侧设置电磁感应加热的螺旋铜管A。同时，还公开了电磁加热和水冷双功能浇铸模具的使用该方法。本申请的模具及浇铸方法，可以获得内外晶粒一致，且晶粒尺寸控制在500

【技术实现步骤摘要】
一种电磁加热和水冷双功能浇铸模具及浇铸方法


[0001]本专利技术涉及一种电磁加热和水冷双功能浇铸模具及浇铸方法，属于浇铸方法


技术介绍

[0002]金属靶材是半导体领域使用的核心材料之一，尤其是大吨位靶材（1000kg以上），目前国内靶材存在一些列问题：1、本体金属的纯度问题，通常只达到4N，100ppm的杂质含量具有较大的不稳定性；2、常规敞口熔炼无法很精准的控制氧含量，也无法脱出易挥发杂质；3、由于铸锭尺寸巨大，浇铸后芯部持续高温，1000kg以上铸锭浇铸后2小时内芯部仍为液态，晶粒仍在持续生长，造成芯部晶粒尺寸巨大，可以达到厘米级晶粒，同时还造成内外晶粒尺寸差异巨大；4、坩埚本体高温下对材料的污染。
[0003]现在使用的浇铸模具，具有如下的问题：1、使用前需要烘模，例如铜铸造，模具需要使用烘包器烘到380
‑
400℃；2、在真空炉的操作中，由于需要烘模，需要设置双室，模具烘完后才能吊入锭模室组装，费时费力，天然气烘包热效率还低；3、锭模本体需要做很厚，增加潜热，对冷却速度的提升微乎其微；4、冒口无法本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电磁加热和水冷双功能浇铸模具，包括底座（1），均安装在底座（1）上的锭模本体（2）和浇注管（3），以及安装锭模本体（2）上方的冒口（4），其特征在于，所述锭模本体（2）的锭模壳体（2.1）的壳壁内部设置有螺旋状的水道（2.2），锭模壳体（2.1）的外侧设置电磁感应加热的螺旋铜管A（2.3）。2.根据权利要求1所述的电磁加热和水冷双功能浇铸模具，其特征在于，所述冒口（4）的冒口外壳（4.1）的外侧设置电磁感应加热的螺旋铜管B（4.2）。3.根据权利要求2所述的电磁加热和水冷双功能浇铸模具，其特征在于，所述浇注管（3）的外侧壁上设置有电磁感应加热的螺旋铜管。4.根据权利要求3所述的电磁加热和水冷双功能浇铸模具，其特征在于，所述底座（1）的外侧壁上设置有电磁感应加热的螺旋铜管，并且在底座（1）的的壳壁内部设置有螺旋状的水道。5.根据权利要求4所述的电磁加热和水冷双功能浇铸模具，其特征在于，所述底座（1）上设置有锭模本体安装槽和浇注管安装槽，锭模本体安装槽和浇注管安装槽之间设置有流道。6.一种使用权利要求5所述浇铸模具的浇铸方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、预热：熔炼快要浇铸的时候，开启电磁感应...

【专利技术属性】
技术研发人员：王岩，
申请(专利权)人：烟台扶摇特导新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：