一种蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种蒸镀装置，包括：蒸镀腔体；蒸镀腔体具有蒸镀源支撑架，蒸镀源支架设置于蒸镀腔体下部，蒸镀源支架开设有多个容器槽，容器槽适于蒸镀源容器放置；容器槽的底部设置有振动装置，适于进行持续的或间断的振动，使放置于容器槽的蒸镀源容器随之发生振动，带动蒸镀源容器内的蒸镀材料持续的或间断的振动，以排出颗粒间的气体。本实用新型专利技术的蒸镀装置，可有效减少蒸镀材料喷料的隐患。可有效减少蒸镀材料喷料的隐患。可有效减少蒸镀材料喷料的隐患。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀装置


[0001]本技术涉及蒸镀
，具体涉及一种蒸镀装置。

技术介绍

[0002]半导体显示器件，特别是OLED器件的制造工艺中，通常需要使用蒸镀工艺来实现器件中发光膜层或功能膜层的形成。蒸镀工艺中，需要将蒸镀材料制成粉末，将粉末的蒸镀材料置于蒸镀源容器中，放入蒸镀腔室进行蒸镀。蒸镀材料转移至蒸镀源容器的过程中，会伴随有空气进入，使得蒸镀源容器中的蒸镀材料粉末堆中掺有大量空气间隙，严重的会有粉末包裹的微小气泡形成。这样会导致在蒸镀过程中气体快速膨胀造成蒸镀材料状态的不稳定，甚至严重的会产生喷料，使蒸镀材料的粉末或因加热而转变成的液体四散喷出，一方面造成材料浪费，另一方面会污染腔室内壁，甚至造成待蒸镀膜层的器件报废。因此需要一种方案解决蒸镀过程中蒸镀材料的喷料隐患。

