微机电加热器制造技术

本发明专利技术公开一种微机电加热器，其包含一绝缘基板、一绝热件及一加热件。绝热件包含多个支撑结构及至少一绝热层。支撑结构设置于绝缘基板上。绝热层位于绝缘基板上方且与支撑结构连接。绝热层与绝缘基板间隔一距离。加热件设置于绝热层上。置于绝热层上。置于绝热层上。

【技术实现步骤摘要】
微机电加热器


[0001]本专利技术涉及一种加热器，特别是涉及一种微机电加热器。

技术介绍

[0002]在利用微机电感测器进行感测时，部分微机电感测器必须在特定操作温度下才能准确测量待测物，也就是需将微机电感测器及其周围环境加热至特定操作温度再进行感测。因此，微机电感测器必须配置加热器，使微机电感测器可被加热至特定操作温度。
[0003]低功耗的需求日增的情况下，现有微机电感测器中加热器的配置，常发生热能大量散失而影响加热器的效率与能耗，如此微机电感测器将难以稳定地维持在操作温度，进而影响感测的准确性。

技术实现思路

[0004]有鉴于以上的问题，本专利技术提出一种微机电加热器，其能够减缓热能散失，而易于维持温度稳定性。
[0005]本专利技术的一实施例提出一种微机电加热器，其包含一绝缘基板、一绝热件及一加热件。绝热件包含多个支撑结构及至少一绝热层。支撑结构设置于绝缘基板上。绝热层位于绝缘基板上方且与支撑结构连接。绝热层与绝缘基板间隔一距离。加热件设置于绝热层上。
[0006]根据本专利技术的一实施例的微机电加热器，通过将加热件设置于与绝缘基板间隔一距离的绝热层上，使得加热件所产生的热能不易传导至绝缘基板。加热件不需耗费大量的能量便能够加热至指定的温度，且易于维持通过加热件加热所致的温度。
[0007]以上的关于本
技术实现思路
的说明及以下的实施方式的说明是用以示范与解释本专利技术的精神与原理，并且提供本专利技术的权利要求更进一步的解释。
附图说明
[0008]图1为本专利技术的一实施例的微机电加热器的立体示意图；
[0009]图2为图1中沿2－2线提取的微机电加热器的侧视剖面示意图；
[0010]图3为图1的微机电加热器的立体分解示意图；
[0011]图4为图1的微机电加热器的部分的立体示意图；
[0012]图5为图4中沿5－5线提取的微机电加热器的部分的侧视剖面示意图；
[0013]图6为图1的微机电加热器的部分的立体示意图；
[0014]图7为图6中沿7－7线提取的微机电加热器的部分的侧视剖面示意图；
[0015]图8为图1的微机电加热器的部分的立体示意图；
[0016]图9为图8中沿9－9线提取的微机电加热器的部分的侧视剖面示意图；
[0017]图10为图1的微机电加热器的部分的立体示意图；
[0018]图11为图10中沿11－11线提取的微机电加热器的部分的侧视剖面示意图；
[0019]图12为图1的微机电加热器的部分的立体示意图；
[0020]图13为图12中沿13－13线提取的微机电加热器的部分的侧视剖面示意图；
[0021]图14为图1的微机电加热器的立体示意图；
[0022]图15为图1的微机电加热器的一应用例的立体分解示意图；
[0023]图16为图15的微机电加热器的一应用例的立体示意图；
[0024]图17为本专利技术的另一实施例的微机电加热器的立体示意图；
[0025]图18为图17中沿18－18线提取的微机电加热器的侧视剖面示意图；
[0026]图19为本专利技术的另一实施例的微机电加热器的侧视剖面示意图；
[0027]图20为本专利技术的另一实施例的微机电加热器的立体示意图；
[0028]图21为图20中沿21－21线提取的微机电加热器的侧视剖面示意图。
[0029]符号说明
[0030]1、1a、1b、1c
…
微机电加热器
[0031]10
…
绝缘基板
[0032]11
…
非绝缘层
[0033]12
…
绝缘层
[0034]20
…
绝热件
[0035]21
…
围壁结构
[0036]23
…
第一支撑结构
[0037]24
…
第二支撑结构
[0038]25
…
绝热层
[0039]250
…
贯通孔
[0040]251
…
第一绝热层
[0041]252
…
第二绝热层
[0042]30
…
加热件
[0043]31
