本发明专利技术公开了一种磁控溅射靶电极连接装置，包括上绝缘座、下绝缘座、电极板、接地片、接地座、接地销和弹性件，上绝缘座安装于下绝缘座上，上绝缘座与下绝缘座之间设有线孔，电极板安装于下绝缘座上，其一端与射频同轴电缆的功率线相连，另一端则安装在磁控溅射靶的靶材上，接地片的一端固定于上绝缘座上且与射频同轴电缆的地线相连，另一端则与接地座相连；下绝缘座和电极板上设置有同轴布置的通孔，接地销的一端依次穿过下绝缘座和电极板上的通孔后与接地座的一端相连，接地销与电极板的通孔之间绝缘；弹性件的一端与接地座的另一端相抵，另一端则与磁控溅射靶的绝缘主体相抵。本发明专利技术具有结构简单、确保电极连接安全可靠等优点。点。点。
【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射靶电极连接装置
[0001]本专利技术主要涉及磁控溅射
，具体涉及一种磁控溅射靶电极连接装置。
技术介绍
[0002]磁控溅射沉积的膜层附着力强，膜层致密，厚度和均匀性可控，在半导体和泛半导体领域均得到了广泛的应用。通常磁控溅射靶的功率电极采用射频同轴电缆直接从溅射电源连接到溅射靶上，采用螺钉紧固到靶材背板或者与靶材同电位的其他金属座上，地线则单独接在溅射靶阳极电位上。这种连接方式将电源和溅射靶的阴极靶材直接联通，若溅射靶处于维护或者其他状态，电源上电可能造成短路或者其他损伤，严重时更有可能伤人。
技术实现思路
[0003]本专利技术要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的问题，本专利技术提供一种确保电极连接安全可靠的磁控溅射靶电极连接装置。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术提出的技术方案为：
[0005]一种磁控溅射靶电极连接装置，包括上绝缘座、下绝缘座、电极板、接地片、接地座、接地销和弹性件，所述上绝缘座安装于所述下绝缘座上，所述上绝缘座与下绝缘座之间设有容纳射频同轴电缆穿过的线孔，所述电极板安装于所述下绝缘座上，其一端与射频同轴电缆的中心功率线相连，另一端则安装在磁控溅射靶的靶材上，所述接地片的一端固定于上绝缘座上且与射频同轴电缆的地线相连，另一端则与接地座相连；所述下绝缘座和电极板上设置有同轴布置的通孔，所述接地销的一端依次穿过下绝缘座和电极板上的通孔后与所述接地座的一端相连，所述接地销与电极板的通孔之间绝缘；所述弹性件的一端与所述接地座的另一端相抵，另一端则与磁控溅射靶的绝缘主体相抵。
[0006]作为上述技术方案的进一步改进：
[0007]所述弹性件为弹簧，所述弹簧的一端套设在接地座的接地柱上，另一端位于绝缘主体的安装孔内。
[0008]所述所述下绝缘座和电极板上的通孔内设置有绝缘套，所述接地销穿过所述绝缘套以实现与电极板之间的绝缘；所述接地销、绝缘套、接地座和弹簧同轴安装。
[0009]所述绝缘主体上设置有台阶孔，所述台阶孔内设置有安装螺杆，所述安装螺杆的一端穿过所述台阶孔与电极板螺纹连接，所述安装螺杆的另一端则卡设于台阶孔的台阶上。
[0010]所述上绝缘座和下绝缘座的内侧均设置一个缺口，所述上绝缘座与下绝缘座之间的缺口相互组合形成夹紧所述射频同轴电缆的线孔。
[0011]所述电极板、接地座和接地片均为黄铜或紫铜。
[0012]所述接地片的一端通过接地块紧固于上绝缘座上，所述接地块镶嵌在上绝缘座的对应凹槽内，与射频同轴电缆的地线相连。
[0013]磁控溅射工艺腔体的法兰上设有顶销，用于与接地销相抵以实现接地座与电极板
之间的接触与分离。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的优点在于：
[0015]本专利技术的电极连接装置，采用弹性件给接地座一个弹力，将接地座贴紧电极板，此时接地片和电极板相对短路导通；在磁控溅射靶正确安装到工艺位置时，在工位对应位置的顶销将接地销顶起，接地座(接地片)与电极板脱离，此时电源才能正常启动，确保电极连接安全可靠，从而实现集成电路磁控溅射靶安全可靠的电极引入，提高设备安全性。另外，上述电极板一端与下绝缘座的内侧固定连接，位于上下绝缘座以及绝缘主体之间，仅只有与靶材背板连接的位置外露，确保不会造成人员误碰电极板或者其他零部件碰触电极板而引发事故或故障。
附图说明
[0016]图1为本专利技术的连接装置在实施例的立体结构图。
[0017]图2为本专利技术的连接装置在实施例的剖视结构图(溅射靶未处于工艺位置)。
[0018]图3为本专利技术的连接装置在实施例的剖视结构图(溅射靶处于工艺位置)。
[0019]图例说明：1、上绝缘座；2、下绝缘座；3、电极板；4、接地销；5、接地座；6、绝缘套；7、接地片；8、接地块；9、弹性件；10、线孔；11、安装螺杆；12、顶销；13、靶材；14、绝缘主体。
