一种新型真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种新型真空镀膜机，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体的一侧设置有箱门，所述箱门的内部设置有观察窗，所述镀膜机本体的底部设置有底箱，所述底箱的底部设置有轮子，所述镀膜机本体的两侧分别设置有第一安装板与第二安装板，所述第一安装板与第二安装板远离镀膜机本体的一侧均设置有安装块。该新型真空镀膜机，通过第一安装板、第二安装板、丝杆、限位杆与工作电机的配合使用，使得该装置在使用的过程中，可通过电机带动丝杆转动，从而达到对镀膜机本体的高度进行调整的目的，并且该装置结构简单、设计合理，第一安装板、第二安装板与丝杆均便于安装和拆卸，从而使得该装置便于维修。从而使得该装置便于维修。从而使得该装置便于维修。

【技术实现步骤摘要】
一种新型真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种新型真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，真空镀膜机中工件架大都固定安装，不能够调节工件架之间的距离，不便于放置不同高度的工件，不能够调节真空镀膜机的高度，需要将真空镀膜机放置在支撑台上操作，不便于真空镀膜机的使用，因此市面上出现了一些设备改善了上述问题。
[0003]在中国专利CN215799872U中公开的一种便于调节高度的真空镀膜机，该便于调节高度的真空镀膜机，通过真空镀膜机、框体、固定板、横杆、套管、连接杆、电动伸缩杆、真空泵、加热器、竖杆、竖管、螺栓、工件架和箱门进行配合，具备便于调节工件架的高度，便于在工件架上放置不同高度的工件，便于调节真空镀膜机高度的优点，解决了真空镀膜机中工件架大都固定安装，不能够调节工件架之间的距离，不便于放置不同高度的工件，不能够本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型真空镀膜机，包括镀膜机本体(1)，其特征在于：所述镀膜机本体(1)的一侧设置有箱门(2)，所述箱门(2)的内部设置有观察窗(3)，所述镀膜机本体(1)的底部设置有底箱(4)，所述底箱(4)的底部设置有轮子(5)，所述镀膜机本体(1)的两侧分别设置有第一安装板(6)与第二安装板(7)，所述第一安装板(6)与第二安装板(7)远离镀膜机本体(1)的一侧均设置有安装块(8)，所述第二安装板(7)的内部开设有插槽(9)，所述插槽(9)的内部插接有限位杆(10)，所述第一安装板(6)的内部开设有螺纹槽(11)，所述螺纹槽(11)的内部螺纹连接有丝杆(12)，所述丝杆(12)的底部设置有连接杆(13)，所述连接杆(13)的底部设置有第一连接法兰(14)，所述底箱(4)的内部设置有工作电机(15)，所述工作电机(15)的输出端设置有输出轴(16)，所述输出轴(16)远离工作电机(15)的一端设置有第二连接法兰(17)。2.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜机，其特征在于：所述第一安装板...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，
申请(专利权)人：河南微纳半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：