…
加热部
[0044]32
…
引线部
[0045]33
…
电极部
[0046]40
…
牺牲材料层
[0047]41
…
第一开口
[0048]43
…
第二开口
[0049]7…
绝缘层
[0050]8…
气体感测模块
[0051]81
…
感测电极
[0052]82
…
气体感测材料
[0053]9…
气体感测器
[0054]C
…
中心
[0055]D
…
距离
[0056]L
…
宽度
[0057]P
…
间距
[0058]R1、R2
…
区域
[0059]S
…
空间
具体实施方式
[0060]以下在实施方式中详细叙述本专利技术的实施例的详细特征以及优点，其内容足以使任何本领域中具通常知识者了解本专利技术的实施例的
技术实现思路
并据以实施，且根据本说明书所揭露的内容、申请专利范围及附图，任何本领域中具通常知识者可轻易地理解本专利技术相关的目的及优点。以下的实施例是进一步详细说明本专利技术的观点，但非以任何观点限制本专利技术的范畴。
[0061]在本说明书的所谓的示意图中，由于用以说明而可有其尺寸、比例及角度等较为夸张的情形，但并非用以限定本专利技术。在未违背本专利技术要旨的情况下能够有各种变更。实施例及附图的描述中所提及的上下前后方位为用以说明，而并非用以限定本专利技术。
[0062]请参照图1、图2及图3。图1绘示依照本专利技术的一实施例的微机电加热器的立体示意图。图2绘示图1中沿2－2线提取的微机电加热器的侧视剖面示意图。图3绘示图1的微机电加热器的立体分解示意图。
[0063]如图1及图2所示，在本实施例中，微机电加热器1包含一绝缘基板10、一绝热件20及一加热件30。绝热件20设置于绝缘基板10上。加热件30设置于绝热件20上。
[0064]绝缘基板10包含彼此堆叠的一非绝缘层11及一绝缘层12。非绝缘层11的材质可为导体或半导体，绝缘层12的材质为电绝缘材料，但不以此为限。在其他实施例中，绝缘基板10也可仅包含绝缘层12。
[0065]如图2及图3所示，在本实施例中，绝热件20包含一围壁结构21、多个第一支撑结构23、多个第二支撑结构24及一绝热层25。围壁结构21、多个第一支撑结构23及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微机电加热器，其特征在于，包括：绝缘基板；绝热件，包括：多个支撑结构，设置于该绝缘基板上；以及至少一绝热层，位于该绝缘基板上方且与该些支撑结构连接，该至少一绝热层与该绝缘基板间隔一距离；以及加热件，设置于该至少一绝热层上。2.如权利要求1所述的微机电加热器，其中该至少一绝热层的数量为一个，该绝热层与该绝缘基板所间隔的该距离大于或等于0.2微米。3.如权利要求2所述的微机电加热器，其中各该支撑结构的形状为柱状，各该支撑结构具有中心轴及宽度，该些支撑结构中相邻的该二支撑结构的该二中心轴的间距除以各该支撑结构的该宽度的值大于或等于15.3。4.如权利要求3所述的微机电加热器，其中各该支撑结构的形状为方形柱状或圆形柱状。5.如权利要求1所述的微机电加热器，其中该至少一绝热层的数量为多个，该些绝热层之中邻近该绝缘基板的一者与该绝缘基板所间隔的该距离大于或等于0.2微米。6.如权利要求5所述的微机电加热器，其中各该支撑结构的形状为柱状，各该支撑结构具有中心轴及宽度，该些支撑结构中相邻的该二支撑结构的该二中心轴的间距除以各该支撑结构的该宽度的值大于或等于15.3。7.如权利要求5所述的微机电加热器，其中各该支撑结构的形状为方形柱状或圆形柱状。8.如权利要求1所述的微机电加热器，其中该加热件具有加热部，该些支撑结构围绕该加热部投影至该绝缘基板的区域排列。9.如权利要求1所述的微机电加热器，其中该些支撑结构设置于该至少一绝热层及该绝缘基板之间。10.如权利要求1所述的微机电加热器，其中该些支撑结构贯穿该至少一绝热层且与该至少一绝热层连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈明发，李柏勋，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：