【技术实现步骤摘要】
一种新型激光束修补机工作台
:
[0001]本技术属于掩模制版
,特别涉及一种新型激光束修补机工作台。
技术介绍
:
[0002]掩模是在一个石英基材上以铬膜所构成之集成电路设计图案,其目的为了将设计出的集成电路图案利用掩模投影微缩转移至晶圆上,在掩模生产制造过程中,缺陷修补是一道重要工序,尤其是当集成电路工艺发展到7纳米技术节点时,随着图形特征尺寸越来越小,图形复杂多样,对缺陷要求越来越严格,若掩模版上存在缺陷,经光刻等工艺流程处理,缺陷就被复刻到圆片上,最终造成集成电路开、短路异常,使芯片良率降低,如果不修补,报废处理,不但增加生产成本,而且影响产品交期。
技术实现思路
:
[0003]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种新型激光束修补机工作台,通过放置槽与L形限位条能够对不同型号的掩膜版进行限位,再通过底部设置的伺服电机对掩膜版进行微调,使显示图像更加清晰,提高精准性。
[0004]为了解决上述问题,本技术提供了一种技术方案:
[0005]一种新型激光束修补机工作台,包括放置平台,所述放置平台的顶部开设有放置槽,所述放置槽的四角均固定连接有三角支撑板,所述放置槽的底部固定连接有四个L形限位条,所述放置槽的底部位于四个L形限位条之间设有三个支撑顶针,所述放置槽的外部镂空。
[0006]作为本技术的一种优选技术方案,所述放置平台的底部设有三个伺服电机,所述伺服电机的输出端与支撑顶针螺纹连接。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案,所述放置平台的外部设有控制器, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型激光束修补机工作台,其特征在于,包括放置平台(1),所述放置平台(1)的顶部开设有放置槽(3),所述放置槽(3)的四角均固定连接有三角支撑板(4),所述放置槽(3)的底部固定连接有四个L形限位条(2),所述放置槽(3)的底部位于四个L形限位条(2)之间设有三个支撑顶针(5),所述放置槽(3)的外部镂空。2.根据权利要求1所述的一种新型...
【专利技术属性】
技术研发人员:华卫群,尤春,刘维维,薛文卿,
申请(专利权)人:无锡中微掩模电子有限公司,
类型:新型
国别省市:
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