下载基板的输送装置、成膜装置、控制方法、成膜方法的技术资料

文档序号:34550234

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本发明提供抑制输送中的基板的曲行的输送装置、成膜装置、控制方法、成膜方法。支承输送体的两侧并进行输送的输送装置具备:第1输送辊,其支承朝向输送方向的输送体的左侧,对输送体进行输送;第2输送辊,其支承朝向输送方向的输送体的右侧,对输送体进行输...
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