晶粒筛选器、筛选清洗机构及设备制造技术

晶粒筛选器、筛选清洗机构及设备，属于半导体技术领域。包括筛选器筒体以及多层筛盘，多层筛盘由上而下平行布置于筛选器筒体内腔，且多层筛盘的网眼孔径由上自下依次变小。本实用新型专利技术可解决通过人工肉眼和显微镜来区分混料的问题，能够快速区分不同规格尺寸的晶粒，操作简便，减少生产成本，同时还具有芯片晶粒清洗功能。本实用新型专利技术可将晶粒的筛选和清洗相结合，省时省力，提高了工作效率。提高了工作效率。提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
晶粒筛选器、筛选清洗机构及设备


[0001]本技术涉及晶粒筛选器、筛选清洗机构及设备，属于半导体


技术介绍

[0002]现半导体行业中，芯片晶粒产出后，在生产作业过程中，时常发生不同规格尺寸产品混料的现象。目前，对于混料现象，需要通过人工肉眼或者显微镜将混料产品按照不同粒径区分出来并去除不合格的晶粒，这种操作效率很低，极大的占用了生产成本，浪费了人力资源。
[0003]另外，芯片晶粒产出操作过程对晶粒造成脏污需要清洗，目前的清洗器由于结构不匹配容易导致清洗效果不良。
[0004]技术
[0005]为了解决芯片晶粒生产过程中产生混料后导致员工难以区分的问题，本技术提供一种操作简便、工作效率高的晶粒筛选器、筛选清洗机构及设备。
[0006]本技术的技术方案如下：
[0007]本技术第一个目的是：
[0008]晶粒筛选器，其特征是，包括筛选器筒体以及多层筛盘，多层筛盘由上而下平行布置于筛选器筒体内腔，且多层筛盘的网眼孔径由上自下依次变小。
[0009]所述筛选器筒体的内壁设有若干组均匀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶粒筛选清洗设备，其特征是，包括晶粒筛选清洗机构以及旋转机构，通过旋转机构使晶粒筛选清洗机构发生摇摆，便于晶粒的筛选和清洗；所述晶粒筛选清洗机构包括晶粒筛选器以及用于盛放清洗液的容器，所述晶粒筛选器置于所述容器内；所述晶粒筛选器包括筛选器筒体以及多层筛盘，多层筛盘由上而下平行布置于筛选器筒体内腔，且多层筛盘的网眼孔径由上自下依次变小。2.根据权利要求1所述的晶粒筛选清洗设备，其特征是，所述旋转机构包括：底座，用于支撑所述晶粒筛选清洗机构；基座，用于支撑整个旋转机构；支架，设有两根，并相对布置，用于支撑底座；所述底座通过转轴与两根支架转动连接；驱动电机，安装于支架，驱动连接所述转轴，继而驱动整个底座旋转，以使晶粒筛选清洗机构摇摆。3.根据权利要求2所述的晶粒筛选清洗设备，其特征是，所述底座设有夹持结构，用于固定晶粒筛选清洗机构的容器。...

【专利技术属性】
技术研发人员：焦丹钧，钱林春，刘宗帅，王超，
申请(专利权)人：江苏汀普微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：