一种新型掩膜版处理设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型掩膜版处理设备，涉及掩膜版加工技术领域，包括机体，所述机体的顶部安装有顶板，且顶板的内部开设有调节槽，所述调节槽的内部开设有螺孔，且调节槽的内部连接有调节块，所述调节块的内部与螺孔的内部连接有螺纹杆，且螺纹杆的一端安装有调节头，所述调节块的底部安装有固定板，且固定板的内部开设有滑槽。本实用新型专利技术中，设置有机体、顶板、打磨头、固定板、调节块、螺纹杆、调节头以及调节槽，通过操作调节块就方便带动打磨头进行移动操作，再通过操作调节头就方便带动螺纹杆进行旋转移动操作，这样就方便完成打磨头之间的间距调节工作，便于对不同类型(尺寸大小)的掩膜版进行四边打磨工作。的掩膜版进行四边打磨工作。的掩膜版进行四边打磨工作。

【技术实现步骤摘要】
一种新型掩膜版处理设备


[0001]本技术涉及掩膜版加工
，尤其涉及一种新型掩膜版处理设备。

技术介绍

[0002]芯片指的是将电路制造在半导体芯片表面上的集成电路又称薄膜集成电路，另有一种厚膜集成电路是由独立半导体设备和被动组件，集成到衬底或线路板所构成的小型化电路。现代计算、交流、制造和交通系统，包括互联网，全都依赖于集成电路的存在。在芯片制造里，掩膜版就是光罩，它可以被理解为包含芯片版图信息的胶片，经过曝光以后，掩膜版里的版图就被刻到了晶圆上，光掩膜基版是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版，掩膜版在生产加工过程中常常需要对其进行打磨处理。
[0003]现有的掩膜版处理设备，在使用过程中，由于打磨机构都是固定式的，使得处理设备大都只能对同一类型(尺寸大小)的掩膜版进行打磨，局限性较大。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有的掩膜版处理设备，在使用过程中，由于打磨机构都是固定式的，使得处理设备大都只能对同一类型(尺寸大小)的掩膜版进行打磨，局限性较大的缺点，而提出的一种新型掩膜版处理设备。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种新型掩膜版处理设备，包括：
[0007]机体，所述机体的顶部安装有顶板，且顶板的内部开设有调节槽，所述调节槽的内部开设有螺孔，且调节槽的内部连接有调节块，所述调节块的内部与螺孔的内部连接有螺纹杆，且螺纹杆的一端安装有调节头，所述调节块的底部安装有固定板，且固定板的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部安装有电动推杆，且电动推杆的末端连接有连接块，所述连接块的内部安装有调节板，且调节板的一侧安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端连接有第二旋转杆，且第二旋转杆的一侧活动安装有打磨头。
[0008]优选的，所述机体的内部开设有收集槽，且机体的底部安装有减速电机，所述减速电机的输出端连接有第一旋转杆，且第一旋转杆的顶部与收集槽的上方设置有支撑板，所述支撑板的顶部安装有强力吸盘。
[0009]优选的，所述强力吸盘与机体之间通过减速电机、第一旋转杆、支撑板构成旋转结构，且强力吸盘关于支撑板的纵轴对称。
[0010]优选的，所述打磨头与固定板之间通过驱动电机、第二旋转杆构成旋转结构，且打磨头分布有两组。
[0011]优选的，所述打磨头与机体之间通过电动推杆、调节板构成移动结构，且调节板的外壁与滑槽的内壁相接触。
[0012]优选的，所述固定板与顶板之间通过调节块、调节槽构成移动结构，且调节块的外
壁与调节槽的内壁相接触。
[0013]综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
[0014]1、本技术中，设置有机体、顶板、打磨头、固定板、调节块、螺纹杆、调节头以及调节槽，通过操作调节块就方便带动打磨头进行移动操作，再通过操作调节头就方便带动螺纹杆进行旋转移动操作，这样就方便完成打磨头之间的间距调节工作，便于对不同类型(尺寸大小)的掩膜版进行四边打磨工作。
[0015]2、本技术中，设置有减速电机、第一旋转杆、支撑板以及强力吸盘，通过控制减速电机就方便带动强力吸盘进行旋转操作，这样就方便进行掩膜版的调边工作，不需要通过人工进行调边，缩短了掩膜版的四边打磨时间，具有较高的实用性。
附图说明
[0016]图1为本技术中整体结构示意图；
[0017]图2为图1中A处放大结构示意图；
[0018]图3为本技术中固定板内部结构示意图。
