一种石英锅专用的喷涂治具制造技术

本实用新型专利技术涉及石英锅加工领域，具体公开了一种石英锅专用的喷涂治具，包括石英锅套圈，所述石英锅套圈的下方设置有旋转底座，所述支撑柱的外侧位于所述旋转底座的上表面安装有限位导杆，所述限位导杆的外侧套接有升降套管，所述升降套管的内侧壁开设有卡板收纳槽，所述卡板收纳槽的内部安装有圆弧卡板，所述圆弧卡板与所述卡板收纳槽之间连接有弹簧，所述升降套管位于远离所述石英锅套圈的一侧安装有限位挡块。通过设置的石英锅套圈，在石英锅套圈的上表面开设的在锅底卡槽的棱边处均经过倒圆角处理，锅底卡槽的内部设置有扶圈，利用将石英锅放置在锅底卡槽的内部，在石英锅的自身的重力作用下会使得和锅底卡槽的卡接紧密。卡接紧密。卡接紧密。

【技术实现步骤摘要】
一种石英锅专用的喷涂治具


[0001]本技术涉及石英锅加工领域，具体是一种石英锅专用的喷涂治具。

技术介绍

[0002]石英锅是半导体部件加工用的工具，在当进行高温煅烧后，需要把石英上的涂层进行去除，重新喷砂后进行涂层喷涂，而石英属于易碎件，且产品较大，笨重，喷涂不易，喷涂是温度高达1500℃，且要求需要喷涂均匀，这就需要在转盘上进行，传统的治具固定模式容易造成固定处损伤且在转动的过程中，会出现石英锅在离心力的作用下转出治具的风险。

