一种便于操作的涂胶机及其操作方法技术

本发明专利技术公开了一种便于操作的涂胶机及其操作方法，包括：转盘、胶体滴管、挡圈装置、连接滑动装置、滑动滤刷装置、集液导流装置、高强度风机和胶体回收装置，其中，胶体滴管设于转盘的上方；挡圈装置环绕转盘设置；连接滑动装置设于挡圈装置的内壁的一侧上；滑动滤刷装置呈环状；集液导流装置和挡圈装置的下端连接，集液导流装置设于挡圈装置的另一侧；高强度风机设于挡圈装置的下方，高强度风机设于挡圈装置的一侧；胶体回收装置设于集液导流装置的下方。本发明专利技术可以有效的阻挡胶体的飞溅，并刮下粘在围挡装置上的胶体并进行回收。本发明专利技术全自动操作，并且围挡装置可拆卸便于清理。并且围挡装置可拆卸便于清理。并且围挡装置可拆卸便于清理。

【技术实现步骤摘要】
一种便于操作的涂胶机及其操作方法


[0001]本专利技术涉及涂胶机的
，尤其涉及一种便于操作的涂胶机及其操作方法。

技术介绍

[0002]在半导体器件制造和先进封装工艺中，光刻工艺是指在基板上，如半导体晶圆上依次经过光刻胶涂敷、曝光、显影等处理，将光刻掩膜板(MASK)上设计好的图案转移到基板表面的膜层中的过程。光刻胶涂敷过程中，通过在基板表面涂敷光刻胶液并对所涂敷的光刻胶液进行加热处理形成光刻胶膜层，然后再通过曝光显影工艺在基板表面的光刻胶层中形成规定的图案结构。
[0003]在上述的光刻胶涂敷工艺中，一般都是将晶圆放入专门的涂胶机中，采用旋转涂胶法完成的。
[0004]然而胶体需要完整的包裹晶圆的上表面，所以胶体的量就很难拿捏，但是一般来讲会选择多使用一部分胶体，这样飞溅出去的胶体会污染机器内部的空间，所以目前急需一种可以方便收集废弃的胶体的装置。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种便于操作的涂胶机。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：
[0007]一种便于操作的涂胶机，其中，包括：
[0008]转盘，所述转盘呈圆盘状，所述转盘能够以所述转盘的轴线为轴转动；
[0009]胶体滴管，所述胶体滴管设于所述转盘的上方；
[0010]挡圈装置，所述挡圈装置呈圆环状，所述挡圈装置环绕所述转盘设置，所述挡圈装置和所述转盘之间存在第一间隙；
[0011]连接滑动装置，所述连接滑动装置设于所述挡圈装置的内壁的一侧上，所述连接滑动装置的一端设于所述挡圈装置内，所述连接滑动装置的另一端突出所述挡圈装置设置；
[0012]滑动滤刷装置，所述滑动滤刷装置呈环状，所述滑动滤刷装置设于所述挡圈装置和所述转盘之间，所述滑动滤刷装置和所述连接滑动装置滑动连接，所述滑动滤刷装置能够沿着所述连接滑动装置上下移动，所述滑动滤刷装置和所述挡圈装置相贴设置，所述滑动滤刷装置和所述转盘之间具有第二间隙；
[0013]集液导流装置，所述集液导流装置和所述挡圈装置的下端连接，所述集液导流装置设于所述挡圈装置的另一侧；
[0014]高强度风机，所述高强度风机设于所述挡圈装置的下方，所述高强度风机设于所述挡圈装置的一侧；
[0015]胶体回收装置，所述胶体回收装置设于所述集液导流装置的下方。
[0016]上述的便于操作的涂胶机，其中，所述滑动滤刷装置包括：刮液部和内环部，所述
刮液部与所述挡圈装置内圈相贴，所述内环部设于所述刮液部内，所述内环部和所述刮液部连接，所述内环部通过连杆和所述连接滑动装置连接。
[0017]上述的便于操作的涂胶机，其中，所述集液导流装置包括：挡板、两第一侧板和两第二侧板，所述挡板的上端面和所述挡圈的下端面连接，两所述第一侧板分别设于所述挡板的上端的两侧面上，两所述第一侧板和所述挡板之间具有第一夹角，两所述第二侧板分别设于所述挡板的下端的两侧面上，两所述第二侧板和所述挡板之间具有第二夹角。
[0018]上述的便于操作的涂胶机，其中，所述挡板包括：圆弧部和三角圆弧部，所述挡板的弧度和所述挡圈装置的弧度相同，所述圆弧部的上端面和所述挡圈装置的下端面连接，所述圆弧部的下端面和所述三角圆弧部的上端面连接，所述三角圆弧部的一角竖直向下设置，两所述第一侧板分别与所述圆弧部的两侧面连接，两所述第二侧板分别与所述三角圆弧部的两侧面连接。
[0019]上述的便于操作的涂胶机，其中，所述胶体回收装置包括：引入管道、收集设备和引出管道，所述引入管道的一端抵于所述集液导流装置的下端，所述引入导管的另一端与所述收集设备连接，所述收集设备的下端连接所述引出管道。
[0020]上述的便于操作的涂胶机，其中，所述高强度风机和所述挡圈装置之间具有第一距离。
[0021]上述的便于操作的涂胶机，其中，所述高强度风机的正对于所述集液导流装置面上开设有若干出风口。
[0022]上述的便于操作的涂胶机，其中，所述滑动滤刷装置和所述转盘之间具有第一距离。
[0023]上述的便于操作的涂胶机的操作方法，其中，包括：上述的便于操作的涂胶机，具体操作步骤如下：