[0019]图例说明：
[0020]1、机体；2、顶板；3、调节槽；4、调节块；5、调节头；6、螺纹杆；7、螺孔；8、固定板；9、支撑板；10、强力吸盘；11、第一旋转杆；12、减速电机；13、收集槽；14、驱动电机；15、调节板；16、第二旋转杆；17、打磨头；18、电动推杆；19、连接块；20、滑槽。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]参照图1
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3，一种新型掩膜版处理设备，包括机体1，机体1的顶部安装有顶板2，且顶板2的内部开设有调节槽3，调节槽3的内部开设有螺孔7，且调节槽3的内部连接有调节块4，调节块4的内部与螺孔7的内部连接有螺纹杆6，且螺纹杆6的一端安装有调节头5，调节块4的底部安装有固定板8，且固定板8的内部开设有滑槽20，固定板8与顶板2之间通过调节块4、调节槽3构成移动结构，且调节块4的外壁与调节槽3的内壁相接触，人工操作调节块4，调节块4通过调节槽3带动固定板8进行移动操作，固定板8又带动打磨头17进行移动，便于对不同尺寸大小的掩膜版进行打磨工作，滑槽20的内部安装有电动推杆18，且电动推杆18的末端连接有连接块19，连接块19的内部安装有调节板15，且调节板15的一侧安装有驱动电机14，驱动电机14的输出端连接有第二旋转杆16，且第二旋转杆16的一侧活动安装有打磨头17，打磨头17与固定板8之间通过驱动电机14、第二旋转杆16构成旋转结构，且打磨头17分布有两组，启动驱动电机14，驱动电机14通过第二旋转杆16带动打磨头17进行旋转操作，这样就方便对掩膜版的四边进行打磨，打磨头17与机体1之间通过电动推杆18、调节板15构成移动结构，且调节板15的外壁与滑槽20的内壁相接触，启动电动推杆18，电动推杆18通过调节板15带动打磨头17进行移动操作，打磨头17将在掩膜版的四边进行往返移动，便于对掩膜版进行打磨；
[0023]机体1的内部开设有收集槽13，且机体1的底部安装有减速电机12，减速电机12的输出端连接有第一旋转杆11，且第一旋转杆11的顶部与收集槽13的上方设置有支撑板9，支撑板9的顶部安装有强力吸盘10，强力吸盘10与机体1之间通过减速电机12、第一旋转杆11、支撑板9构成旋转结构，且强力吸盘10关于支撑板9的纵轴对称，启动减速电机12，减速电机12通过第一旋转杆11带动支撑板9进行旋转操作，支撑板9又带动强力吸盘10进行旋转，这样就方便完成掩膜版的角度调节工作，便于对掩膜版的四边进行打磨。
[0024]工作原理：使用时，首先人工操作调节块4，调节块4通过调节槽3带动固定板8进行移动操作，固定板8又带动打磨头17进行移动(左右移动)，能够对不同尺寸大小的掩膜版进行打磨工作，人工操作调节头5，调节头5使得螺纹杆6贯穿过固定板8并旋转移动至螺孔7内，这样就方便对固定板8进行限定工作，将掩膜版放置在支撑板9上并通过强力吸盘10进行固定，启动驱动电机14和电动推杆18，驱动电机14通过第二旋转杆16带动打磨头17进行旋转操作，电动推杆18通过调节板15带动打磨本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型掩膜版处理设备，其特征在于，包括：机体(1)，所述机体(1)的顶部安装有顶板(2)，且顶板(2)的内部开设有调节槽(3)，所述调节槽(3)的内部开设有螺孔(7)，且调节槽(3)的内部连接有调节块(4)，所述调节块(4)的内部与螺孔(7)的内部连接有螺纹杆(6)，且螺纹杆(6)的一端安装有调节头(5)，所述调节块(4)的底部安装有固定板(8)，且固定板(8)的内部开设有滑槽(20)，所述滑槽(20)的内部安装有电动推杆(18)，且电动推杆(18)的末端连接有连接块(19)，所述连接块(19)的内部安装有调节板(15)，且调节板(15)的一侧安装有驱动电机(14)，所述驱动电机(14)的输出端连接有第二旋转杆(16)，且第二旋转杆(16)的一侧活动安装有打磨头(17)。2.根据权利要求1所述的一种新型掩膜版处理设备，其特征在于：所述机体(1)的内部开设有收集槽(13)，且机体(1)的底部安装有减速电机(12)，所述减速电机(12)的输出端连接有第一旋转杆(11)，且第...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，
申请(专利权)人：河南微纳半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：