技术实现思路

[0003]针对现有的问题，本技术提供一种石英锅专用的喷涂治具，该装置组件配合使用可以有效的解决
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案：
[0005]一种石英锅专用的喷涂治具，包括石英锅套圈，所述石英锅套圈的下方设置有旋转底座，所述旋转底座与所述石英锅套圈之间安装有支撑柱，所述支撑柱的外侧位于所述旋转底座的上表面安装有限位导杆，所述限位导杆位于靠近所述石英锅套圈的侧面开设有调位卡槽，所述限位导杆的外侧套接有升降套管，所述升降套管的内侧壁开设有卡板收纳槽，所述卡板收纳槽的内部安装有圆弧卡板，所述圆弧卡板与所述卡板收纳槽之间连接有弹簧，所述升降套管位于远离所述石英锅套圈的一侧安装有限位挡块。
[0006]作为本技术再进一步的方案：所述石英锅套圈的上表面开设有锅底卡槽，所述旋转底座的下表面安装有紧固螺栓。
[0007]作为本技术再进一步的方案：所述限位挡块的下表面安装有缓冲垫层。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述升降套管与所述限位导杆滑动连接，所述圆弧卡板与所述调位卡槽卡接。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述锅底卡槽的棱边处均经过倒圆角处理，所述锅底卡槽的内部设置有扶圈，所述旋转底座通过所述紧固螺栓外接转动机构。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述缓冲垫层采用橡胶或是硅胶材质构件。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述圆弧卡板与所述弹簧弹性连接，所述限位挡块与所述升降套管固定连接。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、通过设置的石英锅套圈，在石英锅套圈的上表面开设的在锅底卡槽的棱边处均经过倒圆角处理，锅底卡槽的内部设置有扶圈，当对石英锅进行加工时，利用将石英锅放置在锅底卡槽的内部，在石英锅的自身的重力作用下会使得和锅底卡槽的卡接紧密。
[0014]2、在当控制升降套管在限位导杆的外侧转动时，会使得限位导杆的外侧壁对圆弧卡板施加朝向弹簧方向的压力，使得圆弧卡板收纳到卡板收纳槽的内部，方便将限位挡块
对石英锅的竖向限位作用，配合了石英锅套圈的横向的限位作用，可以在当旋转底座转动时，可以避免石英锅被离心力抛出。
附图说明
[0015]图1为一种石英锅专用的喷涂治具的结构示意图；
[0016]图2为一种石英锅专用的喷涂治具中限位导杆的结构示意图；
[0017]图3为一种石英锅专用的喷涂治具中升降套管的结构示意图；
[0018]图4为一种石英锅专用的喷涂治具中升降套管的剖视图。
[0019]图中：1、石英锅套圈；2、支撑柱；3、旋转底座；4、紧固螺栓；5、限位导杆；6、升降套管；7、锅底卡槽；8、限位挡块；501、调位卡槽；601、圆弧卡板；602、卡板收纳槽；603、弹簧；801、缓冲垫层。
具体实施方式
[0020]下面结合具体技术对本技术进一步进行描述。
[0021]如图1
‑
4所示，在本实施例中，结合图1至图4说明本实施方式，本实施方式提供了一种石英锅专用的喷涂治具，包括石英锅套圈1，在石英锅套圈 1的上表面开设有锅底卡槽7，在锅底卡槽7的棱边处均经过倒圆角处理，锅底卡槽7的内部设置有扶圈，当对石英锅进行加工时，利用将石英锅放置在锅底卡槽7的内部，在石英锅的自身的重力作用下会使得和锅底卡槽7的卡接紧密，石英锅套圈1的下方设置有旋转底座3，旋转底座3与石英锅套圈1 之间安装有支撑柱2，旋转底座3的下表面安装有紧固螺栓4，在进行使用时利用将紧固螺栓4外接转动机构，来控制石英锅套圈1整体带动石英锅进行转动，方便对石英上的涂层进行去除，重新喷砂后进行涂层喷涂，支撑柱2 的外侧位于旋转底座3的上表面安装有限位导杆5，限位导杆5的外侧套接有升降套管6，在升降套管6的一侧安装有限位挡块8，升降套管6与限位导杆 5活动连接，在利用将石英锅放置在锅底卡槽7的内部后，利用控制升降套管 6在限位导杆5的上方进行位置的调节，从而可以实现限位挡块8对石英锅的上端的位置限位作用，在限位挡块8的下表面安装有缓冲垫层801，在当缓冲垫层801卡接在石英锅的端部时可以防止压力过大会使得使得石英锅受损，限位导杆5位于靠近石英锅套圈1的侧面开设有调位卡槽501，升降套管6的内侧壁开设有卡板收纳槽602，卡板收纳槽602的内部安装有圆弧卡板601，圆弧卡板601可以在卡接在调位卡槽501的内部，升降套管6可以整体在限位导杆5的外侧进行转动，在转动的过程中会使得圆弧卡板601调节在不同位置的调位卡槽501进行连接，来使得对升降套管6整体的限位，圆弧卡板 601与卡板收纳槽602之间连接有弹簧603，在当控制升降套管6在限位导杆 5的外侧转动时，会使得限位导杆5的外侧壁对圆弧卡板601施加朝向弹簧 603方向的压力，使得圆弧卡板601收纳到卡板收纳槽602的内部，方便将限位挡块8对石英锅的限位作用。
[0022]本技术的工作原理是：在进行使用时，利用将石英锅放置在锅底卡槽7的内部，在石英锅的自身的重力作用下会使得和锅底卡槽7的卡接紧密，再利用控制升降套管6在限位导杆5的外侧转动，使得限位导杆5的外侧壁对圆弧卡板601施加朝向弹簧603方向的压力，使得圆弧卡板601收纳到卡板收纳槽602的内部，来调节升降套管6整体在限位导杆5的上方的位置进行调节，方便将限位挡块8对石英锅的限位作用，在限位挡块8的下表面安
装有缓冲垫层801，在当缓冲垫层801卡接在石英锅的端部时可以防止压力过大会使得使得石英锅受损，在进行使用时利用将紧固螺栓4外接转动机构，来控制石英锅套圈1整体带动石英锅进行转动，方便对石英上的涂层进行去除，重新喷砂后进行涂层喷涂。
[0023]以上所述的，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英锅专用的喷涂治具，包括石英锅套圈(1)，其特征在于，所述石英锅套圈(1)的下方设置有旋转底座(3)，所述旋转底座(3)与所述石英锅套圈(1)之间安装有支撑柱(2)，所述支撑柱(2)的外侧位于所述旋转底座(3)的上表面安装有限位导杆(5)，所述限位导杆(5)位于靠近所述石英锅套圈(1)的侧面开设有调位卡槽(501)，所述限位导杆(5)的外侧套接有升降套管(6)，所述升降套管(6)的内侧壁开设有卡板收纳槽(602)，所述卡板收纳槽(602)的内部安装有圆弧卡板(601)，所述圆弧卡板(601)与所述卡板收纳槽(602)之间连接有弹簧(603)，所述升降套管(6)位于远离所述石英锅套圈(1)的一侧安装有限位挡块(8)。2.根据权利要求1所述的一种石英锅专用的喷涂治具，其特征在于，所述石英锅套圈(1)的上表面开设有锅底卡槽(7)，所述旋转底座(3)的下表面安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：许杰，
申请(专利权)人：合肥升滕半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：