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基板的输送装置、成膜装置、控制方法、成膜方法制造方法及图纸
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文档序号:34550234
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本发明提供抑制输送中的基板的曲行的输送装置、成膜装置、控制方法、成膜方法。支承输送体的两侧并进行输送的输送装置具备:第1输送辊,其支承朝向输送方向的输送体的左侧,对输送体进行输送;第2输送辊,其支承朝向输送方向的输送体的右侧,对输送体进行输...
该专利属于佳能特机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能特机株式会社授权不得商用。
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