一种具有粉末钝化功能的射频等离子制粉装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种具有粉末钝化功能的射频等离子制粉装置，包括射频等离子制粉反应器、送粉装置、真空泵、粉末收集罐、收集过滤装置，所述射频等离子制粉反应器分别连接钝化气体输送装置、送粉装置、收集过滤装置；该装置能让射频等离子制粉系统长时间工作后反应室内壁产生的微粉安全钝化后正常清理，避免微粉粉尘爆炸的危险。粉尘爆炸的危险。粉尘爆炸的危险。

【技术实现步骤摘要】
一种具有粉末钝化功能的射频等离子制粉装置


[0001]本技术属于射频等离子制粉领域，尤其涉及一种具有粉末钝化功能的射频等离子制粉装置。

技术介绍

[0002]射频等离子是在高频高压电源作用下将气体电离产生6000 ~ 10000℃的等离子体。由于等离子体具有极高的温度，近年来射频等离子广泛用于金属、合金或难熔材料微粉的球化。
[0003]金属材料在等离子体6000~10000℃的高温作用下会发生气化，随后在冷却气体作用下形成纳米微粉沉积在反应室内壁，随着反应时间延长，反应室内壁沉积的微粉会越来越多。用射频等离子批量生产高纯粉末时，需要每个班次都对反应室内壁进行清洗，清洗时如果直接打开反应室，大量空气会进入到反应室，此时由于纳米级微粉活性极高，反应室内壁的纳米级微粉与空气中的氧气接触后会迅速反应，甚至导致发生爆炸的危险。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是：针对批量生产金属粉末，在班次交换清洗反应室内壁时，避免反应室内壁和空气接触后迅速反应引发爆炸。具体采用的技术方案是：
[0005]一种具有粉末钝化功能的射频等离子制粉装置，包括钝化气体输送装置、射频等离子制粉反应器、送粉装置、真空泵、粉末收集罐、收集过滤装置；所述钝化气体输送装置与射频等离子制粉反应器连接，可以向射频等离子反应器的反应室内输送压缩空气等钝化气体；所述射频等离子制粉反应器还分别连接送粉器、收集过滤装置、粉末收集罐；所述收集过滤装置连接真空泵；所述真空泵可以对射频等离子反应器的反应室进行抽气。
[0006]具体的，所述钝化气体输送装置与射频等离子反应器通过钝化气体管道连接，所述钝化气体管道上设置钝化气体球阀，用于控制钝化气体输送装置与射频等离子反应器的连通与闭合。
[0007]所述射频等离子制粉反应器和粉末收集罐之间还设置有收集罐球阀。
[0008]进一步的，所述射频等离子制粉反应器上还设置系统压力表，方便及时读取和控制反应器内压力。
[0009]进一步的，所述收集过滤装置下方也依次设置有一个收集罐球阀和粉末收集罐。
[0010]工作原理：本技术通过在射频等离子制粉反应器上设置钝化气体输送装置，将适量的钝化气体（如压缩空气或者氧气）分多次的通入反应室内，让反应器内壁微粉逐步钝化，重复循环多次，待微粉全部钝化后再打开反应器，对其内壁沉积的微粉进行正常清洗。由于钝化气体是在逐步适量充入射频等离子反应器内，避免了反应室内微粉的剧烈反应，而且将微粉反应限制在密闭的空间内，可以有效避免微粉爆炸的危险。
附图说明
[0011]图1为本技术结构示意图；
[0012]其中：1
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钝化气体输送装置、2
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钝化气体流量开关、3
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钝化气体管、4
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钝化气体球阀、5
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系统压力表、6
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纳米级微粉、7
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收集罐球阀、8
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粉末收集罐、9
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射频等离子制粉反应器、10
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真空泵、11
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送粉器、12
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收集过滤装置。
具体实施方式
[0013]以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。
[0014]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0015]结合附图1所示，一种具有粉末钝化功能的射频等离子制粉装置，包括钝化气体输送装置1、射频等离子制粉反应器9、送粉装置11、真空泵10、粉末收集罐8、收集过滤装置12；所述钝化气体输送装置1上设置有钝化气体流量开关2和钝化气体管道3，钝化气体管道3另一端连通射频等离子制粉反应器9；所述射频等离子制粉反应器9还分别连接送粉装置11、粉末收集罐8、收集过滤装置12；所述射频等离子制粉反应器9和粉末收集罐8之间还设置有收集罐球阀7；所述收集过滤装置12连接真空泵10。
[0016]所述钝化气体管道3上还设置有钝化气体球阀4。
[0017]所述射频等离子制粉反应器9上还设置系统压力表5，方便读取和控制射频等离子制粉反应器9的内部压力。
[0018]进一步的，所述收集过滤装置12下方依次设置有收集罐球阀7和粉末收集罐8。在对射频等离子反应器9进行抽气和充气等过程中，可能会有小部分金属粉末会随气流向真空泵10方向移动，通过收集过滤装置12，可以将该部分金属粉末收集起来。
[0019]具体工作步骤：
[0020]步骤一、一个班次生产完成后关闭送粉器11，熄灭等离子体，关闭射频等离子反应器上的收集罐球阀7，取下粉末收集罐8；
[0021]步骤二、打开真空泵10将反应室压力抽至85
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90kPa后关闭真空泵10，打开钝化气体球阀4、打开钝化气体输送装置1上钝化气体流量开关2向反应室内充入压缩空气使反应室内压力回到一个大气压，关闭钝化气体球阀4和钝化气体流量开关2，保压3
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5min；该步骤重复循环三次；
[0022]步骤三、打开射频等离子反应器9下方的收集罐球阀7后正常清洗反应室内壁的纳米级微粉6。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有粉末钝化功能的射频等离子制粉装置，其特征在于包括钝化气体输送装置、射频等离子制粉反应器、送粉装置、收集过滤装置、真空泵；所述射频等离子制粉反应器分别连接钝化气体输送装置、送粉装置、收集过滤装置；所述收集过滤装置还连接真空泵；所述钝化气体输送装置与所述射频等离子制粉反应器通过钝化气体管道连接，所述钝化气体管道上还设置了钝化气体球阀；所述射频等离子制粉反应器上还设置粉末收集罐，反应器与粉末收集罐之间设置球...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭若冰，韩刚，戚延龄，程兴德，韩启航，
申请(专利权)人：江苏集萃先进金属材料研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：