具体实施方式
[0020]以下结合说明书附图和具体实施例对本专利技术作进一步描述。
[0021]如图1～3所示，本专利技术实施例的磁控溅射靶电极连接装置，包括上绝缘座1、下绝缘座2、电极板3、接地片7、接地座5、接地销4和弹性件9，上绝缘座1安装于下绝缘座2上，上绝缘座1与下绝缘座2之间设有容纳射频同轴电缆穿过的线孔10，电极板3安装于下绝缘座2的内侧，其一端与射频同轴电缆的中心功率线相连，另一端则安装在磁控溅射靶的靶材13上，接地片7的一端固定于上绝缘座1的外侧且与射频同轴电缆的地线相连，另一端则与接地座5相连；下绝缘座2和电极板3上设置有同轴布置的通孔，接地销4的一端依次穿过下绝缘座2和电极板3上的通孔后与接地座5的一端相连，接地销4与电极板3的通孔之间绝缘布置；弹性件9的一端与接地座5的另一端相抵，另一端则与磁控溅射靶的绝缘主体14相抵。
[0022]集成电路PVD设备磁控溅射靶一般上置，自上向下溅射，利用一套翻转机构可以将磁控溅射靶翻转开启，方便靶材13更换及工艺腔体内的保养维护。针对集成电路磁控溅射靶的电极连接需要，本专利技术的电极连接装置，采用弹性件9给接地座5一个弹力，将接地座5贴紧电极板3，此时接地片7和电极板3相对短路导通；在磁控溅射靶正确安装到工艺位置时，在工位对应位置的顶销12将接地销4顶起，接地座5(接地片7)与电极板3脱离，此时电源才能正常启动，确保电极连接安全可靠，从而实现集成电路磁控溅射靶安全可靠的电极引入，提高设备安全性；上述整体结构且易于实现。
[0023]另外，上述电极板3一端与下绝缘座2的内侧固定连接，位于上下绝缘座2以及绝缘主体14之间，仅只有与靶材13连接的位置外露，确保不会造成人员误碰电极板3或者其他零部件碰触电极板3而引发事故或故障。
[0024]在一具体实施例中，弹性件9为弹簧，弹簧的一端套设在接地座5的接地柱上，另一端位于绝缘主体14的安装孔内；其中下绝缘座2和电极板3上的通孔内设置有绝缘套6，接地
销4穿过绝缘套6以实现与电极板3之间的绝缘；接地销4、绝缘套6、接地座5和弹簧同轴安装，结构简单且易于实现。
[0025]在一具体实施例中，绝缘主体14上设置有台阶孔，台阶孔内设置有安装螺杆11，安装螺杆11的一端穿过台阶孔与电极板3螺纹连接，安装螺杆11的另一端则卡设于台阶孔的台阶上。上述安装螺杆11用于将整体电极连接装置定位安装于磁控溅射靶的绝缘主体14上，整体结构可以延安装螺杆11轴向上下活动一定距离，保证在靶材13拆卸后，电极连接装置不会掉落。
[0026]在一具体实施例中，上绝缘座1和下绝缘座2的内侧均设置一个90度的缺口，上绝缘座1与下绝缘座2之间的缺口相互组合形成夹紧射频同轴电缆的矩形线孔10，矩形线孔10尺寸与射频同轴电缆匹配，保证通过的同时还能起到夹紧作用，避免电缆中心功率线受力。
[0027]在一具体实施例中，电极板3、接地座5和接地片7均为高电导率材料，如黄铜或紫铜等。接地片7的一端通过接地块8紧固于上绝缘座1上，接地块8镶嵌在上绝缘本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射靶电极连接装置，其特征在于，包括上绝缘座(1)、下绝缘座(2)、电极板(3)、接地片(7)、接地座(5)、接地销(4)和弹性件(9)，所述上绝缘座(1)安装于所述下绝缘座(2)上，所述上绝缘座(1)与下绝缘座(2)之间设有容纳射频同轴电缆穿过的线孔(10)，所述电极板(3)安装于所述下绝缘座(2)上，其一端与射频同轴电缆的中心功率线相连，另一端则安装在磁控溅射靶的靶材(13)上，所述接地片(7)的一端固定于上绝缘座(1)上且与射频同轴电缆的地线相连，另一端则与接地座(5)相连；所述下绝缘座(2)和电极板(3)上设置有同轴布置的通孔，所述接地销(4)的一端依次穿过下绝缘座(2)和电极板(3)上的通孔后与所述接地座(5)的一端相连，所述接地销(4)与电极板(3)的通孔之间绝缘；所述弹性件(9)的一端与所述接地座(5)的另一端相抵，另一端则与磁控溅射靶的绝缘主体(14)相抵。2.根据权利要求1所述的磁控溅射靶电极连接装置，其特征在于，所述弹性件(9)为弹簧，所述弹簧的一端套设在接地座(5)的接地柱上，另一端位于绝缘主体(14)的安装孔内。3.根据权利要求2所述的磁控溅射靶电极连接装置，其特征在于，所述所述下绝缘座(2)和电极板(3)上的通孔内设置有绝缘套(6)，所述接地销(4)穿过...
【专利技术属性】
技术研发人员：佘鹏程，刘杰，何秋福，陈佐明，李明，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：发明
国别省市：
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