[0024]步骤一：所述胶体滴管滴出胶体至所述转盘上的晶圆上，所述胶体滴管收起，所述转盘旋转将所述胶体在所述晶圆的上表面上铺平；
[0025]步骤二：所述挡圈装置至覆盖所述转盘和所述晶圆的位置，所述高强度风机开启；
[0026]步骤三：所述滑动滤刷装置沿所述连接滑动装置向下移动将挡圈装置内壁上的所述胶体刮落；
[0027]步骤四：同时所述高强度风机将所述胶体吹至所述集液导流装置，所述胶体沿所述集液导流装置进入所述胶体回收装置。
[0028]本专利技术由于采用了上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是：
[0029](1)本专利技术可以有效的阻挡胶体的飞溅，并刮下粘在围挡装置上的胶体并进行回收。
[0030](2)本专利技术全自动操作，并且围挡装置可拆卸便于清理。
附图说明
[0031]图1是本专利技术的便于操作的涂胶机的侧面的示意图。
[0032]图2是本专利技术的便于操作的涂胶机的第一方向的示意图。
[0033]图3是本专利技术的便于操作的涂胶机的第二方向的示意图。
[0034]图4是本专利技术的便于操作的涂胶机的正面的示意图。
[0035]附图中：1、转盘；2、挡圈装置；3、连接滑动装置；4、滑动滤刷装置；5、集液导流装置；51、第一侧板；52、第二侧板；6、引入管道；7、收集设备；8、引出管道；9、高强度风机；91、出风口；10、胶体滴管。
具体实施方式
[0036]下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，但不作为本专利技术的限定，图1是本专利技术的便于操作的涂胶机的侧面的示意图；图2是本专利技术的便于操作的涂胶机的第一方向的示意图；图3是本专利技术的便于操作的涂胶机的第二方向的示意图；图4是本专利技术的便于操作的涂胶机的正面的示意图，参见图1至图4所示，示出较佳实施例的一种便于操作的涂胶机，包括：转盘1、胶体滴管10、挡圈装置2、连接滑动装置3、滑动滤刷装置4、集液导流装置5、高强度风机9和胶体回收装置，其中，转盘1呈圆盘状，转盘1能够以转盘1的轴线为轴转动；胶体滴管10设于转盘1的上方；挡圈装置2呈圆环状，挡圈装置2环绕转盘1设置，挡圈装置2和转盘1之间存在第一间隙；连接滑动装置3设于挡圈装置2的内壁的一侧上，连接滑动装置3的一端设于挡圈装置2内，连接滑动装置3的另一端突出挡圈装置2设置；滑动滤刷装置4呈环状，滑动滤刷装置4设于挡圈装置2和转盘1之间，滑动滤刷装置4和连接滑动装置3滑动连接，滑动滤刷装置4能够沿着连接滑动装置3上下移动，滑动滤刷装置4和挡圈装置2相贴设置，滑动滤刷装置4和转盘1之间具有第二间隙；集液导流装置5和挡圈装置2的下端连接，集液导流装置5设于挡圈装置2的另一侧；高强度风机9设于挡圈装置2的下方，高强度风机9设于挡圈装置2的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于操作的涂胶机，其特征在于，包括：转盘，所述转盘呈圆盘状，所述转盘能够以所述转盘的轴线为轴转动；胶体滴管，所述胶体滴管设于所述转盘的上方；挡圈装置，所述挡圈装置呈圆环状，所述挡圈装置环绕所述转盘设置，所述挡圈装置和所述转盘之间存在第一间隙；连接滑动装置，所述连接滑动装置设于所述挡圈装置的内壁的一侧上，所述连接滑动装置的一端设于所述挡圈装置内，所述连接滑动装置的另一端突出所述挡圈装置设置；滑动滤刷装置，所述滑动滤刷装置呈环状，所述滑动滤刷装置设于所述挡圈装置和所述转盘之间，所述滑动滤刷装置和所述连接滑动装置滑动连接，所述滑动滤刷装置能够沿着所述连接滑动装置上下移动，所述滑动滤刷装置和所述挡圈装置相贴设置，所述滑动滤刷装置和所述转盘之间具有第二间隙；集液导流装置，所述集液导流装置和所述挡圈装置的下端连接，所述集液导流装置设于所述挡圈装置的另一侧；高强度风机，所述高强度风机设于所述挡圈装置的下方，所述高强度风机设于所述挡圈装置的一侧；胶体回收装置，所述胶体回收装置设于所述集液导流装置的下方。2.根据权利要求1中所述的便于操作的涂胶机，其特征在于，所述滑动滤刷装置包括：刮液部和内环部，所述刮液部与所述挡圈装置内圈相贴，所述内环部设于所述刮液部内，所述内环部和所述刮液部连接，所述内环部通过连杆和所述连接滑动装置连接。3.根据权利要求1中所述的便于操作的涂胶机，其特征在于，所述集液导流装置包括：挡板、两第一侧板和两第二侧板，所述挡板的上端面和所述挡圈的下端面连接，两所述第一侧板分别设于所述挡板的上端的两侧面上，两所述第一侧板和所述挡板之间具有第一夹角，两所述第二侧板分别设于所述挡板的下端的两侧面上，两所述第二侧板和所述挡...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟敏，
申请(专利权)人：上海图双精密装备有限公司，
类型：发明
国别省市：