一种平面靶磁场安装结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种平面靶磁场安装结构，其特征在于：包括固定在镀膜机上的靶座，所述靶座上设有磁块，所述磁块上设有将其固定连接至所述靶座上的固定块，所述固定块可拆卸的连接在所述靶座上。本实用新型专利技术平面靶磁场安装结构，结构简单，方便安装及更换磁场块，提高生产效率，具有较强的实用性和较好的应用前景。具有较强的实用性和较好的应用前景。具有较强的实用性和较好的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种平面靶磁场安装结构


[0001]本技术属于玻璃镀膜
，更具体地说，是涉及一种平面靶磁场安装结构。

技术介绍

[0002]ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工制作成的，广泛地应用于平板显示器件、太阳能电池、特殊功能窗口涂层及其他光电器件领域；RTP产品因阻值较高需要使用TP平面靶材，在生产不同产品(调整阻值以及电阻均匀性)需要调整ITO平面靶磁场来改变氧化铟锡溅射强度，从而改变ITO膜层的分布达到满足生产的需求。
[0003]现有的ITO平面靶磁场与靶座为一体成型，磁场强度无法随时调整，在调整ITO靶磁场需停机开箱处理，该调整过程耗时4h，严重影响产能效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是解决现有技术存在的问题，提供一种结构简单，方便安装及更换磁场块，提高生产效率的平面靶磁场安装结构。
[0005]为了实现上述目的，本技术采取的技术方案为：所提供的这种平面靶磁场安装结构，其特征在于：包括固定在镀膜机上的靶座，所述靶座上设有磁块，所述磁块上设有将其固定连接至所述靶座上的固定块，所述固定块可拆卸的连接在所述靶座上。
[0006]为使上述技术方案更加详尽和具体，本技术还提供以下更进一步的优选技术方案，以获得满意的实用效果：
[0007]在所述磁块长度方向上设有间隔布置的多个所述固定块。
[0008]所述靶座上设有安装放置所述磁块的安装槽。
[0009]所述靶座上位于所述安装槽两侧设有第一螺栓安装孔。
[0010]所述固定块两端设有与所述第一螺栓安装孔对应设置的第二螺栓安装孔，螺栓穿过所述第二螺栓安装孔连接至所述第一螺栓安装孔内。
[0011]所述磁块包括磁块本体及设于所述磁块本体上的安装螺柱。
[0012]所述固定块上设有穿过所述安装螺柱的螺柱孔。
[0013]所述固定块沿垂直所述磁块长度方向安装。
[0014]所述磁块本体的两端和中部均设有上下间隔布置的两个所述安装螺柱。
[0015]本技术与现有技术相比，具有以下优点：本技术平面靶磁场安装结构，结构简单，方便安装及更换磁场块，提高生产效率，具有较强的实用性和较好的应用前景。
附图说明
[0016]下面对本说明书的附图所表达的内容及图中的标记作简要说明：
[0017]图1为本技术平面靶磁场安装结构示意图；
[0018]图2为本技术靶座结构示意图；
[0019]图3为本技术磁块结构示意图；
[0020]图4为本技术固定块结构示意图。
[0021]图中标记：1、靶座；2、磁块；3、固定块；11、安装槽；12、第一螺栓安装孔；21、磁块本体；22、安装螺柱；31、固定块本体；32、螺柱孔；33、第二螺栓安装孔。
具体实施方式
[0022]下面对照附图，通过对实施例的描述，对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0024]本技术这种平面靶磁场安装结构，如图1中所示，包括固定在镀膜机上的靶座1，靶座1上设有磁块2，磁块2上设有将其固定连接至靶座1上的固定块3，固定块3可拆卸的连接在靶座1上。采用此种结构，磁块2通过固定块3可拆卸的安装在靶座1上，便于更换磁块2满足通过改变平面靶磁场来改变氧化铟锡溅射强度，适用性好，大大提高生产效率。
[0025]本技术中，在磁块2长度方向上设有间隔布置的多个固定块3。本实施例中，在磁块2的两端及中部均设有固定块3，以稳定的固定磁块2。
[0026]本技术中，如图2中所示，靶座1上设有安装放置磁块2的安装槽11。安装槽11的尺寸可按较大尺寸的槽设置，便于将磁块2放置在内，保证磁块安装后端面与外部靶座1端面齐平，外侧设置固定块3进行卡接固定。
[0027]本技术中，靶座1上位于安装槽11两侧设有第一螺栓安装孔12。如图4所示，固定块3包括固定块本体31，固定块3两端设有与第一螺栓安装孔12对应设置的第二螺栓安装孔33，螺栓穿过第二螺栓安装孔33连接至第一螺栓安装孔12内，此种结构设置便于安装及拆卸。
[0028]本技术中，如图3中所示，磁块2包括磁块本体21及设于磁块本体21上的安装螺柱22。固定块3上设有穿过安装螺柱22的螺柱孔32。固定块3沿垂直磁块2长度方向安装，中部通过安装螺柱将磁块2定位紧固至固定块3上，两端通过安装螺栓将固定块3定位安装至靶座1上，实现稳定安装。
[0029]本技术中，磁块本体21的两端和中部均设有上下间隔布置的两个安装螺柱22。如图4中所示，固定块3上设有与安装螺柱22对应设置的螺柱孔32，安装时，将螺柱穿过对应的螺柱孔，并将螺母紧固安装至安装螺柱22上实现稳定安装。
[0030]因该过程是通过磁场进行控制，将靶座与磁场分离，使用螺丝连接将磁场磁块固定在靶座上，即将整体进行分离，使得磁场能够通过螺丝进行拆卸调整，此过程能够在0.5h内完成，避免开箱进行处理，节省调整时间。
[0031]本技术这种平面靶磁场安装结构，将磁块2的安装螺柱22从固定块3中间的螺柱孔32穿过用螺母进行上下固定，然后将固定好的固定块3上面的第二螺栓安装孔33和靶座1上的的第一螺栓安装孔1对齐用螺栓固定即可完成安装。每次调整磁场时只需要将固定
块与靶座1连接的固定螺栓拆掉，即可抬下磁块进行调整。
[0032]本专利技术提供的方法有效解决了调整ITO平面靶磁场所用的时间较长的问题、提高产品品质、减少品质异常产生；关键点为分离ITO平面靶磁场与靶座，保护点为分离ITO平面靶磁场与靶座改变其连接方式，使一体成型密不可分变成可连可分、灵活多变。
[0033]本技术平面靶磁场安装结构，结构简单，方便安装及更换磁场块，提高生产效率，具有较强的实用性和较好的应用前景。
[0034]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0035]上面结合附图对本技术进行了示例性描述，但是本技术并不受限于上述方式，只要采用本技术的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进或直接应用于其它场合的，均落在本技术的保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平面靶磁场安装结构，其特征在于：包括固定在镀膜机上的靶座，所述靶座上设有磁块，所述磁块上设有将其固定连接至所述靶座上的固定块，所述固定块可拆卸的连接在所述靶座上。2.按照权利要求1所述的平面靶磁场安装结构，其特征在于：在所述磁块长度方向上设有间隔布置的多个所述固定块。3.按照权利要求1所述的平面靶磁场安装结构，其特征在于：所述靶座上设有安装放置所述磁块的安装槽。4.按照权利要求3所述的平面靶磁场安装结构，其特征在于：所述靶座上位于所述安装槽两侧设有第一螺栓安装孔。5.按照权利要求4所述的平面靶磁场安装结构，其特征在于：所述固定块...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕如军，朱常青，胡军，张学友，
申请(专利权)人：芜湖长信科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：