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本发明公开了一种磁控溅射靶电极连接装置，包括上绝缘座、下绝缘座、电极板、接地片、接地座、接地销和弹性件，上绝缘座安装于下绝缘座上，上绝缘座与下绝缘座之间设有线孔，电极板安装于下绝缘座上，其一端与射频同轴电缆的功率线相连，另一端则安装在磁控溅...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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