一种磁铁板制造技术

本实用新型专利技术提出的一种磁铁板，涉及镀膜设备技术领域。其包括：载体板，其一侧表面上具有若干宽度和深度均相同的嵌槽，嵌槽大致沿第一方向延伸；若干嵌槽在与第一方向垂直的第二方向上等间距间隔分布，且相互平行；以及若干尺寸相同的磁钢，磁钢适配设置在相应的嵌槽内；同一嵌槽内的磁钢相同，且沿该嵌槽的延伸方向依次紧密排列形成一个磁钢纵列；沿第二方向上任意相邻嵌槽内磁钢的磁极方向相反；磁铁板包括第一区域和两个第二区域，第一区域中不同嵌槽内的磁钢的磁力大小相同，第二区域中至少一个嵌槽内磁钢的磁力大小与该区域中其它嵌槽内的不相同；在第二方向上，两个第二区域对称设置在第一区域的两侧。本实用新型专利技术磁铁板磁力均一性好。均一性好。均一性好。

【技术实现步骤摘要】
一种磁铁板


[0001]本技术涉及镀膜设备
，尤其涉及一种磁铁板。

技术介绍

[0002]蒸镀机是OLED器件面板生产中的重要设备之一，磁铁板是蒸镀机内的一项关键治具。磁铁板一般是由若干磁钢按照一定规律排布在其载体板上所构成，磁钢沿其厚度方向充磁，磁铁板上的磁钢外露的磁极为N极和S极交替排列。在面板制作过程中，磁铁板起到吸附金属掩膜版，使金属掩膜版与基板玻璃贴合的作用。
[0003]在以往，为了克服磁铁板磁力均一性差的问题，在磁铁板两侧的区域一般采用非等宽的磁钢，例如：现有公开的一种磁板（公开号：CN213546037U），其中就是采用改变磁铁板两侧一定区域内的磁钢宽度，借此实现磁力均一性的调节。但是，这种设计会在该两侧区域内的相邻磁钢排列之间形成宽窄不一的无磁钢覆盖的条状空隙区域（称之为Gap），Gap区域无法有效吸附金属掩膜版，当蒸镀区域开口图案的边缘恰好落在Gap范围内时，便会出现因吸附不佳而造成的掩膜版贴合不良，进而导致在产品上产生混色等蒸镀不良，影响蒸镀良率；而由于上述方案中Gap区域大小不一，在设计时若要使金属掩膜版的蒸镀区域开口图案的边缘避开Gap区域，设计难度将大幅增加。
[0004]鉴于上述问题的存在，亟需寻求一种可行的解决方案。

