多位一体阀及机组制造技术

本实用新型专利技术提供一种多位一体阀及机组，涉及阀门技术领域，以在一定程度上解决现有技术中存在的缺少一款相适应的阀门组件，以配合多个组合分子泵工作的技术问题。本实用新型专利技术提供的多位一体阀，包括阀体，阀体形成有相连通的进气口以及抽气腔；抽气腔内设置有至少一个分隔构件，至少一个分隔构件沿着抽气腔的长度方向将抽气腔分隔为至少两个抽气腔室；阀体的与至少两个抽气腔室中的任一抽气腔室相对应的部位形成有出气口。部位形成有出气口。部位形成有出气口。

【技术实现步骤摘要】
多位一体阀及机组


[0001]本申请涉及阀门
，尤其是涉及一种多位一体阀及机组。

技术介绍

[0002]目前，在真空镀膜的工艺中，尤其当采用多个分子泵组合对真空室抽真空时，缺少一款相适应的阀门组件，以配合上述的多个组合分子泵工作。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种多位一体阀及机组，以在一定程度上解决现有技术中存在的缺少一款相适应的阀门组件，以配合上述的多个组合分子泵工作的技术问题。
[0004]本申请提供的多位一体阀，包括阀体，所述阀体形成有相连通的进气口以及抽气腔；所述抽气腔内设置有至少一个分隔构件，至少一个所述分隔构件将所述抽气腔分隔为至少两个抽气腔室；所述阀体的与至少两个所述抽气腔室中的任一所述抽气腔室相对应的部位形成有出气口。
[0005]其中，所述阀体还形成有与多个所述抽气腔室相连通的粗抽接口。
[0006]具体地，任一所述抽气腔室配设有阀杆机构，所述阀杆机构包括驱动组件、阀杆以及封盖构件；所述驱动组件设置于所述阀体的外部，所述阀杆以及所述封盖构件均设置于所述抽气腔室内；所述阀杆的一端与所述驱动组件相连接，所述驱动组件用于驱动所述阀杆沿着所述阀体的高度方向运动，所述阀杆的相对的另一端与所述封盖构件相连接，所述封盖构件用开启或者关闭所述抽气腔室的出气口；所述阀杆与所述封盖构件相连接处形成有沿着所述阀杆的长度方向的装配余量，用于使得所述封盖构件与所述阀杆活动连接。
[0007]进一步地，所述封盖构件形成有安装槽；所述阀杆包括相连接的杆主体以及安装头部，所述阀杆的安装头部插设于所述封盖构件的安装槽内；所述阀杆机构还包括压设构件，所述压设构件套设于所述杆主体，并且所述压设构件与所述封盖构件可拆卸连接；所述压设构件压设于所述安装槽的开口端，用于将所述阀杆的安装头部封盖于所述安装槽内；所述安装头部与所述压设构件沿着所述阀杆的长度方向存在活动空间。
[0008]更近一步地，所述压设构件与所述封盖构件通过紧固构件相连接；和/或所述阀杆的安装头部与所述封盖构件的安装槽的底壁之间设置有垫设构件。
[0009]其中，所述抽气腔室的与其出气口相对的顶端部设置有顶端口以及用于封盖所述顶端部的顶端封盖构件；所述阀杆机构还包括安装法兰以及密封座，所述驱动组件通过所述安装法兰安装于所述顶端封盖构件；所述阀杆依次穿过所述顶端封盖构件以及所述安装法兰与所述驱动组件相连接，且所述阀杆与所述顶端封盖构件之间设置有所述密封座，所述密封座与所述阀杆之间设置有滑动密封组件。
[0010]具体地，所述滑动密封组件包括滑动密封构件和承载构件，所述滑动密封构件设置于所述承载构件内；所述密封座形成有安装通道以及与所述安装通道相连通的安装腔，所述阀杆穿设于所述安装通道内，且所述承载构件设置于所述安装腔内；所述阀杆机构还
包括压盖，所述压盖包括相连接的安装部以及插设部，所述密封座的一端形成有安装槽，所述安装部设置于所述安装槽内且与所述密封座相连接，所述插设部插设于所述安装腔内，用于压设所述承载构件。
[0011]进一步地，所述密封座与所述顶端封盖构件之间设置有静密封构件。
[0012]与现有技术相比，本申请的有益效果为：
[0013]本申请提供的多位一体阀中，利用至少一个分隔构件将抽气腔分隔为多个抽气腔室，使得各抽气腔室可分别配合对应的分子泵工作，而且分隔构件能够阻挡住主气流的流动路径，使得各抽气腔室彼此不影响，从而达到理想的抽真空效果，而且避免增加参与工作的分子泵的负担，节约能源。
[0014]此外，本申请还提供一种机组，包括粗抽机构、维持机构以及上述的多位一体阀；所述粗抽机构的进气端与所述粗抽接口相连通，所述维持机构的进气端与所述出气口相连通。
[0015]其中，所述粗抽机构包括第一直联泵、罗茨泵、过滤器以及第一连接管组，所述第一直联泵、所述罗茨泵以及所述过滤器通过第一连接管组依次连接，且所述过滤器的进口端通过所述第一连接管组与所述粗抽接口相连通,所述第一连接管组上分布有多个第一监测件，以监测所述第一连接管组内的真空度；所述维持机构包括第二直联泵、第二连接管组以及分子泵，所述第二直联泵通过第二连接管组与所述分子泵相连通，所述分子泵与所述出气口相连通，所述第二连接管组上分布有多个第二监测件，以监测所述第二连接管组内的真空度。
[0016]采用本申请提供的多位一体阀，并结合机组中的粗抽机构和维持机构，使粗抽机构与多位一体阀的粗抽接口相连通，维持机构与多位一体阀的出气口相连通，由于本申请中的多位一体阀通过分隔构件分隔出多个抽气腔室，因此，当需要进行粗抽作业时，将粗抽机构开启，粗抽机构通过多位一体阀将需要抽真空的腔室内的气体抽出。
[0017]当腔室内真空度达到要求后，粗抽机构停止作业，而在粗抽机构停止后，由于腔室在作业过程中真空度会在一定程度上产生变化，因此，为保证腔室内的真空度始终保持稳定，本申请通过与出气口相连通的维持机构，当粗抽机构停止作业后，即可持续开启或间歇式开启维持机构，以实现腔室内的真空度的稳定。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本申请实施例提供的多位一体阀的结构示意图；
[0020]图2为本申请实施例提供的多位一体阀的又一结构示意图；
