基板的输送装置、成膜装置、控制方法、成膜方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供抑制输送中的基板的曲行的输送装置、成膜装置、控制方法、成膜方法。支承输送体的两侧并进行输送的输送装置具备：第1输送辊，其支承朝向输送方向的输送体的左侧，对输送体进行输送；第2输送辊，其支承朝向输送方向的输送体的右侧，对输送体进行输送；检测部件，其检测相对于基准的输送体的姿势的偏移；以及控制部件，其独立地控制第1输送辊和第2输送辊，以修正由检测部件检测出的偏移。以修正由检测部件检测出的偏移。以修正由检测部件检测出的偏移。

【技术实现步骤摘要】
基板的输送装置、成膜装置、控制方法、成膜方法


[0001]本专利技术涉及基板的输送装置、成膜装置、控制方法、成膜方法。

技术介绍

[0002]在有机EL显示器的制造中，在形成有TFT(薄膜晶体管)的基板上对有机材料进行成膜。作为有机材料的成膜方法，真空蒸镀成为主流，使用使形成有TFT的面朝下而从基板的下方朝上对蒸镀材料进行成膜的方法。有时在形成有TFT的基板上配置多个面板区域，可称为基样玻璃。近年来，基样玻璃的尺寸变大，因此，从以往的使玻璃基板静止的状态下的成膜方法开始研究一边使基板移动一边进行成膜的直列成膜方式(专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2014－141706号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的课题
[0007]但是，在直列成膜方式的成膜装置中，难以在仅对玻璃基板进行输送的同时进行成膜，需要将玻璃基板装载在具有掩模功能的托盘上来进行输送。在直列成膜方式中，出于抑制输送中的曲行的目的而设置发挥导向功能的侧辊。存在由本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种输送装置，所述输送装置支承输送体的两侧并进行输送，其特征在于，具备：第1输送辊，其支承朝向输送方向的所述输送体的左侧，对所述输送体进行输送；第2输送辊，其支承朝向所述输送方向的所述输送体的右侧，对所述输送体进行输送；检测部件，其检测相对于基准的所述输送体的姿势的偏移；以及控制部件，其独立地控制所述第1输送辊和第2输送辊，以修正由所述检测部件检测出的所述偏移。2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述控制部件基于所述检测部件的检测结果，分别计算所述第1输送辊和第2输送辊的旋转速度的目标值，并设定对所述第1输送辊和第2输送辊的控制值以达到所述目标值。3.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述检测部件包括多个测距传感器，所述多个测距传感器配置在朝向所述输送方向的左右的至少任一方，所述控制部件基于所述多个测距传感器分别测定出的到所述输送体的端部的距离，检测相对于基准的所述输送体的姿势的偏移。4.根据权利要求3所述的输送装置，其特征在于，所述控制部件设定对所述第1输送辊和第2输送辊的控制值，以消除配置在朝向所述输送方向的左右的所述多个测距传感器分别测定出的到所述输送体的端部的距离之差。5.根据权利要求3所述的输送装置，其特征在于，所述控制部件基于所述多个测距传感器分别测定出的到所述输送体的端部的距离来判定所述输送体的倾斜，设定对所述第1输送辊和第2输送辊的控制值以消除所述输送体的倾斜。6.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述检测部件监测所述第1输送辊和所述第2输送辊的伺服马达的消耗电力，所述控制部件基于所述消耗电力来判定相对于基...

【专利技术属性】
技术研发人员：须志原友和，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：