技术实现思路

[0005]为了解决现有技术中存在的上述问题，本技术提供了一种磁铁板，该磁铁板包括：
[0006]载体板，其一侧表面上具有若干宽度和深度均相同的嵌槽，嵌槽大致沿第一方向延伸；若干嵌槽在与第一方向垂直的第二方向上等间距间隔分布，且相互平行；以及
[0007]若干尺寸相同的磁钢，磁钢适配设置在相应的嵌槽内；同一嵌槽内的磁钢相同，且沿该嵌槽的延伸方向依次紧密排列形成一个磁钢纵列；沿第二方向上任意相邻嵌槽内磁钢的磁极方向相反；
[0008]所述的磁铁板包括第一区域和两个第二区域，第一区域中不同嵌槽内的磁钢的磁力大小相同，第二区域中至少一个嵌槽内磁钢的磁力大小与该区域中其它嵌槽内的不相同；
[0009]在第二方向上，两个第二区域对称设置在第一区域的两侧。
[0010]作为进一步地优选，在所述第二区域中：
[0011]所述磁钢充磁饱和度均相同，且至少一个所述嵌槽内磁钢的牌号与其它嵌槽内的不同；或者，
[0012]所述磁钢的牌号均相同，且至少一个所述嵌槽内磁钢的充磁饱和度与其它嵌槽内的不同。
[0013]作为进一步地优选，所述第二区域中，至少有部分所述磁钢纵列的按磁力大小交
替排列，且这部分磁钢纵列在所述的第二方向上为连续分布。
[0014]作为进一步地优选，所述的第二区域从所述第一区域的边缘延伸至所述载体板的边缘。
[0015]作为进一步地优选，所述的第二区域内包含有10～12个所述的磁钢纵列。
[0016]作为进一步地优选，所述的磁钢包括N35、N38、N40、N45、N48、N50和N52中的至少三种牌号。
[0017]作为进一步地优选，所述的嵌槽沿直线延伸，且其延伸方向与所述第一方向的夹角为γ，γ≤10
°
；或者，
[0018]所述的嵌槽呈折线状态延伸，且其中任意的直线延伸段与所述第一方向的夹角为γ，γ≤10
°
。
[0019]作为进一步地优选，所述的嵌槽呈折线状态延伸，且其中任意的直线延伸段中最少适配容纳一个所述的磁钢。
[0020]作为进一步地优选，所述磁钢在所述的第二方向上的宽度为d，9mm≤d≤14mm；
[0021]在所述的第二方向上，任意相邻的两个所述磁钢的间隔宽度为S，S≤1.5mm。
[0022]作为进一步地优选，在所述的第二方向上，任意相邻的两个所述磁钢的间隔宽度为S，0.5mm≤S≤1.0mm。
[0023]本技术的有益效果为：本技术中的磁铁板，采用等尺寸磁钢的同时通过改变两个第二区域各嵌槽内的磁钢的磁力大小的方式，既降低了磁铁板的Gap区域与掩膜版蒸镀区域开口图案边缘重叠的可能，磁铁板整体上又能表现出均一性较好的磁力。采用了这种磁铁板的蒸镀设备，在蒸镀生产过程中大幅度降低了产生混色等蒸镀不良缺陷的风险，有助于提高面板产品的品质和良率。
[0024]另，本技术的其他附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0025]图1为本技术磁铁板的结构示意图（主视图）；
[0026]图2为图1中磁铁板及蒸镀装置的仰视图（局部放大）；
[0027]图3为载体板的结构示意图（主视图）；
[0028]图4为一种磁钢在载体板上的排布方式的局部示意图；
[0029]图5为另一种磁钢在载体板上的排布方式的局部示意图；
[0030]图6为本专利技术磁铁板的一种实施方式实物图；
[0031]图7为图6中的实施方式的磁铁板的高斯值实测结果图；
[0032]图中：1、载体板；11、嵌槽；111、直线延伸段；2、磁钢；
[0033]100、第一区域；200、第二区域。
具体实施方式
[0034]为了使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前
提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0035]下面结合附图和实施例，对本技术作进一步说明。
[0036]参照图1至图5中所示，本实施例中提供了一种磁铁板，该磁铁板包括载体板1和若干尺寸相同磁钢2，其中：
[0037]上述的载体板1一般为矩形状板，载体板1的一侧表面上具有若干嵌槽11，这些嵌槽11沿第一方向延伸，并且这些嵌槽11的宽度和深度均相同；若干嵌槽11在与第一方向垂直的第二方向上等间距间隔分布，且这些嵌槽11之间相互平行。例如，嵌槽11的排布状态如图1和图3中示出的，图中的y轴方向即是上述的第一方向，图中的x轴方向即是上述的第二方向，嵌槽11沿y轴方向延伸。
[0038]上述的磁钢2选用汝铁硼材质的矩形或平行四边形磁钢，沿其厚度方向充磁，也即是沿如图2中示出的z轴方向充磁。磁钢2适配设置在相应的上述嵌槽11内，磁钢2借助其自身的磁力吸附在嵌槽11内。载体板1上的磁钢2包括N35、N38、N40、N45、N48、N50和N52中的至少三种牌号。同一嵌槽11内的磁钢2相同，此处的“相同”包括磁力大小和磁极方向均相同，例如：如图1中示出的，沿y轴方向上，同一嵌槽11内选用相同充磁饱和度和牌号的磁钢2，且磁钢2的外侧磁极同为N极或同为S极。并且，同一嵌槽11内，沿该嵌槽11的延伸方向上，磁钢2依次紧密排列，并形成一个磁钢纵列。沿第二方向上，任意相邻嵌槽11内磁钢2的磁极方向相反，例如：如图1中示出的，在x轴方向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁铁板，其特征在于，包括：载体板（1），其一侧表面上具有若干宽度和深度均相同的嵌槽（11），嵌槽（11）大致沿第一方向延伸；若干嵌槽（11）在与第一方向垂直的第二方向上等间距间隔分布，且相互平行；以及若干尺寸相同的磁钢（2），磁钢（2）适配设置在相应的嵌槽（11）内；同一嵌槽（11）内的磁钢（2）相同，且沿该嵌槽（11）的延伸方向依次紧密排列形成一个磁钢纵列；沿第二方向上任意相邻嵌槽（11）内磁钢（2）的磁极方向相反；所述的磁铁板包括第一区域（100）和两个第二区域（200），第一区域（100）中不同嵌槽（11）内的磁钢（2）的磁力大小相同，第二区域（200）中至少一个嵌槽（11）内磁钢（2）的磁力大小与该区域中其它嵌槽（11）内的不相同；在第二方向上，两个第二区域（200）对称设置在第一区域（100）的两侧。2.根据权利要求1所述的磁铁板，其特征在于，在所述第二区域（200）中：所述磁钢（2）充磁饱和度均相同，且至少一个所述嵌槽（11）内磁钢（2）的牌号与其它嵌槽（11）内的不同；或者，所述磁钢（2）的牌号均相同，且至少一个所述嵌槽（11）内磁钢（2）的充磁饱和度与其它嵌槽（11）内的不同。3.根据权利要求1所述的磁铁板，其特征在于，所述第二区域（200）中，至少有部分所述磁钢纵列按磁力大小交替排列，且这部分磁钢纵列在所述的第二方向...

【专利技术属性】
技术研发人员：李成林，张蔡星，
申请(专利权)人：江苏高光半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：