[0021]图3为本申请实施例提供的多位一体阀的剖视图；
[0022]图4为图3提供的多位一体阀在A处的放大结构示意图；
[0023]图5为图3提供的多位一体阀在B处的放大结构示意图；
[0024]图6为本申请实施例提供的机组的结构示意图。
[0025]图中：1
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阀体；101
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进气口；102
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抽气腔室；103
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出气口；104
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粗抽接口；2
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分隔构件；3
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驱动组件；4
‑
阀杆；401
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杆主体；402
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安装头部；5
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封盖构件；6
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压设构件；7
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活动空间；8
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紧固构件；9
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顶端封盖构件；10
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安装法兰；11
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密封座；12
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承载构件；13
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滑动密封组件；14
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静密封构件；15
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压盖；1501
‑
安装部；1502
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插设部；16
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垫设构件；17
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第一直联泵；18
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多位一体阀，其特征在于，包括阀体，所述阀体形成有相连通的进气口以及抽气腔；所述抽气腔内设置有至少一个分隔构件，至少一个所述分隔构件将所述抽气腔分隔为至少两个抽气腔室；所述阀体的与至少两个所述抽气腔室中的任一所述抽气腔室相对应的部位形成有出气口。2.根据权利要求1所述的多位一体阀，其特征在于，所述阀体还形成有与多个所述抽气腔室相连通的粗抽接口。3.根据权利要求2所述的多位一体阀，其特征在于，任一所述抽气腔室配设有阀杆机构，所述阀杆机构包括驱动组件、阀杆以及封盖构件；所述驱动组件设置于所述阀体的外部，所述阀杆以及所述封盖构件均设置于所述抽气腔室内；所述阀杆的一端与所述驱动组件相连接，所述驱动组件用于驱动所述阀杆沿着所述阀体的高度方向运动，所述阀杆的相对的另一端与所述封盖构件相连接，所述封盖构件用开启或者关闭所述抽气腔室的出气口；所述阀杆与所述封盖构件相连接处形成有沿着所述阀杆的长度方向的装配余量，用于使得所述封盖构件与所述阀杆活动连接。4.根据权利要求3所述的多位一体阀，其特征在于，所述封盖构件形成有安装槽；所述阀杆包括相连接的杆主体以及安装头部，所述阀杆的安装头部插设于所述封盖构件的安装槽内；所述阀杆机构还包括压设构件，所述压设构件套设于所述杆主体，并且所述压设构件与所述封盖构件可拆卸连接；所述压设构件压设于所述安装槽的开口端，用于将所述阀杆的安装头部封盖于所述安装槽内；所述安装头部与所述压设构件沿着所述阀杆的长度方向存在活动空间。5.根据权利要求4所述的多位一体阀，其特征在于，所述压设构件与所述封盖构件通过紧固构件相连接；和/或所述阀杆的安装头部与所述封盖构件的安装槽的底壁之间设置有垫设构件。6.根据权利要求3所述的多位一体阀，其特征在于，所述抽气腔室的与其出气口相对的顶端部设置有顶端口以及用于封盖所述顶端部的顶端封...

【专利技术属性】
技术研发人员：王君，闫超颖，依君，梁惠朋，
申请(专利权)人：沈阳爱科斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：