退火装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种退火装置，退火装置包括退火炉、加热管、进气管、旋转驱动机构以及至少两个支撑组件。其中退火炉设有退火腔以及与退火腔连通的上下料口。加热管与退火炉连接，加热管用于对退火腔加热。进气管设有与退火腔连通的出气口，进气管用于对退火腔通入退火工艺所需气体。旋转驱动机构具有旋转中心；至少两个支撑组件均设置在退火腔内，并且至少两个支撑组件围绕旋转中心间隔设置，支撑组件用于承载电池片，旋转驱动机构用于驱动支撑组件绕旋转中心转动。上述退火装置生产效率快，产量高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
退火装置


[0001]本技术涉及太阳能电池生产制造
，特别是涉及一种退火装置。

技术介绍

[0002]硅电池片在前道碱抛或者镀膜后均要进行退火处理，以使得电池片氧化形成致密的氧化膜或者使电池片进行晶化以及推进。因此，退火氧化以及结晶工艺在整个硅电池片制备过程中极为重要。
[0003]目前行业里的退火都是通过石英舟承载电池片，然后在炉管内进行通氧氧化或者高温晶化、推进。炉管每次对一个石英舟的电池片进行退火处理，每次退火工艺时间大概在2小时左右，要实现量产需要多台炉管同时工作，占用空间大且成本较高，且退火前需要通过自动化设备在石英舟上装夹电池片，退火完成后有需要将电池片从石英舟上卸载，生产效率低，产量难以提高。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要如何提高电池片生产效率问题，提供一种退火装置。
[0005]一方面，本申请提供一种退火装置，包括：
[0006]退火炉，所述退火炉设有退火腔以及与所述退火腔连通的上下料口；
[0007]加热管，所述加热管与所述退火炉连接，所述加热管用于对所述退火腔加热；
[0008]进气管，所述进气管设有与所述退火腔连通的出气口，所述进气管用于向所述退火腔通入退火工艺所需气体；
[0009]旋转驱动机构，所述旋转驱动机构具有旋转中心；以及，
[0010]至少两个支撑组件，所述至少两个支撑组件均设置在所述退火腔内，并且所述至少两个支撑组件围绕所述旋转中心间隔设置，所述支撑组件用于承载电池片，所述旋转驱动机构用于驱动所述支撑组件绕所述旋转中心转动。
[0011]下面对本申请的技术方案作进一步的说明：
[0012]在其中一个实施例中，所述退火炉包括内筒以及套设在所述内筒外的外筒，所述内筒与所述外筒之间形成所述退火腔，所述上下料口开设于所述外筒。
[0013]在其中一个实施例中，所述加热管设置有至少两根，所述至少两根加热管围绕所述旋转中心间隔地排布于所述外筒和/或内筒。
[0014]在其中一个实施例中，所述进气管设置有至少两根，至少两根进气管围绕所述旋转中心间隔地排布于所述外筒和/或内筒。
[0015]在其中一个实施例中，所述旋转驱动机构与所述内筒连接，所述至少两个支撑组件间隔地连接于所述内筒的外周侧。
[0016]在其中一个实施例中，所述支撑组件包括连接件以及支撑平台，所述连接件与所述内筒连接，所述支撑平台与所述连接件转动连接，所述支撑平台用于承载所述电池片。
[0017]在其中一个实施例中，所述支撑平台包括至少两个用于放置所述电池片的承载
位，至少两个所述承载位间隔排布。
[0018]在其中一个实施例中，每个所述承载位均设有限位框，所述限位框设有用于容纳所述电池片的容纳槽。
[0019]在其中一个实施例中，所述退火装置还包括：
[0020]输送机构，所述输送机构用于将所述电池片输送至所述上下料口并且用于将所述电池片从所述上下料口输送至下一工序；以及，
[0021]转移机构，所述转移机构用于将所述电池片在所述输送机构与所述支撑组件之间移送。
[0022]在其中一个实施例中，所述转移机构包括机械臂以及连接在所述机械臂末端的吸盘；或者，所述转移机构包括机械臂以及连接在所述机械臂末端的夹爪。
