一种硅片缺陷检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片缺陷检测装置，涉及硅片缺陷检测技术领域，包括检测台，所述检测台的顶部安装有固定框，且固定框的内部连接有直线电机，所述直线电机的外部安装有固定盒，且固定盒的内部安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端连接有连接块，且连接块的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部连接有安装块，且安装块的内部连接有螺栓，所述安装块的外部安装有放置板。本实用新型专利技术中，设置有放置板、伺服电机、检测台以及连接块，通过控制伺服电机就方便带动放置板进行旋转操作，这样就使得放置板上的硅片进行翻转工作，不需要人工手动对硅片进行翻转，降低了工作人员的工作量，提高了硅片缺陷检测效率。了硅片缺陷检测效率。了硅片缺陷检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片缺陷检测装置


[0001]本技术涉及硅片缺陷检测
，尤其涉及一种硅片缺陷检测装置。

技术介绍

[0002]随着半导体特征尺寸的不断减小，半导体行业对于小型硅片的表面缺陷要求越来越高；半导体行业不仅对硅片正面的缺陷要求越来越高，而且对硅片背面缺陷和边缘缺陷的要求也越来越苛刻，这些缺陷例如包括污点、刮痕以及硅片边缘的缺口等，这些缺陷通常由人为通过检测装置发现。
[0003]现有的硅片缺陷检测装置，在使用过程中，通常需要人工翻转对硅片的反面进行检测，增加了工作人员的工作量，降低了硅片缺陷检测效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有的硅片缺陷检测装置，在使用过程中，通常需要人工翻转对硅片的反面进行检测，增加了工作人员的工作量，降低了硅片缺陷检测效率的缺点，而提出的一种硅片缺陷检测装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种硅片缺陷检测装置，包括：
[0007]检测台，所述检测台的顶部安装有固定框，且固定框的内部连接有直线电机，所述直线电机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片缺陷检测装置，其特征在于，包括：检测台(1)，所述检测台(1)的顶部安装有固定框(2)，且固定框(2)的内部连接有直线电机(8)，所述直线电机(8)的外部安装有固定盒(3)，且固定盒(3)的内部安装有伺服电机(4)，所述伺服电机(4)的输出端连接有连接块(5)，且连接块(5)的内部开设有安装槽(12)，所述安装槽(12)的内部连接有安装块(13)，且安装块(13)的内部连接有螺栓(14)，所述安装块(13)的外部安装有放置板(6)。2.根据权利要求1所述的一种硅片缺陷检测装置，其特征在于：所述放置板(6)的内部安装有伸缩杆(10)，且伸缩杆(10)的外部与放置板(6)的内部设置有弹簧(11)，所述弹簧(11)的一侧与伸缩杆(10)的一侧安装有夹持块(7)，且夹持块(7)的外部连接有橡胶块(9)。3.根据权利要求2...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘燕玲，张晨曦，
申请(专利权)人：河南微纳半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：