技术实现思路

[0003]因此，本技术提供一种蒸镀装置，以解决蒸镀过程中蒸镀材料的喷料隐患。
[0004]本技术提供一种蒸镀装置，包括：蒸镀腔体；蒸镀腔体具有蒸镀源支撑架，蒸镀源支架设置于蒸镀腔体下部，蒸镀源支架开设有多个容器槽，容器槽适于蒸镀源容器放置；容器槽的底部设置有振动装置，适于进行持续的或间断的振动，使放置于容器槽的蒸镀源容器随之发生振动，带动蒸镀源容器内的蒸镀材料持续的或间断的振动，以排出颗粒间的气体。
[0005]可选的，振动装置的数量为多个，振动装置与容器槽一一对应。
[0006]可选的，振动装置具有振动部，振动部适于产生振动，振动部的表面形状与容器槽的底面相匹配。
[0007]可选的，蒸镀装置还包括：挡板；挡板设置于蒸镀源支架的上方，挡板适于阻挡未蒸发的蒸镀材料，且适于蒸发的蒸镀材料的蒸气通过。
[0008]可选的，挡板水平设置，包括水平的网面结构；挡板完全覆盖蒸镀腔体的水平截面。
[0009]可选的，蒸镀装置还包括：挡板固定件；挡板固定件固定设置于蒸镀腔体的内壁，挡板固定件适于固定挡板。
[0010]可选的，挡板固定件包括环设于蒸镀腔体的内壁上的卡槽或多个卡接件，挡板的边缘适于卡设于卡槽或卡接件。
[0011]可选的，蒸镀腔体设置有抽气开口，蒸镀腔体适于经由抽气管路连通抽气泵；抽气开口具有打开和闭合两种状态。
[0012]可选的，抽气泵为真空泵。
[0013]可选的，加热装置，加热装置适于连接蒸镀源容器，以加热蒸镀源容器。
[0014]本技术技术方案，具有如下优点：
[0015]本技术的蒸镀装置，通过容器槽底部的振动装置，可持续的或间断的产生振动。通过振动装置的振动，可带动放置于容器槽的蒸镀源容器振动。在蒸镀源容器的振动下，蒸镀源容器中的蒸镀材料粉末伴随蒸镀源容器一起发生振动。在粉末振动的状态下，粉末分散再聚拢堆积，粉末间的气体随之溢出。该振动过程，可以在蒸镀开始前进行，也可以在蒸镀过程中进行。从而使得粉末间的气体快速从粉末间溢出，减少蒸镀材料喷料的可能。
[0016]进一步的，本技术的蒸镀装置通过可阻挡蒸镀材料粉末并适于蒸镀材料气体通过的挡板的设置，在蒸镀材料发生喷料时，可阻挡蒸镀材料的粉末继续向上飞溅，从而避免了蒸镀材料的喷料造成待蒸镀膜层的半导体器件报废。同时由于可通过蒸镀材料的气体，从而不影响半导体器件上膜层的形成。
[0017]进一步的，本技术的蒸镀装置，通过可连通抽气泵的抽气开口的设置，可以通过抽气加速气体的逸出，进一步减少喷料的可能。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本技术的一实施例中的蒸镀装置的结构示意图。
具体实施方式
[0020]本技术提供一种蒸镀装置，包括：蒸镀腔体；蒸镀腔体具有蒸镀源支撑架，蒸镀源支架设置于蒸镀腔体下部，蒸镀源支架开设有多个容器槽，容器槽适于蒸镀源容器放置；容器槽的底部设置有振动装置，适于进行持续的或间断的振动，使放置于容器槽的蒸镀源容器随之发生振动，带动蒸镀源容器内的蒸镀材料持续的或间断的振动，以排出颗粒间的气体。本技术提供的蒸镀装置可有效减少蒸镀材料在蒸镀过程中喷料的可能性。
[0021]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0025]实施例
[0026]参考图1，本实施例提供一种蒸镀装置，包括：
[0027]蒸镀腔体100；蒸镀腔体100具有蒸镀源支撑架110；蒸镀源支架110设置于蒸镀腔体100下部，蒸镀源支架110开设有多个容器槽111，容器槽111 适于蒸镀源容器放置；容器槽111的底部设置有振动装置130，适于进行持续的或间断的振动，使放置于容器槽111的蒸镀源容器随之发生振动，带动蒸镀源容器内的蒸镀材料持续的或间断的振动，以排出颗粒间的气体。其中蒸镀源容器例如可以为坩埚。蒸镀腔体的顶部壁面设置为可开合的顶盖 101，蒸镀源容器可以从打开的顶盖101处放入蒸镀腔体。
[0028]本实施例的蒸镀装置，通过容器槽111底部的振动装置130可持续的或间断的产生振动，可带动放置于容器槽111的蒸镀源容器振动。在蒸镀源容器的振动下，蒸镀源容器中的蒸镀材料粉末伴随蒸镀源容器一起发生振动。在粉末振动的状态下，粉末分散再聚拢堆积，粉末间的气体随之溢出。该振动过程，可以在蒸镀开始前进行，也可以在蒸镀过程中进行。从而使得粉末间的气体快速从粉末间溢出，减少蒸镀材料喷料的可能。
[002本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸镀腔体；所述蒸镀腔体具有蒸镀源支撑架，所述蒸镀源支架设置于所述蒸镀腔体下部，所述蒸镀源支架开设有多个容器槽，所述容器槽适于蒸镀源容器放置；所述容器槽的底部设置有振动装置，适于进行持续的或间断的振动，使放置于容器槽的所述蒸镀源容器随之发生振动，带动所述蒸镀源容器内的蒸镀材料持续的或间断的振动，以排出颗粒间的气体。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述振动装置的数量为多个，所述振动装置与所述容器槽一一对应。3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述振动装置具有振动部，所述振动部适于产生振动，所述振动部的表面形状与所述容器槽的底面相匹配。4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括：挡板；所述挡板设置于所述蒸镀源支架的上方，所述挡板适于阻挡未蒸发的所述蒸镀材料，且适于蒸发的所述蒸镀材料的蒸气通过。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦寅帆，郝力强，廖明富，于子洋，王勇波，
申请(专利权)人：苏州清越光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：