[0023]上述退火装置通过加热管将退火腔加热。通过进气管向退火腔通入氧气、氮气等退火工艺所需的气体。然后通过上下料口能将未退火处理的电池片放置在支撑组件上，再通过旋转驱动机构驱动支撑组件绕自身旋转中心转动，使得支撑组件从与上下料口对应的上下料工位出发，在退火腔内旋转过一周后再次回到上下料工位，此时即可完成对电池片的通氧氧化、高温晶化以及推进等处理，最后再通过上下料口可将退火处理后的电池片从而支撑组件上取下，等待冷却即可完成对电池片的退火处理。整个退火工艺无需装卸石英舟，缩短了工艺时间，省去了石英舟以及装夹工具等部件，节省了成本。并且通过设置至少两个支撑组件，当前一个支撑组件旋转离开上下料口以将电池片送入退火腔内进行退火处理时，此时可对旋转至上下料口的下一个支撑组件进行上下料操作，使得退火工序与上下料工序同时进行，互不干扰，通过一个退火炉即可连续地将不同批次的电池片进行退火处理，无需停机操作，提高了生产效率以及产量。
附图说明
[0024]构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。
[0025]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为一实施例的退火装置的结构示意图；
[0027]图2为图1中所示的退火装置的支撑平台示意图；
[0028]图3为图2中所示的限位框的俯视图。
[0029]附图标记说明：
[0030]10、退火炉；111、退火腔；112、上下料口；12、外筒；13、内筒；21、加热管；22、进气管；30、支撑组件；31、连接件；32、支撑平台；33、限位框；331、限位槽。
具体实施方式
[0031]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分
理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0032]具体地，本本申请一实施提供一种退火装置，用于对电池片进行退火处理。具体地，参阅图1，图1示出了本技术一实施例中的退火装置的结构示意图。一实施例的退火装置包括退火炉10、加热管21、进气管22、旋转驱动机构以及至少两个支撑组件30。其中退火炉10设有退火腔111以及与退火腔111连通的上下料口112。加热管21与退火炉10连接，加热管21用于对退火腔111加热。进气管22设有与退火腔111连通的出气口，进气管22用于对退火腔111通入退火工艺所需气体。旋转驱动机构具有旋转中心；至少两个支撑组件30均设置在退火腔111内，并且至少两个支撑组件30围绕旋转中心间隔设置，支撑组件30用于承载电池片，旋转驱动机构用于驱动支撑组件30绕旋转中心转动。
[0033]具体地，上述退火装置在工作时，加热管21将退火腔111加热至600℃到950℃。进气管22向退火腔111通入氧气、氮气等退火工艺所需的气体。然后通过上下料口112将未退火处理的电池片放置在支撑组件30上，再通过旋转驱动机构驱动支撑组件30绕自身旋转中心转动，使得支撑组件30从与上下料口112对应的上下料工位出发，在退火腔111内旋转过一周本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种退火装置，其特征在于，包括：退火炉，所述退火炉设有退火腔以及与所述退火腔连通的上下料口；加热管，所述加热管与所述退火炉连接，所述加热管用于对所述退火腔加热；进气管，所述进气管设有与所述退火腔连通的出气口，所述进气管用于向所述退火腔通入退火工艺所需气体；旋转驱动机构，所述旋转驱动机构具有旋转中心；以及，至少两个支撑组件，所述至少两个支撑组件均设置在所述退火腔内，并且所述至少两个支撑组件围绕所述旋转中心间隔设置，所述支撑组件用于承载电池片，所述旋转驱动机构用于驱动所述支撑组件绕所述旋转中心转动。2.根据权利要求1所述的退火装置，其特征在于，所述退火炉包括内筒以及套设在所述内筒外的外筒，所述内筒与所述外筒之间形成所述退火腔，所述上下料口开设于所述外筒。3.根据权利要求2所述的退火装置，其特征在于，所述加热管设置有至少两根，所述至少两根加热管围绕所述旋转中心间隔地排布于所述外筒和/或内筒。4.根据权利要求2所述的退火装置，其特征在于，所述进气管设置有至少两根，至少两根进气管围绕所述旋转中心间隔地排布于所述外筒和/或内筒。5.根据权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊勇，
申请(专利权)人：通威太阳能眉山有限公司，
类型：新型
国别省市：