温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种硅片缺陷检测装置，涉及硅片缺陷检测技术领域，包括检测台，所述检测台的顶部安装有固定框，且固定框的内部连接有直线电机，所述直线电机的外部安装有固定盒，且固定盒的内部安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端连接有连接块，且连接块...
该专利属于河南微纳半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南微纳半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。